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1. 发明专利

TWI613693B 用於成像訊號帶電粒子束的系統、用於成像訊號帶電粒子束的方法及帶電粒子束裝置有权
简体标题：用于成像信号带电粒子束的系统、用于成像信号带电粒子束的方法及带电粒子束设备
公开(公告)号：TWI613693B
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：TW106103903
申请日：2017-02-07
申请人： ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：拉尼歐史帝芬 , LANIO, STEFAN , 佛意森傑根 , FROSIEN, JURGEN , 費恩克斯馬蒂亞斯 , FIRNKES, MATTHIAS , 庫克班傑明約翰 , COOK, BENJAMIN JOHN
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/29
CPC分类号： H01J37/244 , H01J2237/24465 , H01J2237/2449 , H01J2237/24592

2. 发明专利

TW201740422A 用於成像訊號帶電粒子束的系統、用於成像訊號帶電粒子束的方法及帶電粒子束裝置审中-公开
简体标题：用于成像信号带电粒子束的系统、用于成像信号带电粒子束的方法及带电粒子束设备
公开(公告)号：TW201740422A
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：TW106103903
申请日：2017-02-07
申请人： ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：拉尼歐史帝芬 , LANIO, STEFAN , 佛意森傑根 , FROSIEN, JURGEN , 費恩克斯馬蒂亞斯 , FIRNKES, MATTHIAS , 庫克班傑明約翰 , COOK, BENJAMIN JOHN
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/29
CPC分类号： H01J37/244 , H01J2237/24465 , H01J2237/2449 , H01J2237/24592
摘要：本揭示案係提供一種用於成像藉由初級帶電粒子束的撞擊而從樣品（8）發出的訊號帶電粒子束（10）的系統（100）。系統（100）包括偵測器佈置（110）與訊號帶電粒子光學器件，偵測器佈置（110）具有第一偵測元件（112）與第二偵測元件（114），第一偵測元件（112）用於偵測源自樣品（8）上的第一斑點的訊號帶電粒子束（10）的第一訊號帶電粒子分束（12），第二偵測元件（114）用於偵測源自樣品（8）上的第二斑點的訊號帶電粒子束（10）的第二訊號帶電粒子分束（14），其中第一偵測元件（112）與第二偵測元件（114）彼此分離。訊號帶電粒子光學器件包括線圈（120）與控制器（130），線圈（120）經配置以產生具有平行於線圈（120）的縱軸（A）的磁場分量的磁場，其中磁場作用於沿著縱軸（A）傳播的第一訊號帶電粒子分束（12）與第二訊號帶電粒子分束（14），且其中線圈的高寬比為至少1，控制器（130）經配置以調整線圈（120）的磁場，而使得第一訊號帶電粒子分束（12）被引導朝向第一偵測元件（112），而第二訊號帶電粒子分束（14）被引導朝向第二偵測元件（114）。
简体摘要：本揭示案系提供一种用于成像借由初级带电粒子束的撞击而从样品（8）发出的信号带电粒子束（10）的系统（100）。系统（100）包括侦测器布置（110）与信号带电粒子光学器件，侦测器布置（110）具有第一侦测组件（112）与第二侦测组件（114），第一侦测组件（112）用于侦测源自样品（8）上的第一斑点的信号带电粒子束（10）的第一信号带电粒子分束（12），第二侦测组件（114）用于侦测源自样品（8）上的第二斑点的信号带电粒子束（10）的第二信号带电粒子分束（14），其中第一侦测组件（112）与第二侦测组件（114）彼此分离。信号带电粒子光学器件包括线圈（120）与控制器（130），线圈（120）经配置以产生具有平行于线圈（120）的纵轴（A）的磁场分量的磁场，其中磁场作用于沿着纵轴（A）传播的第一信号带电粒子分束（12）与第二信号带电粒子分束（14），且其中线圈的高宽比为至少1，控制器（130）经配置以调整线圈（120）的磁场，而使得第一信号带电粒子分束（12）被引导朝向第一侦测组件（112），而第二信号带电粒子分束（14）被引导朝向第二侦测组件（114）。

