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    • 1. 发明专利
    • 空間光調變器 SPATIAL LIGHT MODULATOR
    • 空间光调制器 SPATIAL LIGHT MODULATOR
    • TWI338168B
    • 2011-03-01
    • TW094103300
    • 2005-02-03
    • 高通微機電系統科技公司
    • 克拉倫斯 裘伊傑夫瑞B 山普瑟爾威廉J 康明斯唐明華
    • G02F
    • G02F1/21G02B26/001G02F1/1335G02F2001/13356
    • 一種空間光調變器包含一整合光學補償結構,例如一配置於一基板與複數個可個別定址光調變元件之間之光學補償結構,或一位於與該基板相對之該等光調變元件側面上之光學補償結構。該等可個別定址光調變元件係建構以將透射通過或反射自該透明基板之光線調變。一種製造此空間光調變器之方法係關於將一光學補償結構製於一基板上,及將複數個可個別定址光調變元件製於該光學補償結構上。該光學補償結構可為一被動光學補償結構。該光學補償結構可包括一補充性前光源、一散光片、一黑色遮罩、一繞射光學元件、一濾色片、一抗反射層、一將光線散射之結構、一微透鏡陣列、及一全像膜其中一或多者。
    • 一种空间光调制器包含一集成光学补偿结构,例如一配置于一基板与复数个可个别寻址光调制组件之间之光学补偿结构,或一位于与该基板相对之该等光调制组件侧面上之光学补偿结构。该等可个别寻址光调制组件系建构以将透射通过或反射自该透明基板之光线调制。一种制造此空间光调制器之方法系关于将一光学补偿结构制于一基板上,及将复数个可个别寻址光调制组件制于该光学补偿结构上。该光学补偿结构可为一被动光学补偿结构。该光学补偿结构可包括一补充性前光源、一散光片、一黑色遮罩、一绕射光学组件、一滤色片、一抗反射层、一将光线散射之结构、一微透镜数组、及一全像膜其中一或多者。