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1. 发明专利

TWI575560B 用於操縱、加熱與冷卻一基材之方法與裝置，且於該基材上之圖案是由一工具以熱流動材料塗裝包含基材運送、工具安置、工具拉緊與工具收縮方式完成有权
简体标题：用于操纵、加热与冷却一基材之方法与设备，且于该基材上之图案是由一工具以热流动材料涂装包含基材运送、工具安置、工具拉紧与工具收缩方式完成
公开(公告)号：TWI575560B
公开(公告)日：2017-03-21
申请号：TW101134892
申请日：2012-09-24
申请人： 1366科技公司 , 1366 TECHNOLOGIES INC.
发明人：莎栩思伊繆爾M , SACHS, EMANUEL M. , 凱恩彼得E , KANE, PETER E. , 蓋特斯荷利G , GATES, HOLLY G. , 哈利斯戴密安W , HARRIS, DAMIAN W. , 玻利多班傑明F , POLITO, BENJAMIN F. , 伊尼利歐郝克特A , INIRIO, HECTOR A.
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/677
CPC分类号： B29B13/02 , B29C59/02 , B29C2059/023 , G03F7/0002

2. 发明专利

TW201324582A 用於操縱、加熱與冷卻一基材之方法與裝置，且於該基材上之圖案是由一工具以熱流動材料塗裝包含基材運送、工具安置、工具拉緊與工具收縮方式完成审中-公开
简体标题：用于操纵、加热与冷却一基材之方法与设备，且于该基材上之图案是由一工具以热流动材料涂装包含基材运送、工具安置、工具拉紧与工具收缩方式完成
公开(公告)号：TW201324582A
公开(公告)日：2013-06-16
申请号：TW101134892
申请日：2012-09-24
申请人： 1366科技公司 , 1366 TECHNOLOGIES INC.
发明人：莎栩思伊繆爾M , SACHS, EMANUEL M. , 凱恩彼得E , KANE, PETER E. , 蓋特斯荷利G , GATES, HOLLY G. , 哈利斯戴密安W , HARRIS, DAMIAN W. , 玻利多班傑明F , POLITO, BENJAMIN F. , 伊尼利歐郝克特A , INIRIO, HECTOR A.
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/677
CPC分类号： B29B13/02 , B29C59/02 , B29C2059/023 , G03F7/0002
摘要：工件係使用多小孔皮帶來運送，該皮帶將工件輸送至夾頭，該工件係藉由真空固持至該夾頭上。該皮帶可為多小孔PTFE。在可撓打印機被施加至一工件之前，該可撓打印機係藉由牽引該打印機朝向一加熱板、例如藉由真空而被預先加熱。藉由首先使該打印機的中心接觸至該工件的中心，且接著造成一接觸線由此共用的中心徑向地往外移動，該可撓打印機被施加至一工件，藉此防止空氣被捕集於該打印機及該工件之間。該打印機能藉由空氣壓力被膨大。該打印機能在佈圖之後被由該工件移除，首先藉由在該工件的外側邊緣及角落剝離該打印機遠離該工件，且接著逐漸地往內朝向該工件及該打印機之共有中心。工作站具有與毗連該工件用之位置隔開的間隔件，該工件係藉由差動氣壓鎖固至該工作站。該等間隔件具有一大約與該工件共平面、或較佳地係比該工件稍微更高的表面，以藉由造成該打印機由該工件橋接至該等間隔件、而非覆蓋環繞著該工件之邊緣，防止該打印機密封環繞著該工件之邊緣。在可撓打印機被加熱之前預先拉緊該可撓打印機，故該打印機於加熱及冷卻時不會改變尺寸，但相對地，該打印機經歷內部應力之改變。如此，於該打印機上之圖案的空間尺寸保持恆定，而不管其溫度。以此一使得其外部周邊總是在一溫度的方式加熱及冷卻該工件，該溫度係等於或高於該工件的中心之溫度。這防止可使該工件破裂的應力。加熱可為藉由一夾頭，該夾頭具有連接至中心及周邊導管的徑向通道；及藉由使熱水通過至該等周邊導管，且接著沿著該等徑向通道，及經過該中心導管離開該夾頭。冷卻能藉由在該相反方向中傳送較冷的水而被完成。
简体摘要：工件系使用多小孔皮带来运送，该皮带将工件输送至夹头，该工件系借由真空固持至该夹头上。该皮带可为多小孔PTFE。在可挠打印机被施加至一工件之前，该可挠打印机系借由牵引该打印机朝向一加热板、例如借由真空而被预先加热。借由首先使该打印机的中心接触至该工件的中心，且接着造成一接触线由此共享的中心径向地往外移动，该可挠打印机被施加至一工件，借此防止空气被捕集于该打印机及该工件之间。该打印机能借由空气压力被膨大。该打印机能在布图之后被由该工件移除，首先借由在该工件的外侧边缘及角落剥离该打印机远离该工件，且接着逐渐地往内朝向该工件及该打印机之共有中心。工作站具有与毗连该工件用之位置隔开的间隔件，该工件系借由差动气压锁固至该工作站。该等间隔件具有一大约与该工件共平面、或较佳地系比该工件稍微更高的表面，以借由造成该打印机由该工件桥接至该等间隔件、而非覆盖环绕着该工件之边缘，防止该打印机密封环绕着该工件之边缘。在可挠打印机被加热之前预先拉紧该可挠打印机，故该打印机于加热及冷却时不会改变尺寸，但相对地，该打印机经历内部应力之改变。如此，于该打印机上之图案的空间尺寸保持恒定，而不管其温度。以此一使得其外部周边总是在一温度的方式加热及冷却该工件，该温度系等于或高于该工件的中心之温度。这防止可使该工件破裂的应力。加热可为借由一夹头，该夹头具有连接至中心及周边导管的径向信道；及借由使热水通过至该等周边导管，且接着沿着该等径向信道，及经过该中心导管离开该夹头。冷却能借由在该相反方向中发送较冷的水而被完成。

