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    • 4. 发明专利
    • 太陽能電池用矽晶圓及其製造方法
    • 太阳能电池用硅晶圆及其制造方法
    • TW201444955A
    • 2014-12-01
    • TW103114268
    • 2014-04-18
    • TKX股份有限公司TKX CORPORATION
    • 池內正彥IKEUCHI, MASAHIKO遠藤忠ENDO, TADASHI津田統TSUDA, OSAMU
    • C09K13/00H01L21/306
    • H01L31/02363B24B27/0633H01L31/182Y02E10/546Y02P70/521
    • 本發明欲提供一種低反射率且光澤不均較少之太陽能電池用矽晶圓及其製造方法,該太陽能電池用矽晶圓係使用以固定研磨粒方式對多晶矽錠進行切片所得之切片而獲得。本發明之太陽能電池用矽晶圓之製造方法係以含有包含氫氟酸、硝酸及硫酸之混合酸之蝕刻液蝕刻利用固定研磨粒線鋸進行切片所得之多晶矽切片,其中混合酸之組成範圍於以重量%表示組成之三角圖中,在由依序連接以下4個點之4條線段圍成之區域內,即,A點:氫氟酸為2.82重量%、硝酸為0.18重量%、硫酸為97重量%,B點:氫氟酸為0.18重量%、硝酸為2.82重量%、硫酸為97重量%,C點:氫氟酸為8.47重量%、硝酸為0.53重量%、硫酸為91重量%,及D點:氫氟酸為0.53重量%、硝酸為8.47重量%、硫酸為91重量%,且蝕刻液之水之濃度為0~10.5重量%。
    • 本发明欲提供一种低反射率且光泽不均较少之太阳能电池用硅晶圆及其制造方法,该太阳能电池用硅晶圆系使用以固定研磨粒方式对多晶硅锭进行切片所得之切片而获得。本发明之太阳能电池用硅晶圆之制造方法系以含有包含氢氟酸、硝酸及硫酸之混合酸之蚀刻液蚀刻利用固定研磨粒线锯进行切片所得之多晶硅切片,其中混合酸之组成范围于以重量%表示组成之三角图中,在由依序连接以下4个点之4条线段围成之区域内,即,A点:氢氟酸为2.82重量%、硝酸为0.18重量%、硫酸为97重量%,B点:氢氟酸为0.18重量%、硝酸为2.82重量%、硫酸为97重量%,C点:氢氟酸为8.47重量%、硝酸为0.53重量%、硫酸为91重量%,及D点:氢氟酸为0.53重量%、硝酸为8.47重量%、硫酸为91重量%,且蚀刻液之水之浓度为0~10.5重量%。