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1. 发明专利

TWI283037B 集束型晶圓輸送裝置及方法有权
简体标题：集束型晶圆输送设备及方法
公开(公告)号：TWI283037B
公开(公告)日：2007-06-21
申请号：TW091125183
申请日：2002-10-25
申请人：國防部中山科學研究院 CHUNG-SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY , 嘉晶電子股份有限公司
发明人：游欽宏 , 洪建中 , 李玉麟 LEE, YU LIN , 林榮延 , 黃耀明 , 王偉正 , 許覺良 , 汪培昇 , 范鈞淵 , 潘泰甫
IPC分类号： H01L
摘要：一種新的集束型晶圓輸送裝置及方法，將集束型晶圓輸送設備(包含前端總成模組(Front-End Module)、卡匣承載室(LoadLock)、多面開口式晶圓輸送腔體、機械手臂及輸送平台控制器)與批次型高溫冷壁式化學氣相沉積製程模組結合，透過輸送平台控制器之圖形化人機介面進行控制，在操作者於大氣環境中將卡匣放置於上載埠後，由輸送平台控制器自動以機械手臂將晶圓由前端總成模組之卡匣批次上載至卡匣承載室之正面吸附專用卡匣內，再以正面吸附之機械手臂依批次製程所需之晶圓載入至製程腔之晶圓承載盤上，以進行化學氣相沉積製程；由於本發明為自動投片，可有效降低污染、提昇上片效率，提高良率；而所連接之批次型高溫冷壁製程，具有高溫、高效率之特性；可充份配合先進磊晶規格所需之低污染、大尺寸、高阻抗、低缺陷、高厚度之製程需求。
简体摘要：一种新的集束型晶圆输送设备及方法，将集束型晶圆输送设备(包含前端总成模块(Front-End Module)、卡匣承载室(LoadLock)、多面开口式晶圆输送腔体、机械手臂及输送平台控制器)与批次型高温冷壁式化学气相沉积制程模块结合，透过输送平台控制器之图形化人机界面进行控制，在操作者于大气环境中将卡匣放置于上载端口后，由输送平台控制器自动以机械手臂将晶圆由前端总成模块之卡匣批次上载至卡匣承载室之正面吸附专用卡匣内，再以正面吸附之机械手臂依批次制程所需之晶圆加载至制程腔之晶圆承载盘上，以进行化学气相沉积制程；由于本发明为自动投片，可有效降低污染、提升上片效率，提高良率；而所连接之批次型高温冷壁制程，具有高温、高效率之特性；可充份配合雪铁龙磊晶规格所需之低污染、大尺寸、高阻抗、低缺陷、高厚度之制程需求。

2. 发明专利

TW200603315A 晶圓承載裝置审中-公开
简体标题：晶圆承载设备
公开(公告)号：TW200603315A
公开(公告)日：2006-01-16
申请号：TW093120739
申请日：2004-07-09
申请人：國防部中山科學研究院 CHUNG-SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人：戴涪 , 許覺良 , 黃重鈞 , 林隆湧 , 傅潮生 FU, CHAO SHENG
IPC分类号： H01L
摘要：一種晶圓承載裝置，係有關於一種用於電漿沉積製程之機台，該裝置具有控制表面溫度能力，且能使放置其上之晶圓表面溫度平均，及可配合首段製程ECR電子迴旋共振電漿系統，提供於具電漿材料沉積需求之應用場所，可用於300mm晶圓之電漿沉積製程，其較昔知之晶圓承載裝置相比所提供功能甚多；其包含：晶圓承載台、外殼、加熱模組、冷卻模組、氣墊模組、偏壓模組、晶圓頂起模組。
简体摘要：一种晶圆承载设备，系有关于一种用于等离子沉积制程之机台，该设备具有控制表面温度能力，且能使放置其上之晶圆表面温度平均，及可配合首段制程ECR电子回旋共振等离子系统，提供于具等离子材料沉积需求之应用场所，可用于300mm晶圆之等离子沉积制程，其较昔知之晶圆承载设备相比所提供功能甚多；其包含：晶圆承载台、外壳、加热模块、冷却模块、气垫模块、偏压模块、晶圆顶起模块。

