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热词
    • 1. 实用新型
    • 具環境控制功能的切割機 CUTTING MACHINE WITH ENVIRONMENT CONTROL ARRANGEMENT
    • 具环境控制功能的切割机 CUTTING MACHINE WITH ENVIRONMENT CONTROL ARRANGEMENT
    • TWM249797U
    • 2004-11-11
    • TW092215427
    • 2003-08-26
    • 李威鵬 WY PERON LEE
    • 李威鵬 WY PERON LEE
    • B26D
    • A47L9/102A47L5/365B23D59/006B23Q11/0046B23Q11/006B28D1/044B28D1/047B28D7/02Y10T83/207Y10T83/8773
    • 本創作係一種切割機,其包括一個收集底盤11、一個切割刃31、以及一個環境控制裝置40;其中,該切割刃31位於一個切割臺12以上某一位直並在對工件進行切割時在其外緣部分具有一個切割區域311;該環境控制裝置40包括有一個側收集盤41和一個吸收源42;該側收集盤41從收集底盤11向上延伸並具有一個收集通道411,用於在切割刃31對工件進行切割時收集工件上的碎屑,其中該側收集盤41向上伸出的程度一定要超過切割刃的切割區域311;該吸收源42具有一個位於側收集盤41較低部分的吸氣入口421,用於通過吸收效應將碎屑收集到收集通道中者。
    • 本创作系一种切割机,其包括一个收集底盘11、一个切割刃31、以及一个环境控制设备40;其中,该切割刃31位于一个切割台12以上某一位直并在对工件进行切割时在其外缘部分具有一个切割区域311;该环境控制设备40包括有一个侧收集盘41和一个吸收源42;该侧收集盘41从收集底盘11向上延伸并具有一个收集信道411,用于在切割刃31对工件进行切割时收集工件上的碎屑,其中该侧收集盘41向上伸出的程度一定要超过切割刃的切割区域311;该吸收源42具有一个位于侧收集盘41较低部分的吸气入口421,用于通过吸收效应将碎屑收集到收集信道中者。
    • 2. 发明专利
    • 切削裝置
    • 切削设备
    • TW201808522A
    • 2018-03-16
    • TW106119305
    • 2017-06-09
    • 日商迪思科股份有限公司DISCO CORPORATION
    • 內田文雄UCHIDA, FUMIO
    • B23Q11/10H01L21/301
    • B28D5/0076B26D1/54B28D1/044B28D1/046B28D1/24B28D5/022B28D7/02
    • 設計成能夠於加工開始前確認切削水供給噴嘴是否被正確地定位。 切削裝置(1),具備:切削手段(4),具有對切削刀(41)供給切削水之冷卻噴嘴(46)及噴淋噴嘴(47);及負載電流值檢測手段(48),檢測旋轉驅動切削刀的馬達(44)的負載電流值;及控制手段(9),控制切削手段及負載電流值檢測手段。控制手段,具備:記憶部(91),將在各噴嘴被定位至正確的位置之狀態下,一面供給規定量的切削水一面以規定心軸旋轉數令切削刀旋轉時之,基於馬達的負載電流值之任意值訂為閾值而預先記憶;及判斷部(92),因應一面供給規定量的切削水一面以規定心軸旋轉數令切削刀旋轉時之檢測出的負載電流值與記憶部記憶的閾值之比較結果,判斷正常或異常。
    • 设计成能够于加工开始前确认切削水供给喷嘴是否被正确地定位。 切削设备(1),具备:切削手段(4),具有对切削刀(41)供给切削水之冷却喷嘴(46)及喷淋喷嘴(47);及负载电流值检测手段(48),检测旋转驱动切削刀的马达(44)的负载电流值;及控制手段(9),控制切削手段及负载电流值检测手段。控制手段,具备:记忆部(91),将在各喷嘴被定位至正确的位置之状态下,一面供给规定量的切削水一面以规定心轴旋转数令切削刀旋转时之,基于马达的负载电流值之任意值订为阈值而预先记忆;及判断部(92),因应一面供给规定量的切削水一面以规定心轴旋转数令切削刀旋转时之检测出的负载电流值与记忆部记忆的阈值之比较结果,判断正常或异常。
    • 3. 发明专利
    • 切削裝置
    • 切削设备
    • TW201621997A
    • 2016-06-16
    • TW104133717
    • 2015-10-14
    • 迪思科股份有限公司DISCO CORPORATION
    • 加藤圭KATOH, KEI白成泰BAI, CHENGTAI
    • H01L21/301
    • B28D5/0064B24B49/04B24B49/12B28D1/044B28D5/0082B28D5/022H01L21/67092H01L21/67259H01L21/681
    • 本發明之課題為形成可以容易地區別並辨識槽溝和切削溝。解決手段為使切削裝置具備用以測定藉由雷射刻槽而形成於晶圓上的槽溝之寬度和藉由切削刀而形成的切削溝之寬度的寬度測定機構,且寬度測定機構具備拍攝槽溝和切削溝之攝像相機、以及將預定光量的光照射在以攝像相機所拍攝之拍攝區域上的照明機構,因此只要從照明機構射出第1光,就可以藉攝像相機拍攝將槽溝鮮明地映照出之第1攝像圖像,且只要從照明機構射出第2光,就可以藉攝像相機拍攝將切削溝鮮明地映照出之第2攝像圖像,而變得可容易地區別並辨識槽溝和切削溝。
    • 本发明之课题为形成可以容易地区别并辨识槽沟和切削沟。解决手段为使切削设备具备用以测定借由激光刻槽而形成于晶圆上的槽沟之宽度和借由切削刀而形成的切削沟之宽度的宽度测定机构,且宽度测定机构具备拍摄槽沟和切削沟之摄像相机、以及将预定光量的光照射在以摄像相机所拍摄之拍摄区域上的照明机构,因此只要从照明机构射出第1光,就可以藉摄像相机拍摄将槽沟鲜明地映照出之第1摄像图像,且只要从照明机构射出第2光,就可以藉摄像相机拍摄将切削沟鲜明地映照出之第2摄像图像,而变得可容易地区别并辨识槽沟和切削沟。