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1. 发明专利

TW202004340A 基於酚醛清漆樹脂／重氮萘醌（DNQ）之化學增幅型光阻审中-公开
简体标题：基于酚醛清漆树脂／重氮萘醌（DNQ）之化学增幅型光阻
公开(公告)号：TW202004340A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：TW108117985
申请日：2019-05-24
申请人：盧森堡商瑞吉領域併購公司 , RIDGEFIELD ACQUISITION , 德商馬克專利公司 , MERCK PATENT GMBH
发明人：桃奇麥德哈特 A , TOUKHY, MEDHAT A. , 劉衛宏 , LIU, WEIHONG , 工藤隆範 , KUDO, TAKANORI , 陳宏揚 , CHEN, HUNG-YANG , 殷傑恩 , YIN, JIAN
IPC分类号： G03F7/016 , G03F7/032 , H01L21/027
摘要：本發明係關於光阻組合物，其包含聚合物組分、光酸產生劑組分(PAG)、光敏性重氮萘醌組分(PAC)、鹼組分、溶劑組分及視情況選用之雜環硫醇組分。該聚合物組分為酚醛清漆樹脂衍生物，其包含具有游離酚羥基部分的酚醛清漆樹脂重複單元及包含受酸可裂解縮醛部分保護之酚羥基部分的酚醛清漆樹脂重複單元。該縮醛部分係選自：單官能烷基縮醛部分，其保護包含酚醛清漆樹脂酚羥基部分之重複單元；縮醛，其包含經PAC部分官能化之部分，保護包含酚醛清漆樹脂酚羥基部分之重複單元；雙官能縮醛包含部分，其鍵聯及保護包含酚醛清漆樹脂酚羥基部分之兩個重複單元，在該聚合物組分中的兩個不同聚合物鏈之間形成該聚合物組分中的鍵聯點；及此等三種類型之酸可裂解縮醛部分中之任一者的混合物。該PAC組分係選自：該縮醛，其包含經PAC部分官能化之部分，保護包含酚醛清漆樹脂酚羥基部分的重複單元；游離PAC組分，及此等兩種類型的PAC組分之混合物。本發明亦係關於在厚或薄膜光阻器件製造方法中使用本發明組合物之方法。
简体摘要：本发明系关于光阻组合物，其包含聚合物组分、光酸产生剂组分(PAG)、光敏性重氮萘醌组分(PAC)、碱组分、溶剂组分及视情况选用之杂环硫醇组分。该聚合物组分为酚醛清漆树脂衍生物，其包含具有游离酚羟基部分的酚醛清漆树脂重复单元及包含受酸可裂解缩醛部分保护之酚羟基部分的酚醛清漆树脂重复单元。该缩醛部分系选自：单官能烷基缩醛部分，其保护包含酚醛清漆树脂酚羟基部分之重复单元；缩醛，其包含经PAC部分官能化之部分，保护包含酚醛清漆树脂酚羟基部分之重复单元；双官能缩醛包含部分，其键联及保护包含酚醛清漆树脂酚羟基部分之两个重复单元，在该聚合物组分中的两个不同聚合物链之间形成该聚合物组分中的键联点；及此等三种类型之酸可裂解缩醛部分中之任一者的混合物。该PAC组分系选自：该缩醛，其包含经PAC部分官能化之部分，保护包含酚醛清漆树脂酚羟基部分的重复单元；游离PAC组分，及此等两种类型的PAC组分之混合物。本发明亦系关于在厚或薄膜光阻器件制造方法中使用本发明组合物之方法。

2. 发明专利

TWI599589B 形成定向自組裝圖案之方法有权
简体标题：形成定向自组装图案之方法
公开(公告)号：TWI599589B
公开(公告)日：2017-09-21
申请号：TW105142530
申请日：2013-03-08
申请人：馬克專利公司 , MERCK PATENT GMBH
发明人：殷傑恩 , YIN, JIAN , 吳恒鵬 , WU, HENGPENG , 希亞哥拉貞穆西亞 , THIYAGARAJAN, MUTHIAH , 洪聖恩 , HONG, SUNGEUN , 尼瑟馬克 , NEISSER, MARK , 曹毅 , CAO, YI
IPC分类号： C08F6/06 , B82Y10/00 , G03F7/00
CPC分类号： B05D5/00 , B01D15/361 , B01J39/05 , B01J41/07 , B01J45/00 , B05D1/005 , B05D3/00 , C08F6/02 , C08J3/00 , C08L53/00

3. 发明专利

TWI525163B 用於塗覆光阻圖樣之組合物有权
简体标题：用于涂覆光阻图样之组合物
公开(公告)号：TWI525163B
公开(公告)日：2016-03-11
申请号：TW100122500
申请日：2011-06-27
申请人：馬克專利公司 , MERCK PATENT GMBH
发明人：吳恒鵬 , WU, HENGPENG , 李猛 , LI, MENG , 曹毅 , CAO, YI , 殷建 , YIN, JIAN , 李東官 , LEE, DONGKWAN , 洪聖恩 , HONG, SUNGEUN , 邦尼斯可瑪格麗特 , PAUNESCU, MARGARETA
IPC分类号： C09D7/14 , G03F7/075 , G03F7/40
CPC分类号： C09D183/08 , C08G77/26 , C08K5/09 , C08K5/544 , G03F7/405