3. 实用新型

TWM249883U 磁軌煞車裝置失效
简体标题：磁道煞车设备
公开(公告)号：TWM249883U
公开(公告)日：2004-11-11
申请号：TW092221371
申请日：2003-12-04
申请人：國防部中山科學研究院 CHUNG SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY , 日野電機廠股份有限公司
发明人：陳盛基 , 彭銘熾 , 林鴻志 , 徐玉虎 , 許覺良 , 李宗穎
IPC分类号： B61H
摘要：本創作一種磁軌煞車裝置，特別是指利用電磁力使軌道車輛進行緊急煞車的技術結構，藉由懸吊機構模組、電磁鐵模組構成磁軌煞車裝置，實施上，具有容易組裝、易於調整電磁鐵與軌道之間的間隙，並可調整系統剛性及阻尼，維修保養容易及操作簡單等優點；另配合螺桿、跨距調整螺帽、及固定螺帽連結二組磁軌煞車裝置，可調整二組對應的磁軌煞車裝置間的跨距，使二組對應的磁軌煞車裝置間保持平衡，與運動的一致性，並避免搖晃及偏擺。
简体摘要：本创作一种磁道煞车设备，特别是指利用电磁力使轨道车辆进行紧急煞车的技术结构，借由悬吊机构模块、电磁铁模块构成磁道煞车设备，实施上，具有容易组装、易于调整电磁铁与轨道之间的间隙，并可调整系统刚性及阻尼，维修保养容易及操作简单等优点；另配合螺杆、跨距调整螺帽、及固定螺帽链接二组磁道煞车设备，可调整二组对应的磁道煞车设备间的跨距，使二组对应的磁道煞车设备间保持平衡，与运动的一致性，并避免摇晃及偏摆。

4. 外观设计

TWD101204S 高速線性馬達驅動加工機失效
简体标题：高速线性马达驱动加工机
公开(公告)号：TWD101204S
公开(公告)日：2004-11-01
申请号：TW092306412
申请日：2003-10-23
申请人：國防部中山科學研究院 CHUNG SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
设计人：趙介麟 , 許覺良 , 魯肇爛 , 聶一夫 , 查國强 , 石世雄 , 黃仁明 , 張文曲 , 曾文豪 , 王樹根 , 蔡國權 , 鄭博升 , 康乃勤 , 葉世明
摘要： (一)物品用途：
本創作係使用於對金屬工件物進行切削、鑽孔、銑削、…等加工的多功能工具機。(二)創作特點：
本創作的特點在於具有L形的本體，該L形的水平床台上的相對兩側設有長條狀的Z軸線馬達定子，兩Z軸線馬達定子之間的底座上設有二支Z軸線性滑軌，該二支Z軸線性滑軌上設有可以被控制在移動的活動座，該活動座上可以供放置工件物；所述L形的垂直主柱設有呈水平且分別由上往下排列的上X軸線性滑軌、X軸線馬達定子與下X軸線性滑軌，該上X軸線性滑軌、X軸線馬達定子與下X軸線性滑軌則共同設置一Y軸線馬達定子，並且在該Y軸線馬達定子設置一主軸座，該主軸座設有一圓形階級狀可以供設置刀具的主軸。所述床台的側邊則設有一刀具儲存供應裝置，該刀具儲存供應裝置包括有一環形的刀具庫，以及用來驅動該刀具庫旋轉的控制機構，所述刀具庫可以供放置各種不同規格的切削刀具，並利用該驅動機構可以選擇其中一刀具，並且將刀具輸送到該主軸並予以結構，藉以構成本創作具備視覺創新感受的形狀。
简体摘要： (一)物品用途：本创作系使用于对金属工件物进行切削、钻孔、铣削、…等加工的多功能工具机。(二)创作特点：本创作的特点在于具有L形的本体，该L形的水平床台上的相对两侧设有长条状的Z轴线马达定子，两Z轴线马达定子之间的底座上设有二支Z轴线性滑轨，该二支Z轴线性滑轨上设有可以被控制在移动的活动座，该活动座上可以供放置工件物；所述L形的垂直主柱设有呈水平且分别由上往下排列的上X轴线性滑轨、X轴线马达定子与下X轴线性滑轨，该上X轴线性滑轨、X轴线马达定子与下X轴线性滑轨则共同设置一Y轴线马达定子，并且在该Y轴线马达定子设置一主轴座，该主轴座设有一圆形阶级状可以供设置刀具的主轴。所述床台的侧边则设有一刀具存储供应设备，该刀具存储供应设备包括有一环形的刀具库，以及用来驱动该刀具库旋转的控制机构，所述刀具库可以供放置各种不同规格的切削刀具，并利用该驱动机构可以选择其中一刀具，并且将刀具输送到该主轴并予以结构，借以构成本创作具备视觉创新感受的形状。

