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1. 发明专利

TW201841243A 加工裝置审中-公开
简体标题：加工设备
公开(公告)号：TW201841243A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：TW107104960
申请日：2018-02-12
申请人：日商迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：加藤圭 , KATOH, KEI , 佐脇悟志 , SAWAKI, SATOSHI , 佐藤雅史 , SATO, MASASHI
IPC分类号： H01L21/304
摘要： [課題]提供可以防止夾盤台之破損的加工裝置。　　[解決手段]為一種加工裝置，其具備：在保持面保持被加工物的夾盤台；加工被保持於夾盤台之被加工物的加工單元；及控制各構成要速的控制單元，控制單元具備判定部及通報部，該判定部係判定在以被加工物之長邊側分割預定線和夾盤台之長邊側刀退避溝重疊之方式，使夾盤台和被加工物相對性移動而調整夾盤台對該被加工物之角度、位置之情況，短邊側分割預定線和短邊側刀退避溝是否重疊，該通報部係在以判定部判定短邊側分割預定線和短邊側刀退避溝不重疊之情況，將該主旨通報至操作員。
简体摘要： [课题]提供可以防止夹盘台之破损的加工设备。　　[解决手段]为一种加工设备，其具备：在保持面保持被加工物的夹盘台；加工被保持于夹盘台之被加工物的加工单元；及控制各构成要速的控制单元，控制单元具备判定部及通报部，该判定部系判定在以被加工物之长边侧分割预定线和夹盘台之长边侧刀退避沟重叠之方式，使夹盘台和被加工物相对性移动而调整夹盘台对该被加工物之角度、位置之情况，短边侧分割预定线和短边侧刀退避沟是否重叠，该通报部系在以判定部判定短边侧分割预定线和短边侧刀退避沟不重叠之情况，将该主旨通报至操作员。

2. 发明专利

TW202030784A 洗淨噴嘴及被洗淨物的洗淨方法审中-公开
简体标题：洗净喷嘴及被洗净物的洗净方法
公开(公告)号：TW202030784A
公开(公告)日：2020-08-16
申请号：TW109103394
申请日：2020-02-04
申请人：日商迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：山博光 , UEYAMA, HIROMITSU , 加藤圭 , KATOH, KEI
IPC分类号： H01L21/301 , B23Q11/00
摘要： [課題]提供一種能夠以簡單的構造將洗淨液力道強烈地噴出的洗淨噴嘴、及被洗淨物的洗淨方法。 [解決手段]一種沖擊並洗淨所切割之端材的洗淨單元，其具備：洗淨水供給路，連通洗淨水供給源與洗淨噴嘴；空氣供給路，連通空氣供給源與洗淨噴嘴；氣閥，將空氣供給路開閉；以及控制單元，將氣閥間歇地開閉。
简体摘要： [课题]提供一种能够以简单的构造将洗净液力道强烈地喷出的洗净喷嘴、及被洗净物的洗净方法。 [解决手段]一种冲击并洗净所切割之端材的洗净单元，其具备：洗净水供给路，连通洗净水供给源与洗净喷嘴；空气供给路，连通空气供给源与洗净喷嘴；气阀，将空气供给路开闭；以及控制单元，将气阀间歇地开闭。

3. 发明专利

TW201621997A 切削裝置审中-公开
简体标题：切削设备
公开(公告)号：TW201621997A
公开(公告)日：2016-06-16
申请号：TW104133717
申请日：2015-10-14
申请人：迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：加藤圭 , KATOH, KEI , 白成泰 , BAI, CHENGTAI
IPC分类号： H01L21/301
CPC分类号： B28D5/0064 , B24B49/04 , B24B49/12 , B28D1/044 , B28D5/0082 , B28D5/022 , H01L21/67092 , H01L21/67259 , H01L21/681
摘要：本發明之課題為形成可以容易地區別並辨識槽溝和切削溝。解決手段為使切削裝置具備用以測定藉由雷射刻槽而形成於晶圓上的槽溝之寬度和藉由切削刀而形成的切削溝之寬度的寬度測定機構，且寬度測定機構具備拍攝槽溝和切削溝之攝像相機、以及將預定光量的光照射在以攝像相機所拍攝之拍攝區域上的照明機構，因此只要從照明機構射出第1光，就可以藉攝像相機拍攝將槽溝鮮明地映照出之第1攝像圖像，且只要從照明機構射出第2光，就可以藉攝像相機拍攝將切削溝鮮明地映照出之第2攝像圖像，而變得可容易地區別並辨識槽溝和切削溝。
简体摘要：本发明之课题为形成可以容易地区别并辨识槽沟和切削沟。解决手段为使切削设备具备用以测定借由激光刻槽而形成于晶圆上的槽沟之宽度和借由切削刀而形成的切削沟之宽度的宽度测定机构，且宽度测定机构具备拍摄槽沟和切削沟之摄像相机、以及将预定光量的光照射在以摄像相机所拍摄之拍摄区域上的照明机构，因此只要从照明机构射出第1光，就可以藉摄像相机拍摄将槽沟鲜明地映照出之第1摄像图像，且只要从照明机构射出第2光，就可以藉摄像相机拍摄将切削沟鲜明地映照出之第2摄像图像，而变得可容易地区别并辨识槽沟和切削沟。

4. 发明专利

TW201839834A 切割裝置审中-公开
简体标题：切割设备
公开(公告)号：TW201839834A
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：TW107107807
申请日：2018-03-08
申请人：日商迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：楠欣浩 , KUSUNOKI, YOSHIHIRO , 加藤圭 , KATOH, KEI , 北村宏 , KITAMURA, HIROSHI , 高橋聡 , TAKAHASHI, SATOSHI , 植山博光 , UEYAMA, HIROMITSU
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/67
摘要： [課題] 有效而低成本地實施定位。　　具備有：第1夾頭座及第2夾頭座，相互鄰接於與該保持面平行的第1方向而配設；第1切割單元及第2切割單元，被配設於該第1夾頭座及該第2夾頭座的上方，可對被保持於各個該保持面上的被加工物進行切割加工；第1攝影機及該第2攝影機，被配設於該第1夾頭座及該第2夾頭座的上方，可對被保持於各個該保持面上的被加工物進行拍攝；攝影機基台，支撐該第1攝影機及該第2攝影機；及攝影機基台移動單元，可使該攝影機基台在該第1方向上移動，該第1攝影機及該第2攝影機，係隔開該第1夾頭座的中心及該第2夾頭座的中心之該第1方向上的距離，被固定於該攝影機基台。
简体摘要： [课题] 有效而低成本地实施定位。　　具备有：第1夹头座及第2夹头座，相互邻接于与该保持面平行的第1方向而配设；第1切割单元及第2切割单元，被配设于该第1夹头座及该第2夹头座的上方，可对被保持于各个该保持面上的被加工物进行切割加工；第1摄影机及该第2摄影机，被配设于该第1夹头座及该第2夹头座的上方，可对被保持于各个该保持面上的被加工物进行拍摄；摄影机基台，支撑该第1摄影机及该第2摄影机；及摄影机基台移动单元，可使该摄影机基台在该第1方向上移动，该第1摄影机及该第2摄影机，系隔开该第1夹头座的中心及该第2夹头座的中心之该第1方向上的距离，被固定于该摄影机基台。

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