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    • 9. 发明专利
    • 氣體混合裝置
    • 气体混合设备
    • TW201402192A
    • 2014-01-16
    • TW102102697
    • 2013-01-24
    • 亞斯通科技有限公司ALSTOM TECHNOLOGY LTD
    • 塔畢克 艾利 莫斯塔哈TABIKH, ALI MUSTAPHA傑柏格 安德斯 艾瑞克 馬丁HJELMBERG, ANDERS ERIK MARTIN
    • B01D53/56B01D53/79B01F5/06F23J15/00
    • B01F5/0618B01D53/56B01D53/79B01D2251/2062B01D2251/2067B01F3/02
    • 本發明係關於一種用於混合製程工廠之製程氣體(MF)之氣體混合裝置,該裝置包括一供該製程氣體流動之氣體輸送管(10a)、一配置於該氣體輸送管(10a)中且包括至少一個相對於流過該氣體輸送管(10a)之該製程氣體之主要流動方向(C)呈一定角度配置之混合板(42、44)之混合板部分(24)。該裝置進一步包括一配置於該混合板部分(24)上游且與其合作的導流葉片部分(22),以便對流過該氣體輸送管(10a)之製程氣體(MF)進行混合,該導流葉片部分(22)包括經配置成可將第一氣體流部分(GP1)導向該氣體輸送管(10a)之第一側壁(34)方向之第一組導流葉片(26),及經配置成可將第二氣體流部分(GP2)導向該氣體輸送管(10a)之第二側壁(36)方向之第二組導流葉片(28),該第二側壁(36)係與該第一側壁(34)相對。
    • 本发明系关于一种用于混合制程工厂之制程气体(MF)之气体混合设备,该设备包括一供该制程气体流动之气体输送管(10a)、一配置于该气体输送管(10a)中且包括至少一个相对于流过该气体输送管(10a)之该制程气体之主要流动方向(C)呈一定角度配置之混合板(42、44)之混合板部分(24)。该设备进一步包括一配置于该混合板部分(24)上游且与其合作的导流叶片部分(22),以便对流过该气体输送管(10a)之制程气体(MF)进行混合,该导流叶片部分(22)包括经配置成可将第一气体流部分(GP1)导向该气体输送管(10a)之第一侧壁(34)方向之第一组导流叶片(26),及经配置成可将第二气体流部分(GP2)导向该气体输送管(10a)之第二侧壁(36)方向之第二组导流叶片(28),该第二侧壁(36)系与该第一侧壁(34)相对。