3. 发明专利

TW201426810A 二次電子光學及偵測裝置审中-公开
简体标题：二次电子光学及侦测设备
公开(公告)号：TW201426810A
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：TW102147554
申请日：2013-12-20
申请人： ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：拉尼歐史帝芬 , LANIO, STEFAN , 佛意森傑根 , FROSIEN, JURGEN , 沙奈克吉拉德 , SCHONECKER, GERALD , 溫克勒迪特 , WINKLER, DIETER
IPC分类号： H01J37/26 , G01N23/22 , G01N21/88
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/147 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/057 , H01J2237/1516 , H01J2237/24465 , H01J2237/2449 , H01J2237/24592 , H01J2237/2806 , H01J2237/2812 , H01J2237/2814
摘要：一種用於帶電粒子束裝置的二次帶電粒子偵測系統被描述。該偵測系統包含：分光鏡以將初級光束與碰撞樣品時形成的二次光束分離；光束轉向器以將該二次光束偏折；聚焦透鏡以將該二次光束聚焦；偵測元件以偵測二次光束粒子，及三個致偏器，其中該三個致偏器中的至少第一致偏器係提供於該光束轉向器與該聚焦透鏡之間，該三個致偏器中的至少第二致偏器係提供於該聚焦透鏡與該偵測元件之間，該三個致偏器中的至少第三致偏器係提供於該分光鏡與該偵測元件之間。
简体摘要：一种用于带电粒子束设备的二次带电粒子侦测系统被描述。该侦测系统包含：分光镜以将初级光束与碰撞样品时形成的二次光束分离；光束转向器以将该二次光束偏折；聚焦透镜以将该二次光束聚焦；侦测组件以侦测二次光束粒子，及三个致偏器，其中该三个致偏器中的至少第一致偏器系提供于该光束转向器与该聚焦透镜之间，该三个致偏器中的至少第二致偏器系提供于该聚焦透镜与该侦测组件之间，该三个致偏器中的至少第三致偏器系提供于该分光镜与该侦测组件之间。

4. 发明专利

TWI557769B 電子束晶圓檢查系統及其操作方法有权
简体标题：电子束晶圆检查系统及其操作方法
公开(公告)号：TWI557769B
公开(公告)日：2016-11-11
申请号：TW103115845
申请日：2014-05-02
申请人： ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：佛意森傑根 , FROSIEN, JURGEN
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/145 , H01J37/04
CPC分类号： H01J37/145 , H01J37/265 , H01J37/28

5. 发明专利

TWI684196B 用於檢查樣品及/或成像樣品的帶電粒子束裝置及方法有权
简体标题：用于检查样品及/或成像样品的带电粒子束设备及方法
公开(公告)号：TWI684196B
公开(公告)日：2020-02-01
申请号：TW105122152
申请日：2016-07-14
申请人：德商ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：佛意森傑根 , FROSIEN, JURGEN
IPC分类号： H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/28

6. 发明专利

TW201921103A 帶電粒子束裝置、用於帶電粒子束裝置的孔佈置和用於操作帶電粒子束裝置的方法审中-公开
简体标题：带电粒子束设备、用于带电粒子束设备的孔布置和用于操作带电粒子束设备的方法
公开(公告)号：TW201921103A
公开(公告)日：2019-06-01
申请号：TW107129061
申请日：2018-08-21
申请人：德商ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：弗羅森尤爾根 , FROSIEN, JURGEN
IPC分类号： G03F1/86 , H01J37/244 , H01J37/26
摘要：本揭示內容提供一種帶電粒子束裝置（100）。帶電粒子束裝置（100）包括：帶電粒子源（20），經配置以發射帶電粒子束（14）；聚光透鏡佈置（110）；孔佈置（120），經配置以產生帶電粒子束（14）的兩個或更多個小束，其中孔佈置（120）包括多個第一開口和與多個第一開口不同的多個第二開口；和多極佈置（130），經配置以作用在兩個或更多個小束上。孔佈置（120）經配置以使多個第一開口或多個第二開口與多極佈置（130）對準。
简体摘要：本揭示内容提供一种带电粒子束设备（100）。带电粒子束设备（100）包括：带电粒子源（20），经配置以发射带电粒子束（14）；聚光透镜布置（110）；孔布置（120），经配置以产生带电粒子束（14）的两个或更多个小束，其中孔布置（120）包括多个第一开口和与多个第一开口不同的多个第二开口；和多极布置（130），经配置以作用在两个或更多个小束上。孔布置（120）经配置以使多个第一开口或多个第二开口与多极布置（130）对准。

