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1. 发明专利

TW201627777A 支撐裝置、微影裝置及器件製造方法审中-公开
简体标题：支撑设备、微影设备及器件制造方法
公开(公告)号：TW201627777A
公开(公告)日：2016-08-01
申请号：TW104140813
申请日：2013-05-27
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：克佛耶茲安卓尼斯亨瑞克 , KOEVOETS, ADRIANUS HENDRIK , 當德斯史喬德尼可拉斯藍伯特斯 , DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS , 菲恩曼諾 , FIEN, MENNO , 德葛路特安東尼司法蘭西斯科司喬漢尼司 , DE GROOT, ANTONIUS FRANCISCUS JOHANNES , 胡甄丹克莉絲汀娜艾利珊卓 , HOOGENDAM, CHRISTIAAN ALEXANDER , 賈庫博喬漢斯亨利哈斯威廉瑪斯 , JACOBS, JOHANNES HENRICUS WILHELMUS , 添凱特尼可拉斯 , TEN KATE, NICOLAAS , 豪班馬提恩 , HOUBEN, MARTIJN , 拉法瑞雷孟德威黑墨斯路易斯 , LAFARRE, RAYMOND WILHELMUS LOUIS , 威斯特雷肯禎史蒂芬克里斯丁 , WESTERLAKEN, JAN STEVEN CHRISTIAAN , 奧維卡皮金文森 , OVERKAMP, JIM VINCENT , 凡比茲南馬登 , VAN BEIJNUM, MAARTEN , 德瓊羅伯 , DE JONG, ROB
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70716 , G03F7/70341 , G03F7/707 , G03F7/70733
摘要：一種用於一微影裝置之支撐裝置，其具有一物件固持器及一抽取本體，該抽取本體自該物件固持器徑向地向外。該物件固持器經組態以支撐一物件。該抽取本體包括經組態以自該支撐裝置之一頂部表面抽取流體之一抽取開口。該抽取本體係與該物件固持器隔開，使得該抽取本體自該物件固持器實質上解耦。該抽取本體包含一突出物，該突出物經組態成使得其環繞該物件固持器，且使得在使用時，一液體層保留於該突出物上且接觸該物件固持器上支撐之一物件。
简体摘要：一种用于一微影设备之支撑设备，其具有一对象固持器及一抽取本体，该抽取本体自该对象固持器径向地向外。该对象固持器经组态以支撑一对象。该抽取本体包括经组态以自该支撑设备之一顶部表面抽取流体之一抽取开口。该抽取本体系与该对象固持器隔开，使得该抽取本体自该对象固持器实质上解耦。该抽取本体包含一突出物，该突出物经组态成使得其环绕该对象固持器，且使得在使用时，一液体层保留于该突出物上且接触该对象固持器上支撑之一对象。