4. 发明专利

TWI535770B 用於導向自組裝嵌段共聚物之中性層組合物及其方法有权
简体标题：用于导向自组装嵌段共聚物之中性层组合物及其方法
公开(公告)号：TWI535770B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：TW101134835
申请日：2012-09-21
申请人：馬克專利公司 , MERCK PATENT GMBH
发明人：吳恒鵬 , WU, HENGPENG , 曹毅 , CAO, YI , 洪聖恩 , HONG, SUNGEUN , 殷建 , YIN, JIAN , 邦尼斯可瑪格麗特 , PAUNESCU, MARGARETA , 尼瑟馬克 , NEISSER, MARK , 林觀陽 , LIN, GUANYANG
IPC分类号： C08L25/08 , C08L33/12 , C08L45/00 , G03F7/16
CPC分类号： G03F7/20 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C08F212/08 , C08F212/32 , C08F220/14 , C08F293/00 , C08L53/00 , C09D125/14 , C09D125/16 , G03F7/0002 , G03F7/2037

5. 发明专利

TWI509037B 抗反射塗料組合物及其方法有权
简体标题：抗反射涂料组合物及其方法
公开(公告)号：TWI509037B
公开(公告)日：2015-11-21
申请号：TW100114739
申请日：2011-04-27
申请人：馬克專利公司 , MERCK PATENT GMBH
发明人：姚暉蓉 , YAO, HUIRONG , 殷建 , YIN, JIAN , 林觀陽 , LIN, GUANYANG , 尼瑟馬克 , NEISSER, MARK , 雅達拉大衛 , ABDALLAH, DAVID
IPC分类号： C09D5/33 , C09D125/02 , C09D133/14 , C09D179/08 , C09D179/04 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/091 , G02B1/04 , G02B1/111 , G03F7/0046 , C08L33/16 , C08L33/24 , C08L33/066 , C08L61/20 , C08L79/08

6. 发明专利

TWI574982B 用於移除嵌段共聚物中之金屬之方法及材料有权
简体标题：用于移除嵌段共聚物中之金属之方法及材料
公开(公告)号：TWI574982B
公开(公告)日：2017-03-21
申请号：TW102108348
申请日：2013-03-08
申请人：馬克專利公司 , MERCK PATENT GMBH
发明人：殷傑恩 , YIN, JIAN , 吳恒鵬 , WU, HENGPENG , 希亞哥拉貞穆西亞 , THIYAGARAJAN, MUTHIAH , 洪聖恩 , HONG, SUNGEUN , 尼瑟馬克 , NEISSER, MARK , 曹毅 , CAO, YI
IPC分类号： C08F6/06 , B82Y10/00 , G03F7/00
CPC分类号： B05D5/00 , B01D15/361 , B01J39/05 , B01J41/07 , B01J45/00 , B05D1/005 , B05D3/00 , C08F6/02 , C08J3/00 , C08L53/00

7. 发明专利

TW201713703A 形成定向自組裝圖案之方法审中-公开
简体标题：形成定向自组装图案之方法
公开(公告)号：TW201713703A
公开(公告)日：2017-04-16
申请号：TW105142530
申请日：2013-03-08
申请人：馬克專利公司 , MERCK PATENT GMBH
发明人：殷傑恩 , YIN, JIAN , 吳恒鵬 , WU, HENGPENG , 希亞哥拉貞穆西亞 , THIYAGARAJAN, MUTHIAH , 洪聖恩 , HONG, SUNGEUN , 尼瑟馬克 , NEISSER, MARK , 曹毅 , CAO, YI
IPC分类号： C08F6/06 , B82Y10/00 , G03F7/00
CPC分类号： B05D5/00 , B01D15/361 , B01J39/05 , B01J41/07 , B01J45/00 , B05D1/005 , B05D3/00 , C08F6/02 , C08J3/00 , C08L53/00
摘要：本發明係關於一種用於處理嵌段共聚物溶液之方法，其中該方法包括：提供在非水溶劑中含有嵌段共聚物之溶液；及使用離子交換樹脂處理該溶液以移除金屬。本發明亦關於使用經處理之嵌段共聚物形成圖案之方法。
简体摘要：本发明系关于一种用于处理嵌段共聚物溶液之方法，其中该方法包括：提供在非水溶剂中含有嵌段共聚物之溶液；及使用离子交换树脂处理该溶液以移除金属。本发明亦关于使用经处理之嵌段共聚物形成图案之方法。

8. 发明专利

TWI510577B 抗反射塗料組合物有权
简体标题：抗反射涂料组合物
公开(公告)号：TWI510577B
公开(公告)日：2015-12-01
申请号：TW098114511
申请日：2009-04-30
申请人：馬克專利公司 , MERCK PATENT GMBH
发明人：姚暉蓉 , YAO, HUIRONG , 林官延 , LIN, GUANYANG , 殷建 , YIN, JIAN , 吳恒鵬 , WU, HENGPENG , 尼瑟馬克 , NEISSER, MARK , 丹摩勞夫R , DAMMEL, RALPH R.
IPC分类号： C09D5/32 , C09D171/00 , C09D179/04 , C09D167/00 , C08G65/00 , C08G73/06 , C08G63/685 , G03F7/11 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/091 , C08G63/6854 , C08G73/0273 , C08G73/06 , C08G73/0638 , C08G73/0644 , C08G73/0677 , C08L79/04 , C09D167/00 , C09D179/04

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