7. 发明专利

TW201624523A 高解析度帶電粒子束裝置及其操作方法审中-公开
简体标题：高分辨率带电粒子束设备及其操作方法
公开(公告)号：TW201624523A
公开(公告)日：2016-07-01
申请号：TW104142761
申请日：2015-12-18
申请人： ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：佛意森傑根 , FROSIEN, JURGEN
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/04
CPC分类号： H01J37/153 , H01J2237/1534
摘要：提供一帶電粒子束裝置，其包括：一經配適用於產生一初級帶電粒子束的初級束來源裝置；一經配適用於提供球面及/或色像差之補償的鏡修正器裝置；一第一束分離器，其經配適用於傳輸該初級帶電粒子束至該鏡修正器裝置，且用於從該鏡修正器裝置所反射之一補償初級帶電粒子束分離出該初級帶電粒子束，其中該第一束分離器具有一經組態以產生至少一偶極磁場的磁偏轉器；一經配適用於聚焦該補償初級帶電粒子束至一樣品上的物鏡；及一第二束分離器，其經配適用於傳輸該補償初級帶電粒子束至該樣品，且用於從源自該樣品之一第二帶電粒子束分離出該補償初級帶電粒子束。
简体摘要：提供一带电粒子束设备，其包括：一经配适用于产生一初级带电粒子束的初级束来源设备；一经配适用于提供球面及/或色像差之补偿的镜修正器设备；一第一束分离器，其经配适用于传输该初级带电粒子束至该镜修正器设备，且用于从该镜修正器设备所反射之一补偿初级带电粒子束分离出该初级带电粒子束，其中该第一束分离器具有一经组态以产生至少一偶极磁场的磁偏转器；一经配适用于聚焦该补偿初级带电粒子束至一样品上的物镜；及一第二束分离器，其经配适用于传输该补偿初级带电粒子束至该样品，且用于从源自该样品之一第二带电粒子束分离出该补偿初级带电粒子束。

8. 发明专利

TW201503210A 電子束晶圓檢查系統及其操作方法审中-公开
简体标题：电子束晶圆检查系统及其操作方法
公开(公告)号：TW201503210A
公开(公告)日：2015-01-16
申请号：TW103115845
申请日：2014-05-02
申请人： ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：佛意森傑根 , FROSIEN, JURGEN
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/145 , H01J37/04
CPC分类号： H01J37/145 , H01J37/265 , H01J37/28
摘要：茲描述一種電子束晶圓攝像系統。該系統包括用於發射電子束的發射器，其中該發射器為冷場發射器、熱輔助場發射器或肖特基(Schottky)發射器；用於在該發射器和圓柱殼體之間施加至少20kV的電壓之電源；用於將該電子束聚焦於晶圓上的物鏡，其中該物鏡具有磁透鏡組件及靜電透鏡組件，其中該磁透鏡組件及該靜電透鏡組件大體上互相重疊，其中該靜電透鏡組件具有第一電極、第二電極及第三電極；以及被沿著從該第三電極之位置到樣品台之位置的光軸定位的控制電極，其中該控制電極設以控制訊號電子；用以在第一操作模式和第二操作模式之間切換的控制器，其中該控制器被連接至另外的電源，用以在該第一操作模式和該第二操作模式之間切換。
简体摘要：兹描述一种电子束晶圆摄像系统。该系统包括用于发射电子束的发射器，其中该发射器为冷场发射器、热辅助场发射器或肖特基(Schottky)发射器；用于在该发射器和圆柱壳体之间施加至少20kV的电压之电源；用于将该电子束聚焦于晶圆上的物镜，其中该物镜具有磁透镜组件及静电透镜组件，其中该磁透镜组件及该静电透镜组件大体上互相重叠，其中该静电透镜组件具有第一电极、第二电极及第三电极；以及被沿着从该第三电极之位置到样品台之位置的光轴定位的控制电极，其中该控制电极设以控制信号电子；用以在第一操作模式和第二操作模式之间切换的控制器，其中该控制器被连接至另外的电源，用以在该第一操作模式和该第二操作模式之间切换。