2. 发明专利

TW201305739A 用於熱調節微影裝置之部件之熱調節系統及熱調節方法审中-公开
简体标题：用于热调节微影设备之部件之热调节系统及热调节方法
公开(公告)号：TW201305739A
公开(公告)日：2013-02-01
申请号：TW101111186
申请日：2012-03-29
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：當德斯史喬德尼可拉斯藍伯特斯 , DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS , 白尼凡丁葉弗真葉米希 , BANINE, VADIM YEVGENYEVICH , 莫斯喬漢斯哈博特喬瑟菲那 , MOORS, JOHANNES HUBERTUS JOSEPHINA , 微哈珍馬提那斯康納斯瑪利亞 , VERHAGEN, MARTINUS CORNELIS MARIA , 佛利恩斯歐勒夫華德瑪佛勒迪米爾 , FRIJNS, OLAV WALDEMAR VLADIMIR , 凡東吉瑞特 , VAN DONK, GERRIT , 凡吉納漢克詹 , VAN GERNER, HENK JAN
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70858 , F28D15/0266
摘要：一種用於熱調節一微影裝置之一部件的雙相熱調節系統包括：一蒸發器，該蒸發器定位成與該微影裝置之該部件熱接觸，用於藉由該蒸發器內部之一流體之蒸發而自該部件提取熱；一冷凝器，該冷凝器定位成距該微影裝置之該部件達一距離，用於藉由該冷凝器內部之該流體之冷凝而自該冷凝器內部之該流體移除熱；數個流體線路，該等流體線路配置於該蒸發器與該冷凝器之間以形成一迴路，流體能夠在該迴路中流動；一泵，該泵配置於該迴路中以使該流體在該迴路中循環；一儲罐，該儲罐經組態以保存流體，其中該儲罐與該迴路流體連通，且包含一熱交換器以自該儲罐內部之流體傳遞熱或將熱傳遞至該儲罐內部之流體；一溫度感測器，該溫度感測器經組態以提供表示該流體之溫度的一量測信號；及一控制器，該控制器經組態以藉由基於該量測信號而調整由該熱交換器自該儲罐內部之流體傳遞或傳遞至該儲罐內部之流體的熱量來維持該迴路內部之該流體的一實質上恆定之溫度。
简体摘要：一种用于热调节一微影设备之一部件的双相热调节系统包括：一蒸发器，该蒸发器定位成与该微影设备之该部件热接触，用于借由该蒸发器内部之一流体之蒸发而自该部件提取热；一冷凝器，该冷凝器定位成距该微影设备之该部件达一距离，用于借由该冷凝器内部之该流体之冷凝而自该冷凝器内部之该流体移除热；数个流体线路，该等流体线路配置于该蒸发器与该冷凝器之间以形成一回路，流体能够在该回路中流动；一泵，该泵配置于该回路中以使该流体在该回路中循环；一储罐，该储罐经组态以保存流体，其中该储罐与该回路流体连通，且包含一热交换器以自该储罐内部之流体传递热或将热传递至该储罐内部之流体；一温度传感器，该温度传感器经组态以提供表示该流体之温度的一量测信号；及一控制器，该控制器经组态以借由基于该量测信号而调整由该热交换器自该储罐内部之流体传递或传递至该储罐内部之流体的热量来维持该回路内部之该流体的一实质上恒定之温度。

3. 发明专利

TWI435189B 微影裝置及微影裝置冷卻方法有权
简体标题：微影设备及微影设备冷却方法
公开(公告)号：TWI435189B
公开(公告)日：2014-04-21
申请号：TW100119432
申请日：2011-06-02
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：當德斯史喬德尼可拉斯藍伯特斯 , DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70858 , F28D15/0266 , F28F27/00

4. 发明专利

TW201308024A 基板台總成，浸潤式微影裝置及器件製造方法审中-公开
简体标题：基板台总成，浸润式微影设备及器件制造方法
公开(公告)号：TW201308024A
公开(公告)日：2013-02-16
申请号：TW101128497
申请日：2012-08-07
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：庫尼約翰葛卓迪斯寇尼里斯 , KUNNEN, JOHAN GERTRUDIS CORNELIS , 賈庫博喬漢斯亨利哈斯威廉瑪斯 , JACOBS, JOHANNES HENRICUS WILHELMUS , 豪班馬提恩 , HOUBEN, MARTIJN , 勞倫帝寶賽門馬修 , LAURENT, THIBAULT SIMON MATHIEU , 凡波克特法蘭克喬漢斯賈柏斯 , VAN BOXTEL, FRANK JOHANNES JACOBUS , 德可山多卡特琳娜雷納 , DERKS, SANDER CATHARINA REINIER , 當德斯史喬德尼可拉斯藍伯特斯 , DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/68
CPC分类号： G03F7/70341 , G03F7/707 , G03F7/70875 , H01L21/683
摘要：本發明揭示一種基板台總成、一種浸潤式微影裝置，及一種器件製造方法。該基板台總成包括：一基板台，其用以支撐一基板；及一氣體處置系統，其用以將一氣體提供至該基板台與安裝於該基板台上之一基板之間的一區，其中藉由該氣體處置系統提供之該氣體具有在298K下大於或等於100mW/(m.K)之一熱導率。
简体摘要：本发明揭示一种基板台总成、一种浸润式微影设备，及一种器件制造方法。该基板台总成包括：一基板台，其用以支撑一基板；及一气体处置系统，其用以将一气体提供至该基板台与安装于该基板台上之一基板之间的一区，其中借由该气体处置系统提供之该气体具有在298K下大于或等于100mW/(m.K)之一热导率。

