会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 2. 发明专利
    • 光阻顯像液用消泡分散劑
    • 光阻显像液用消泡分散剂
    • TWI332860B
    • 2010-11-11
    • TW092129216
    • 2003-10-22
    • ADEKA股份有限公司
    • 保坂將毅川俣大雅
    • B01F
    • 本發明係為一種光阻顯像液用消泡分散劑,其特徵係為提供在使用顯像液的影像光阻劑顯像過程中,對於顯像液的發泡情形有顯著優越的消泡性,且對於在顯像液中所產生之沉澱物之分散性亦良好。實施方式:針對與碳元素15以上之高級脂肪酸100質量部成比率為5~300之質量部碳元素6~14的中級脂肪酸的混合脂肪酸,與含有能反應脂肪族3元醇之部分脂肪酸酯為特徵之光阻顯像液用消泡劑。
    • 本发明系为一种光阻显像液用消泡分散剂,其特征系为提供在使用显像液的影像光阻剂显像过程中,对于显像液的发泡情形有显着优越的消泡性,且对于在显像液中所产生之沉淀物之分散性亦良好。实施方式:针对与碳元素15以上之高级脂肪酸100质量部成比率为5~300之质量部碳元素6~14的中级脂肪酸的混合脂肪酸,与含有能反应脂肪族3元醇之部分脂肪酸酯为特征之光阻显像液用消泡剂。
    • 5. 发明专利
    • 光阻組成物 PHOTORESIST COMPOSITION
    • 光阻组成物 PHOTORESIST COMPOSITION
    • TWI346836B
    • 2011-08-11
    • TW093130888
    • 2004-10-12
    • ADEKA股份有限公司
    • 保坂將毅本間正敏
    • G03F
    • G03F7/0392
    • 本發明係以含有,(A)成份為以下述一般式(1)表示之聚醚酯、(B)成份為具有陰離子性基之鹼可溶性樹脂或其改性物為特徵之光阻組成物。
      [RCOO(AO)a]mX[O(AO')bH]n(1)
      (式中,RCO為由碳數6~22之脂肪酸去除羥基的殘基,;X為由具有至少三個羥基之多醇去除羥基的殘基;AO及AO'為碳數2~4之氧伸烷基;a為0或1以上之數;b為1以上之數;m及n為1以上之數;但,m及n之合計,與上述多醇的羥基之數相等。)
    • 本发明系以含有,(A)成份为以下述一般式(1)表示之聚醚酯、(B)成份为具有阴离子性基之碱可溶性树脂或其改性物为特征之光阻组成物。 [RCOO(AO)a]mX[O(AO')bH]n(1) (式中,RCO为由碳数6~22之脂肪酸去除羟基的残基,;X为由具有至少三个羟基之多醇去除羟基的残基;AO及AO'为碳数2~4之氧伸烷基;a为0或1以上之数;b为1以上之数;m及n为1以上之数;但,m及n之合计,与上述多醇的羟基之数相等。)