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    • 1. 发明专利
    • 集束型晶圓輸送裝置及方法
    • 集束型晶圆输送设备及方法
    • TWI283037B
    • 2007-06-21
    • TW091125183
    • 2002-10-25
    • 國防部中山科學研究院 CHUNG-SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY嘉晶電子股份有限公司
    • 游欽宏洪建中李玉麟 LEE, YU LIN林榮延黃耀明王偉正許覺良汪培昇范鈞淵潘泰甫
    • H01L
    • 一種新的集束型晶圓輸送裝置及方法,將集束型晶圓輸送設備(包含前端總成模組(Front-End Module)、卡匣承載室(LoadLock)、多面開口式晶圓輸送腔體、機械手臂及輸送平台控制器)與批次型高溫冷壁式化學氣相沉積製程模組結合,透過輸送平台控制器之圖形化人機介面進行控制,在操作者於大氣環境中將卡匣放置於上載埠後,由輸送平台控制器自動以機械手臂將晶圓由前端總成模組之卡匣批次上載至卡匣承載室之正面吸附專用卡匣內,再以正面吸附之機械手臂依批次製程所需之晶圓載入至製程腔之晶圓承載盤上,以進行化學氣相沉積製程;由於本發明為自動投片,可有效降低污染、提昇上片效率,提高良率;而所連接之批次型高溫冷壁製程,具有高溫、高效率之特性;可充份配合先進磊晶規格所需之低污染、大尺寸、高阻抗、低缺陷、高厚度之製程需求。
    • 一种新的集束型晶圆输送设备及方法,将集束型晶圆输送设备(包含前端总成模块(Front-End Module)、卡匣承载室(LoadLock)、多面开口式晶圆输送腔体、机械手臂及输送平台控制器)与批次型高温冷壁式化学气相沉积制程模块结合,透过输送平台控制器之图形化人机界面进行控制,在操作者于大气环境中将卡匣放置于上载端口后,由输送平台控制器自动以机械手臂将晶圆由前端总成模块之卡匣批次上载至卡匣承载室之正面吸附专用卡匣内,再以正面吸附之机械手臂依批次制程所需之晶圆加载至制程腔之晶圆承载盘上,以进行化学气相沉积制程;由于本发明为自动投片,可有效降低污染、提升上片效率,提高良率;而所连接之批次型高温冷壁制程,具有高温、高效率之特性;可充份配合雪铁龙磊晶规格所需之低污染、大尺寸、高阻抗、低缺陷、高厚度之制程需求。
    • 8. 发明专利
    • 低對比灰階影像邊緣檢測方法
    • 低对比灰阶影像边缘检测方法
    • TW200516515A
    • 2005-05-16
    • TW092131494
    • 2003-11-11
    • 國防部中山科學研究院 CHUNG SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
    • 陳東敏洪庚申黃保順高進登 KAO, JIEN DENG黃櫻富張家豪
    • G06T
    • 本發明係關於一種低對比灰階影像邊緣檢測方法,主要係對一灰階影像進行一般影像梯度矩陣運算,以產生此影像的梯度矩陣值,又在必要時實施第二次梯度矩陣運算,以抑制影像雜訊,而強化影像邊緣對比及調整影像邊緣粗細;接著計算並記錄每段影像邊緣互相鏈結數目,再根據門檻臨界值參數及影像邊緣的間隔判斷每段影像邊緣是雜訊或是殘餘斷離鏈結,若是雜訊則移除,殘餘斷離鏈結則保留;利用前述技術可加強邊緣對比達成抑制雜訊之效果,有效提升影像邊緣之檢測效率,以供即時影像辨識之用途。
    • 本发明系关于一种低对比灰阶影像边缘检测方法,主要系对一灰阶影像进行一般影像梯度矩阵运算,以产生此影像的梯度矩阵值,又在必要时实施第二次梯度矩阵运算,以抑制影像噪声,而强化影像边缘对比及调整影像边缘粗细;接着计算并记录每段影像边缘互相链结数目,再根据门槛临界值参数及影像边缘的间隔判断每段影像边缘是噪声或是残余断离链结,若是噪声则移除,残余断离链结则保留;利用前述技术可加强边缘对比达成抑制噪声之效果,有效提升影像边缘之检测效率,以供实时影像辨识之用途。
    • 9. 发明专利
    • 影像擷取品質檢測系統與方法
    • 影像截取品质检测系统与方法
    • TW200516508A
    • 2005-05-16
    • TW092131498
    • 2003-11-11
    • 國防部中山科學研究院 CHUNG SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
    • 邱鸞嬌賴均在黃煥超高進登 KAO, JIEN DENG黃櫻富
    • G06K
    • 本發明為一種影像擷取品質之檢測系統與方法,用以建立一影像擷取卡之性能品質量化標準,藉以評鑑該影像擷取卡的品質等級;該檢測系統包括一測試影像資料庫、一影像模擬器與一影像品質評估單元,於進行評估時,先自該影像資料庫選出適當的數位影像資料將其傳遞到影像模擬器,由影像模擬器將數位測試影像以類比格式輸出至一影像擷取卡,當影像擷取卡將類比影像轉為數位影像後,該影像品質評估單元即針對由影像擷取卡轉換出的數位影像與原始數位影像兩者進行比較,計算誤差量、平均值、標準差與偏差量,藉此得知影像擷取卡之性能品質,作為鑑定影像擷取卡之依據,以協助品質檢驗人員進行更迅速準確的品質診斷與分級評鑑作業服務。
    • 本发明为一种影像截取品质之检测系统与方法,用以创建一影像截取卡之性能品质量化标准,借以评鉴该影像截取卡的品质等级;该检测系统包括一测试影像数据库、一影像仿真器与一影像品质评估单元,于进行评估时,先自该影像数据库选出适当的数码影像数据将其传递到影像仿真器,由影像仿真器将数码测试影像以模拟格式输出至一影像截取卡,当影像截取卡将模拟影像转为数码影像后,该影像品质评估单元即针对由影像截取卡转换出的数码影像与原始数码影像两者进行比较,计算误差量、平均值、标准差与偏差量,借此得知影像截取卡之性能品质,作为鉴定影像截取卡之依据,以协助品质检验人员进行更迅速准确的品质诊断与分级评鉴作业服务。