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    • 1. 发明专利
    • 基於酚醛清漆樹脂/重氮萘醌(DNQ)之化學增幅型光阻
    • 基于酚醛清漆树脂/重氮萘醌(DNQ)之化学增幅型光阻
    • TW202004340A
    • 2020-01-16
    • TW108117985
    • 2019-05-24
    • 盧森堡商瑞吉領域併購公司RIDGEFIELD ACQUISITION德商馬克專利公司MERCK PATENT GMBH
    • 桃奇 麥德哈特 ATOUKHY, MEDHAT A.劉 衛宏LIU, WEIHONG工藤隆範KUDO, TAKANORI陳宏揚CHEN, HUNG-YANG殷 傑恩YIN, JIAN
    • G03F7/016G03F7/032H01L21/027
    • 本發明係關於光阻組合物,其包含聚合物組分、光酸產生劑組分(PAG)、光敏性重氮萘醌組分(PAC)、鹼組分、溶劑組分及視情況選用之雜環硫醇組分。該聚合物組分為酚醛清漆樹脂衍生物,其包含具有游離酚羥基部分的酚醛清漆樹脂重複單元及包含受酸可裂解縮醛部分保護之酚羥基部分的酚醛清漆樹脂重複單元。該縮醛部分係選自:單官能烷基縮醛部分,其保護包含酚醛清漆樹脂酚羥基部分之重複單元;縮醛,其包含經PAC部分官能化之部分,保護包含酚醛清漆樹脂酚羥基部分之重複單元;雙官能縮醛包含部分,其鍵聯及保護包含酚醛清漆樹脂酚羥基部分之兩個重複單元,在該聚合物組分中的兩個不同聚合物鏈之間形成該聚合物組分中的鍵聯點;及此等三種類型之酸可裂解縮醛部分中之任一者的混合物。該PAC組分係選自:該縮醛,其包含經PAC部分官能化之部分,保護包含酚醛清漆樹脂酚羥基部分的重複單元;游離PAC組分,及此等兩種類型的PAC組分之混合物。本發明亦係關於在厚或薄膜光阻器件製造方法中使用本發明組合物之方法。
    • 本发明系关于光阻组合物,其包含聚合物组分、光酸产生剂组分(PAG)、光敏性重氮萘醌组分(PAC)、碱组分、溶剂组分及视情况选用之杂环硫醇组分。该聚合物组分为酚醛清漆树脂衍生物,其包含具有游离酚羟基部分的酚醛清漆树脂重复单元及包含受酸可裂解缩醛部分保护之酚羟基部分的酚醛清漆树脂重复单元。该缩醛部分系选自:单官能烷基缩醛部分,其保护包含酚醛清漆树脂酚羟基部分之重复单元;缩醛,其包含经PAC部分官能化之部分,保护包含酚醛清漆树脂酚羟基部分之重复单元;双官能缩醛包含部分,其键联及保护包含酚醛清漆树脂酚羟基部分之两个重复单元,在该聚合物组分中的两个不同聚合物链之间形成该聚合物组分中的键联点;及此等三种类型之酸可裂解缩醛部分中之任一者的混合物。该PAC组分系选自:该缩醛,其包含经PAC部分官能化之部分,保护包含酚醛清漆树脂酚羟基部分的重复单元;游离PAC组分,及此等两种类型的PAC组分之混合物。本发明亦系关于在厚或薄膜光阻器件制造方法中使用本发明组合物之方法。