5. 发明专利

TWI233657B 晶圓承載裝置有权
简体标题：晶圆承载设备
公开(公告)号：TWI233657B
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：TW093120739
申请日：2004-07-09
申请人：國防部中山科學研究院 CHUNG-SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人：戴涪 , 許覺良 , 黃重鈞 , 林隆湧 , 傅潮生
IPC分类号： H01L
摘要：一種晶圓承載裝置，係有關於一種用於電漿沉積製程之機台，該裝置具有控制表面溫度能力，且能使放置其上之晶圓表面溫度平均，及可配合前段製程ECR電子迴旋共振電漿系統，提供於具電漿材料沉積需求之應用場所，可用於300mm晶圓之電漿沉積製程，其較昔知之晶圓承載裝置相比所提供功能甚多；其包含：晶圓承載台、外殼、加熱模組、冷卻模組、氣墊模組、偏壓模組、晶圓頂起模組。
简体摘要：一种晶圆承载设备，系有关于一种用于等离子沉积制程之机台，该设备具有控制表面温度能力，且能使放置其上之晶圆表面温度平均，及可配合前段制程ECR电子回旋共振等离子系统，提供于具等离子材料沉积需求之应用场所，可用于300mm晶圆之等离子沉积制程，其较昔知之晶圆承载设备相比所提供功能甚多；其包含：晶圆承载台、外壳、加热模块、冷却模块、气垫模块、偏压模块、晶圆顶起模块。

6. 发明专利

TW200515675A 線性馬達調整機構及方法审中-公开
简体标题：线性马达调整机构及方法
公开(公告)号：TW200515675A
公开(公告)日：2005-05-01
申请号：TW092129479
申请日：2003-10-23
申请人：國防部中山科學研究院 CHUNG SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人：趙介麟 , 許覺良 , 魯肇爛 , 聶一夫 , 查國强 , 石世雄 , 黃仁明 , 張文曲 , 曾文豪 , 王樹根 , 蔡國權 , 鄭博升 , 康乃勤 , 葉世明
IPC分类号： H02K
摘要：一種線性馬達調整機構，包括複數塊上模楔形塊、複數塊下模楔形塊及複數個可調整的楔形塊裝置，其中該上模楔形塊設有複數個從中央向兩側傾斜的斜面凹槽，該下模楔形塊設有與該上模楔形塊相對應的複數個從中央向兩側傾斜的斜面凹槽，該上模楔形塊與該下模楔形塊結合後即形成複數個楔形孔，該可調整的楔形塊裝置包括楔形塊、壓縮彈簧、螺帽楔形塊及螺釘，其係容置在該楔形孔內，藉由旋轉調整該螺釘，使該楔形塊及該螺帽楔形塊作前進、後退的動作，用以控制線性馬達動子上下移動，調整動子與定子達額定間隙的方法，可解決線性馬達動子與定子間之磁吸作用而造成組裝困難的問題。
简体摘要：一种线性马达调整机构，包括复数块上模楔形块、复数块下模楔形块及复数个可调整的楔形块设备，其中该上模楔形块设有复数个从中央向两侧倾斜的斜面凹槽，该下模楔形块设有与该上模楔形块相对应的复数个从中央向两侧倾斜的斜面凹槽，该上模楔形块与该下模楔形块结合后即形成复数个楔形孔，该可调整的楔形块设备包括楔形块、压缩弹簧、螺帽楔形块及螺钉，其系容置在该楔形孔内，借由旋转调整该螺钉，使该楔形块及该螺帽楔形块作前进、后退的动作，用以控制线性马达动子上下移动，调整动子与定子达额定间隙的方法，可解决线性马达动子与定子间之磁吸作用而造成组装困难的问题。

