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    • 1. 发明专利
    • 工件處理系統與方法
    • 工件处理系统与方法
    • TW201507054A
    • 2015-02-16
    • TW103116680
    • 2014-05-12
    • DTG國際股份有限公司DTG INTERNATIONAL GMBH
    • 威爾雪 傑輝 理查爾WILLSHERE, JEFFREY RICHARD楊 丁明YANG, DIMING羅傑斯 麥可 約翰ROGERS, MICHAEL JOHN
    • H01L21/68B65G43/00G01B11/24
    • H01L21/67706H01L21/681H01L21/6838
    • 一種用於處理工件之工件處理系統與方法,該系統包含:一工件支撐單元,其可操作以在一處理操作中支撐一工件,其中工件支撐單元包含:用於支撐其上之一工件的一壓板,該壓板包含一主體及延伸越過主體之表面以自該壓板來回轉移表面上之工件的一皮帶,以及一驅動佈置,該佈置驅動皮帶以轉移工件;以及一成像單元,其用於對一支撐的工件進行成像,其中成像單元包含:複數個離散的光源,該等複數個光源經佈置以穿過皮帶照亮支撐的工件之各別邊緣特徵;以及複數個偵測器,該等複數個偵測器對應於各別光源佈置以偵測透射自光源之各別一者的光照,可藉以採集各別邊緣特徵之每一者的影像。
    • 一种用于处理工件之工件处理系统与方法,该系统包含:一工件支撑单元,其可操作以在一处理操作中支撑一工件,其中工件支撑单元包含:用于支撑其上之一工件的一压板,该压板包含一主体及延伸越过主体之表面以自该压板来回转移表面上之工件的一皮带,以及一驱动布置,该布置驱动皮带以转移工件;以及一成像单元,其用于对一支撑的工件进行成像,其中成像单元包含:复数个离散的光源,该等复数个光源经布置以穿过皮带照亮支撑的工件之各别边缘特征;以及复数个侦测器,该等复数个侦测器对应于各别光源布置以侦测透射自光源之各别一者的光照,可借以采集各别边缘特征之每一者的影像。