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1. 发明专利

TWI613693B 用於成像訊號帶電粒子束的系統、用於成像訊號帶電粒子束的方法及帶電粒子束裝置有权
简体标题：用于成像信号带电粒子束的系统、用于成像信号带电粒子束的方法及带电粒子束设备
公开(公告)号：TWI613693B
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：TW106103903
申请日：2017-02-07
申请人： ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：拉尼歐史帝芬 , LANIO, STEFAN , 佛意森傑根 , FROSIEN, JURGEN , 費恩克斯馬蒂亞斯 , FIRNKES, MATTHIAS , 庫克班傑明約翰 , COOK, BENJAMIN JOHN
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/29
CPC分类号： H01J37/244 , H01J2237/24465 , H01J2237/2449 , H01J2237/24592

2. 发明专利

TW201740422A 用於成像訊號帶電粒子束的系統、用於成像訊號帶電粒子束的方法及帶電粒子束裝置审中-公开
简体标题：用于成像信号带电粒子束的系统、用于成像信号带电粒子束的方法及带电粒子束设备
公开(公告)号：TW201740422A
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：TW106103903
申请日：2017-02-07
申请人： ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：拉尼歐史帝芬 , LANIO, STEFAN , 佛意森傑根 , FROSIEN, JURGEN , 費恩克斯馬蒂亞斯 , FIRNKES, MATTHIAS , 庫克班傑明約翰 , COOK, BENJAMIN JOHN
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/29
CPC分类号： H01J37/244 , H01J2237/24465 , H01J2237/2449 , H01J2237/24592
摘要：本揭示案係提供一種用於成像藉由初級帶電粒子束的撞擊而從樣品（8）發出的訊號帶電粒子束（10）的系統（100）。系統（100）包括偵測器佈置（110）與訊號帶電粒子光學器件，偵測器佈置（110）具有第一偵測元件（112）與第二偵測元件（114），第一偵測元件（112）用於偵測源自樣品（8）上的第一斑點的訊號帶電粒子束（10）的第一訊號帶電粒子分束（12），第二偵測元件（114）用於偵測源自樣品（8）上的第二斑點的訊號帶電粒子束（10）的第二訊號帶電粒子分束（14），其中第一偵測元件（112）與第二偵測元件（114）彼此分離。訊號帶電粒子光學器件包括線圈（120）與控制器（130），線圈（120）經配置以產生具有平行於線圈（120）的縱軸（A）的磁場分量的磁場，其中磁場作用於沿著縱軸（A）傳播的第一訊號帶電粒子分束（12）與第二訊號帶電粒子分束（14），且其中線圈的高寬比為至少1，控制器（130）經配置以調整線圈（120）的磁場，而使得第一訊號帶電粒子分束（12）被引導朝向第一偵測元件（112），而第二訊號帶電粒子分束（14）被引導朝向第二偵測元件（114）。
简体摘要：本揭示案系提供一种用于成像借由初级带电粒子束的撞击而从样品（8）发出的信号带电粒子束（10）的系统（100）。系统（100）包括侦测器布置（110）与信号带电粒子光学器件，侦测器布置（110）具有第一侦测组件（112）与第二侦测组件（114），第一侦测组件（112）用于侦测源自样品（8）上的第一斑点的信号带电粒子束（10）的第一信号带电粒子分束（12），第二侦测组件（114）用于侦测源自样品（8）上的第二斑点的信号带电粒子束（10）的第二信号带电粒子分束（14），其中第一侦测组件（112）与第二侦测组件（114）彼此分离。信号带电粒子光学器件包括线圈（120）与控制器（130），线圈（120）经配置以产生具有平行于线圈（120）的纵轴（A）的磁场分量的磁场，其中磁场作用于沿着纵轴（A）传播的第一信号带电粒子分束（12）与第二信号带电粒子分束（14），且其中线圈的高宽比为至少1，控制器（130）经配置以调整线圈（120）的磁场，而使得第一信号带电粒子分束（12）被引导朝向第一侦测组件（112），而第二信号带电粒子分束（14）被引导朝向第二侦测组件（114）。

3. 发明专利

TW201740423A 帶電粒子束裝置、用於帶電粒子束裝置的系統、及用於操作帶電粒子束裝置的方法审中-公开
简体标题：带电粒子束设备、用于带电粒子束设备的系统、及用于操作带电粒子束设备的方法
公开(公告)号：TW201740423A
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：TW106103907
申请日：2017-02-07
申请人： ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：拉尼歐史帝芬 , LANIO, STEFAN , 費恩克斯馬蒂亞斯 , FIRNKES, MATTHIAS , 庫克班傑明約翰 , COOK, BENJAMIN JOHN
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/1475 , H01J2237/202 , H01J2237/2446 , H01J2237/2449 , H01J2237/24592
摘要：本揭示提供一種帶電粒子束裝置（500）。帶電粒子束裝置（500）包括發射器佈置、樣品台（7）、物鏡（510）、及初級帶電粒子光學器件，發射器佈置經配置以產生具有二或更多個初級帶電粒子分束的初級帶電粒子束，樣品台（7）用於支撐樣品（8），物鏡（510）用於將二或更多個初級帶電粒子分束聚焦至樣品（8）上。初級帶電粒子光學器件包括設置於發射器佈置與物鏡（510）之間的線圈（540）。線圈（540）經配置以產生具有平行於線圈（540）的縱軸的磁場分量的磁場，其中磁場作用於沿著縱軸傳播的二或更多個初級帶電粒子分束，且其中線圈的高寬比為至少1。控制器經配置以調整線圈（540）的磁場，而使得二或更多個初級帶電粒子分束的第一初級帶電粒子分束被引導朝向樣品（8）上的第一斑點，而二或更多個初級帶電粒子分束的第二初級帶電粒子分束被引導朝向樣品（8）上的第二斑點，其中第一斑點與第二斑點彼此間隔。
简体摘要：本揭示提供一种带电粒子束设备（500）。带电粒子束设备（500）包括发射器布置、样品台（7）、物镜（510）、及初级带电粒子光学器件，发射器布置经配置以产生具有二或更多个初级带电粒子分束的初级带电粒子束，样品台（7）用于支撑样品（8），物镜（510）用于将二或更多个初级带电粒子分束聚焦至样品（8）上。初级带电粒子光学器件包括设置于发射器布置与物镜（510）之间的线圈（540）。线圈（540）经配置以产生具有平行于线圈（540）的纵轴的磁场分量的磁场，其中磁场作用于沿着纵轴传播的二或更多个初级带电粒子分束，且其中线圈的高宽比为至少1。控制器经配置以调整线圈（540）的磁场，而使得二或更多个初级带电粒子分束的第一初级带电粒子分束被引导朝向样品（8）上的第一斑点，而二或更多个初级带电粒子分束的第二初级带电粒子分束被引导朝向样品（8）上的第二斑点，其中第一斑点与第二斑点彼此间隔。

4. 发明专利

TWI622077B 帶電粒子束裝置、用於帶電粒子束裝置的系統、及用於操作帶電粒子束裝置的方法有权
简体标题：带电粒子束设备、用于带电粒子束设备的系统、及用于操作带电粒子束设备的方法
公开(公告)号：TWI622077B
公开(公告)日：2018-04-21
申请号：TW106103907
申请日：2017-02-07
申请人：德商ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：拉尼歐史帝芬 , LANIO, STEFAN , 費恩克斯馬蒂亞斯 , FIRNKES, MATTHIAS , 庫克班傑明約翰 , COOK, BENJAMIN JOHN
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/1475 , H01J2237/202 , H01J2237/2446 , H01J2237/2449 , H01J2237/24592

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