3. 发明专利

TW201321088A 用於將抗蝕劑薄層沉積於基材上之裝置及方法审中-公开
简体标题：用于将抗蚀剂薄层沉积于基材上之设备及方法
公开(公告)号：TW201321088A
公开(公告)日：2013-06-01
申请号：TW101137898
申请日：2012-10-12
申请人： 1366科技公司 , 1366 TECHNOLOGIES INC.
发明人：戴能古伊M , DANNER, GUY M. , 蓋特斯荷利G , GATES, HOLLY G. , 塔拉索夫梵迪密爾S , TARASOV, VLADIMIR S. , 凱恩彼得E , KANE, PETER E. , 馬登彼得G , MADDEN, PETER G. , 莎栩思伊繆爾M , SACHS, EMANUEL M.
IPC分类号： B05D1/06 , B05D1/32 , B05D7/24
CPC分类号： B05B5/001 , B05B5/005 , B05B5/087 , B05B7/0012 , B05B12/16 , B05B13/02 , B05D1/04 , B05D1/06 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01L21/67109 , H01L21/67115 , H01L21/6715 , H01L21/6776
摘要：本發明係關於一基材上之薄聚合物膜之形成。描述用於進行以下操作之裝置：將固體聚合物抗蝕劑變換成小粒子氣溶膠；以靜電方式使該等粒子帶電且將該等粒子沉積至基材上；及使該等粒子匯合成連續層。進一步描述用於進行以下操作之裝置：藉由以下操作將固體抗蝕劑變換成小粒子氣溶膠：加熱該抗蝕劑以形成諸如與噴霧相容之低黏度液體，及應用噴射或衝擊噴霧及氣溶膠粒子大小設定之技術以形成該氣溶膠。進一步描述一種方法，該方法使用離子化氣體將電荷授予該等氣溶膠粒子且使用充電器件之連續序列建立將帶電粒子流引導至該基材之電場。充電器件及相關聯裝置之該連續序列導致對該等氣溶膠粒子之高收集效率。
简体摘要：本发明系关于一基材上之薄聚合物膜之形成。描述用于进行以下操作之设备：将固体聚合物抗蚀剂变换成小粒子气溶胶；以静电方式使该等粒子带电且将该等粒子沉积至基材上；及使该等粒子汇合成连续层。进一步描述用于进行以下操作之设备：借由以下操作将固体抗蚀剂变换成小粒子气溶胶：加热该抗蚀剂以形成诸如与喷雾兼容之低黏度液体，及应用喷射或冲击喷雾及气溶胶粒子大小设置之技术以形成该气溶胶。进一步描述一种方法，该方法使用离子化气体将电荷授予该等气溶胶粒子且使用充电器件之连续串行创建将带电粒子流引导至该基材之电场。充电器件及相关联设备之该连续串行导致对该等气溶胶粒子之高收集效率。

4. 发明专利

TWI607809B 用於將抗蝕劑薄層沉積於基材上之裝置及方法有权
简体标题：用于将抗蚀剂薄层沉积于基材上之设备及方法
公开(公告)号：TWI607809B
公开(公告)日：2017-12-11
申请号：TW101137898
申请日：2012-10-12
申请人： 1366科技公司 , 1366 TECHNOLOGIES INC.
发明人：戴能古伊M , DANNER, GUY M. , 蓋特斯荷利G , GATES, HOLLY G. , 塔拉索夫梵迪密爾S , TARASOV, VLADIMIR S. , 凱恩彼得E , KANE, PETER E. , 馬登彼得G , MADDEN, PETER G. , 莎栩思伊繆爾M , SACHS, EMANUEL M.
IPC分类号： B05D1/06 , B05D1/32 , B05D7/24
CPC分类号： B05B5/001 , B05B5/005 , B05B5/087 , B05B7/0012 , B05B12/16 , B05B13/02 , B05D1/04 , B05D1/06 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01L21/67109 , H01L21/67115 , H01L21/6715 , H01L21/6776

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