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    • 2. 发明专利
    • 具有多腔體之氣相蝕刻設備
    • 具有多腔体之气相蚀刻设备
    • TW201405655A
    • 2014-02-01
    • TW101127194
    • 2012-07-27
    • 晶呈科技股份有限公司
    • 陳亞理
    • H01L21/3065H01L21/67
    • 本發明提供一種具有多腔體之氣相蝕刻設備,包含有工作腔體以利用製程氣體蝕刻物件,並產生殘餘氣體,並且除氣腔體包覆工作腔體,防護腔體再包覆除氣腔體,工作腔體內具有腔體壓力,除氣腔體內具有除氣壓力,防護腔體內具有氣體壓力,且腔體壓力大於除氣壓力,以排出殘餘氣體,氣體壓力大於除氣壓力,藉此擠壓除氣壓力,以確保殘餘氣體不外洩至防護腔體,進而可防止殘餘氣體外洩至大氣中。依據本發明之技術思想,可以達到一種透過不同化學品氣相特性搭載特製模組進行蝕刻動作,以達到具有低成本、高蝕刻率,同時兼顧絕佳安全性考量設計。
    • 本发明提供一种具有多腔体之气相蚀刻设备,包含有工作腔体以利用制程气体蚀刻对象,并产生残余气体,并且除气腔体包覆工作腔体,防护腔体再包覆除气腔体,工作腔体内具有腔体压力,除气腔体内具有除气压力,防护腔体内具有气体压力,且腔体压力大于除气压力,以排出残余气体,气体压力大于除气压力,借此挤压除气压力,以确保残余气体不外泄至防护腔体,进而可防止残余气体外泄至大气中。依据本发明之技术思想,可以达到一种透过不同化学品气相特性搭载特制模块进行蚀刻动作,以达到具有低成本、高蚀刻率,同时兼顾绝佳安全性考量设计。
    • 8. 实用新型
    • 具有多腔體之氣相蝕刻設備
    • 具有多腔体之气相蚀刻设备
    • TWM441927U
    • 2012-11-21
    • TW101214770
    • 2012-07-31
    • 晶呈科技股份有限公司
    • 陳亞理
    • H01L
    • 本創作提供一種具有多腔體之氣相蝕刻設備,包含有工作腔體以利用製程氣體蝕刻物件,並產生殘餘氣體,並且除氣腔體包覆工作腔體,防護腔體再包覆除氣腔體,工作腔體內具有腔體壓力,除氣腔體內具有除氣壓力,防護腔體內具有氣體壓力,且腔體壓力大於除氣壓力,以排出殘餘氣體,氣體壓力大於除氣壓力,藉此擠壓除氣壓力,以確保殘餘氣體不外洩至防護腔體,進而可防止殘餘氣體外洩至大氣中。依據本創作之技術思想,可以達到一種透過不同化學品氣相特性搭載特製模組進行蝕刻動作,以達到具有低成本、高蝕刻率,同時兼顧絕佳安全性考量設計。
    • 本创作提供一种具有多腔体之气相蚀刻设备,包含有工作腔体以利用制程气体蚀刻对象,并产生残余气体,并且除气腔体包覆工作腔体,防护腔体再包覆除气腔体,工作腔体内具有腔体压力,除气腔体内具有除气压力,防护腔体内具有气体压力,且腔体压力大于除气压力,以排出残余气体,气体压力大于除气压力,借此挤压除气压力,以确保残余气体不外泄至防护腔体,进而可防止残余气体外泄至大气中。依据本创作之技术思想,可以达到一种透过不同化学品气相特性搭载特制模块进行蚀刻动作,以达到具有低成本、高蚀刻率,同时兼顾绝佳安全性考量设计。
    • 9. 实用新型
    • 大型氣體瓶站立裝置
    • 大型气体瓶站立设备
    • TWM441068U
    • 2012-11-11
    • TW101213282
    • 2012-07-10
    • 晶呈科技股份有限公司
    • 陳亞理
    • F16MF17C
    • 本創作提供一種大型氣體瓶站立裝置,其係包括至少二固定框架,其上設有一固定元件,固定元件環套於大型氣體瓶兩端,且固定元件上設有一體成型之複數支撐桿,其上設有一第一鎖固元件,以將固定元件鎖固於固定框架上,兩框架間更設有複數支架,且支架兩端設有至少二第二鎖固元件,以將支架固定於二固定框架間。本創作可將大型氣體瓶站立擺設,減少大型氣體瓶所佔用面積。
    • 本创作提供一种大型气体瓶站立设备,其系包括至少二固定框架,其上设有一固定组件,固定组件环套于大型气体瓶两端,且固定组件上设有一体成型之复数支撑杆,其上设有一第一锁固组件,以将固定组件锁固于固定框架上,两框架间更设有复数支架,且支架两端设有至少二第二锁固组件,以将支架固定于二固定框架间。本创作可将大型气体瓶站立摆设,减少大型气体瓶所占用面积。