9. 发明专利

TW201618152A 用於帶電粒子束裝置的圓頂偵測审中-公开
简体标题：用于带电粒子束设备的圆顶侦测
公开(公告)号：TW201618152A
公开(公告)日：2016-05-16
申请号：TW104135465
申请日：2015-10-28
申请人： ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：佛意森傑根 , FROSIEN, JURGEN
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/02
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/05 , H01J2237/1508 , H01J2237/28
摘要：根據實施例，提供一種操作帶電粒子束裝置的方法。帶電粒子束裝置包括光束分離單元、與光束分離單元間隔開的第一光學部件、以及與光束分離單元間隔開且與第一光學部件間隔開的第二光學部件。該方法包括產生初級帶電粒子束。該方法進一步包括在光束分離單元中產生第一電場與第一磁場。該方法進一步包括導引初級帶電粒子束通過產生第一電場與第一磁場的光束分離單元，其中初級帶電粒子束離開光束分離單元的行進方向在第一電場與第一磁場的影響下對準第一目標軸。該方法進一步包括藉由初級帶電粒子束撞擊到樣品上產生次級帶電粒子束。該方法進一步包括在光束分離單元中將次級帶電粒子束分離出初級帶電粒子束，其中次級帶電粒子束在第一電場與第一磁場的影響下偏轉，而從光束分離單元行進到第一光學部件。該方法進一步包括在光束分離裝置中產生第二電場與第二磁場。該方法進一步包括導引初級帶電粒子束通過產生第二電場與第二磁場的光束分離單元，其中初級帶電粒子束離開光束分離單元的行進方向在第二電場與第二磁場的影響下對準第一目標軸。該方法進一步包括在光束分離單元中將次級帶電粒子束分離出初級帶電粒子束，其中次級帶電粒子束在第二電場與第二磁場的影響下偏轉，而從光束分離單元行進到第二光學部件。
简体摘要：根据实施例，提供一种操作带电粒子束设备的方法。带电粒子束设备包括光束分离单元、与光束分离单元间隔开的第一光学部件、以及与光束分离单元间隔开且与第一光学部件间隔开的第二光学部件。该方法包括产生初级带电粒子束。该方法进一步包括在光束分离单元中产生第一电场与第一磁场。该方法进一步包括导引初级带电粒子束通过产生第一电场与第一磁场的光束分离单元，其中初级带电粒子束离开光束分离单元的行进方向在第一电场与第一磁场的影响下对准第一目标轴。该方法进一步包括借由初级带电粒子束撞击到样品上产生次级带电粒子束。该方法进一步包括在光束分离单元中将次级带电粒子束分离出初级带电粒子束，其中次级带电粒子束在第一电场与第一磁场的影响下偏转，而从光束分离单元行进到第一光学部件。该方法进一步包括在光束分离设备中产生第二电场与第二磁场。该方法进一步包括导引初级带电粒子束通过产生第二电场与第二磁场的光束分离单元，其中初级带电粒子束离开光束分离单元的行进方向在第二电场与第二磁场的影响下对准第一目标轴。该方法进一步包括在光束分离单元中将次级带电粒子束分离出初级带电粒子束，其中次级带电粒子束在第二电场与第二磁场的影响下偏转，而从光束分离单元行进到第二光学部件。

10. 发明专利

TW201527745A 用於高產量電子束檢測（ＥＢＩ）的多射束系統审中-公开
简体标题：用于高产量电子束检测（ＥＢＩ）的多射束系统
公开(公告)号：TW201527745A
公开(公告)日：2015-07-16
申请号：TW103141820
申请日：2014-12-02
申请人： ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：佛意森傑根 , FROSIEN, JURGEN , 溫克勒迪特 , WINKLER, DIETER , 庫克班傑明約翰 , COOK, BENJAMIN JOHN
IPC分类号： G01N23/04 , G01N23/22
摘要：敘述一種經配置以進行一檢體成像的掃瞄帶電粒子束裝置。該掃瞄帶電粒子束裝置包含一帶電粒子來源、一聚光透鏡、一孔徑板、至少兩偏向器、一多極偏向器、一物透鏡、一射束分離器、一射束彎曲器、偏向器或鏡與至少兩偵測器元件，該聚光透鏡用以影響該等帶電粒子；該孔徑板具有至少兩孔徑開口，以產生至少兩主要帶電粒子小射束；該至少兩偏向器經配置以各自將該至少兩主要帶電粒子小射束偏斜，因此每一主要小射束都顯現為來自於一不同來源，其中該至少兩偏向器係為多數具有8階或更高階極數的多極偏向器；該多極偏向器具有8階或更高階極數；該物透鏡經配置以將該至少兩主要小射束聚焦於該檢體上，其中該物透鏡為一種減速場複合透鏡；該射束分離器經配置以從至少兩訊號小射束分離出該至少兩主要小射束；該射束彎曲器、偏向器或鏡經配置以將該至少兩訊號小射束偏斜，其中該射束彎曲器係自以下構成的群組選擇：一半球形射束彎曲器與具有至少兩彎形電極的射束彎曲器；而該至少兩偵測器元件經配置以各自測量該至少兩訊號小射束。
简体摘要：叙述一种经配置以进行一检体成像的扫瞄带电粒子束设备。该扫瞄带电粒子束设备包含一带电粒子来源、一聚光透镜、一孔径板、至少两偏向器、一多极偏向器、一物透镜、一射束分离器、一射束弯曲器、偏向器或镜与至少两侦测器组件，该聚光透镜用以影响该等带电粒子；该孔径板具有至少两孔径开口，以产生至少两主要带电粒子小射束；该至少两偏向器经配置以各自将该至少两主要带电粒子小射束偏斜，因此每一主要小射束都显现为来自于一不同来源，其中该至少两偏向器系为多数具有8阶或更高级极数的多极偏向器；该多极偏向器具有8阶或更高级极数；该物透镜经配置以将该至少两主要小射束聚焦于该检体上，其中该物透镜为一种减速场复合透镜；该射束分离器经配置以从至少两信号小射束分离出该至少两主要小射束；该射束弯曲器、偏向器或镜经配置以将该至少两信号小射束偏斜，其中该射束弯曲器系自以下构成的群组选择：一半球形射束弯曲器与具有至少两弯形电极的射束弯曲器；而该至少两侦测器组件经配置以各自测量该至少两信号小射束。

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