7. 发明专利

TWI229489B 線性馬達調整機構及方法有权
简体标题：线性马达调整机构及方法
公开(公告)号：TWI229489B
公开(公告)日：2005-03-11
申请号：TW092129479
申请日：2003-10-23
申请人：國防部中山科學研究院 CHUNG SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人：趙介麟 , 許覺良 , 魯肇爛 , 聶一夫 , 查國强 , 石世雄 , 黃仁明 , 張文曲 , 曾文豪 , 王樹根 , 蔡國權 , 鄭博升 , 康乃勤 , 葉世明
IPC分类号： H02K
摘要：一種線性馬達調整機構，包括複數塊上模楔形塊、複數塊下模楔形塊及複數個可調整的楔形塊裝置，其中該上模楔形塊設有複數個從中央向兩側傾斜的斜面凹槽，該下模楔形塊設有與該上模楔形塊相對應的複數個從中央向兩側傾斜的斜面凹槽，該上模楔形塊與該下模楔形塊結合後即形成複數個楔形孔，該可調整的楔形塊裝置包括楔形塊、壓縮彈簧、螺帽楔形塊及螺釘，其係容置在該楔形孔內，藉由旋轉調整該螺釘，使該楔形塊及該螺帽楔形塊作前進、後退的動作，用以控制線性馬達動子上下移動，調整動子與定子達額定間隙的方法，可解決線性馬達動子與定子間之磁吸作用而造成組裝困難的問題。
简体摘要：一种线性马达调整机构，包括复数块上模楔形块、复数块下模楔形块及复数个可调整的楔形块设备，其中该上模楔形块设有复数个从中央向两侧倾斜的斜面凹槽，该下模楔形块设有与该上模楔形块相对应的复数个从中央向两侧倾斜的斜面凹槽，该上模楔形块与该下模楔形块结合后即形成复数个楔形孔，该可调整的楔形块设备包括楔形块、压缩弹簧、螺帽楔形块及螺钉，其系容置在该楔形孔内，借由旋转调整该螺钉，使该楔形块及该螺帽楔形块作前进、后退的动作，用以控制线性马达动子上下移动，调整动子与定子达额定间隙的方法，可解决线性马达动子与定子间之磁吸作用而造成组装困难的问题。

8. 实用新型

TWM250748U 立柱移動件封閉型結構體失效
简体标题：立柱移动件封闭型结构体
公开(公告)号：TWM250748U
公开(公告)日：2004-11-21
申请号：TW092218851
申请日：2003-10-23
申请人：國防部中山科學研究院 CHUNG SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人：趙介麟 , 許覺良 , 魯肇爛 , 聶一夫 , 查國强 , 石世雄 , 黃仁明 , 張文曲 , 曾文豪 , 王樹根 , 蔡國權 , 鄭博升 , 康乃勤 , 葉世明
IPC分类号： B23Q
摘要：一種立柱移動件封閉型結構體，包括X軸滑動件、Y軸滑動件、Y軸線性馬達支撐座及調整桿，並在X軸方向配置 X軸線性馬達動子及X軸線性馬達定子，在Y軸方向配置Y軸線性馬達動子及Y軸線性馬達定子，構成在X軸及Y軸兩方向均可移動的封閉型結構體。其特徵在於：於兩Y軸線性馬達支撐座間設置一調整桿，以加強Y軸方向之結構剛性，防止安裝於Y軸線性馬達支撐座上之Y軸線性馬達動子與安裝於X軸滑動件上之Y軸線性馬達定子因磁吸作用，而造成Y軸線性馬達支撐座產生結構變形，並可藉由該調整桿與兩個Y軸線性馬達支撐座之結合位置之向內或向外微調，可輕易地調整Y軸線性馬達動子與Y軸線性馬達定子到達額定間隙，以發揮最佳效果。
简体摘要：一种立柱移动件封闭型结构体，包括X轴滑动件、Y轴滑动件、Y轴线性马达支撑座及调整杆，并在X轴方向配置 X轴线性马达动子及X轴线性马达定子，在Y轴方向配置Y轴线性马达动子及Y轴线性马达定子，构成在X轴及Y轴两方向均可移动的封闭型结构体。其特征在于：于两Y轴线性马达支撑座间设置一调整杆，以加强Y轴方向之结构刚性，防止安装于Y轴线性马达支撑座上之Y轴线性马达动子与安装于X轴滑动件上之Y轴线性马达定子因磁吸作用，而造成Y轴线性马达支撑座产生结构变形，并可借由该调整杆与两个Y轴线性马达支撑座之结合位置之向内或向外微调，可轻易地调整Y轴线性马达动子与Y轴线性马达定子到达额定间隙，以发挥最佳效果。

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