9. 发明专利

TW201405253A 支撐裝置、微影裝置及器件製造方法审中-公开
简体标题：支撑设备、微影设备及器件制造方法
公开(公告)号：TW201405253A
公开(公告)日：2014-02-01
申请号：TW102118695
申请日：2013-05-27
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：克佛耶茲安卓尼斯亨瑞克 , KOEVOETS, ADRIANUS HENDRIK , 當德斯史喬德尼可拉斯藍伯特斯 , DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS , 菲恩曼諾 , FIEN, MENNO , 德葛路特安東尼司法蘭西斯科司喬漢尼司 , DE GROOT, ANTONIUS FRANCISCUS JOHANNES , 胡甄丹克莉絲汀娜艾利珊卓 , HOOGENDAM, CHRISTIAAN ALEXANDER , 賈庫博喬漢斯亨利哈斯威廉瑪斯 , JACOBS, JOHANNES HENRICUS WILHELMUS , 添凱特尼可拉斯 , TEN KATE, NICOLAAS , 豪班馬提恩 , HOUBEN, MARTIJN , 拉法瑞雷孟德威黑墨斯路易斯 , LAFARRE, RAYMOND WILHELMUS LOUIS , 威斯特雷肯禎史蒂芬克里斯丁 , WESTERLAKEN, JAN STEVEN CHRISTIAAN , 奧維卡皮金文森 , OVERKAMP, JIM VINCENT , 凡比茲南馬登 , VAN BEIJNUM, MAARTEN , 德瓊羅伯 , DE JONG, ROB
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70716 , G03F7/70341 , G03F7/707 , G03F7/70733
摘要：一種用於一微影裝置之支撐裝置，其具有一物件固持器及一抽取本體，該抽取本體自該物件固持器徑向地向外。該物件固持器經組態以支撐一物件。該抽取本體包括經組態以自該支撐裝置之一頂部表面抽取流體之一抽取開口。該抽取本體係與該物件固持器隔開，使得該抽取本體自該物件固持器實質上解耦。該抽取本體包含一突出物，該突出物經組態成使得其環繞該物件固持器，且使得在使用時，一液體層保留於該突出物上且接觸該物件固持器上支撐之一物件。
简体摘要：一种用于一微影设备之支撑设备，其具有一对象固持器及一抽取本体，该抽取本体自该对象固持器径向地向外。该对象固持器经组态以支撑一对象。该抽取本体包括经组态以自该支撑设备之一顶部表面抽取流体之一抽取开口。该抽取本体系与该对象固持器隔开，使得该抽取本体自该对象固持器实质上解耦。该抽取本体包含一突出物，该突出物经组态成使得其环绕该对象固持器，且使得在使用时，一液体层保留于该突出物上且接触该对象固持器上支撑之一对象。

10. 发明专利

TW201207573A 微影裝置及微影裝置冷卻方法 LITHOGRAPHIC APPARATUS AND LITHOGRAPHIC APPARATUS COOLING METHOD 审中-公开
简体标题：微影设备及微影设备冷却方法 LITHOGRAPHIC APPARATUS AND LITHOGRAPHIC APPARATUS COOLING METHOD
公开(公告)号：TW201207573A
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：TW100119432
申请日：2011-06-02
申请人： ASML荷蘭公司
发明人：當德斯史喬德尼可拉斯藍伯特斯
IPC分类号： G03F
CPC分类号： G03F7/70858 , F28D15/0266 , F28F27/00
摘要：本發明係關於一種微影裝置,該微影裝置包含:一照明系統,該照明系統經組態以調節一輻射光束;一支撐件,該支撐件經建構以支撐一圖案化元件,該圖案化元件能夠在該輻射光束之橫截面中向該輻射光束賦予一圖案以形成一經圖案化輻射光束;一基板台,該基板台經建構以固持一基板;一投影系統,該投影系統經組態以將該經圖案化輻射光束投影至該基板之一目標部分上;及一冷卻系統,該冷卻系統用於以增加之冷卻能力來冷卻該微影裝置之一部件以減少自該裝置之該部件至該裝置之其他部件的熱轉移。
简体摘要：本发明系关于一种微影设备,该微影设备包含:一照明系统,该照明系统经组态以调节一辐射光束;一支撑件,该支撑件经建构以支撑一图案化组件,该图案化组件能够在该辐射光束之横截面中向该辐射光束赋予一图案以形成一经图案化辐射光束;一基板台,该基板台经建构以固持一基板;一投影系统,该投影系统经组态以将该经图案化辐射光束投影至该基板之一目标部分上;及一冷却系统,该冷却系统用于以增加之冷却能力来冷却该微影设备之一部件以减少自该设备之该部件至该设备之其他部件的热转移。

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