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    • 7. 发明专利
    • 形成機電轉換器裝置之方法 METHOD OF FORMING AN ELECTROMECHANICAL TRANSDUCER DEVICE
    • 形成机电转换器设备之方法 METHOD OF FORMING AN ELECTROMECHANICAL TRANSDUCER DEVICE
    • TW201119934A
    • 2011-06-16
    • TW099121298
    • 2010-06-29
    • 飛思卡爾半導體公司法國原子能與替代能源委員會
    • 裴諾丘 法蘭克劉連鈞帕奇歌 瑟吉歐德菲 艾曼紐雷 派翠斯
    • B81CB81B
    • B81C1/00666B81B2203/0118B81C2201/0167B81C2201/0169
    • 本發明揭示一種形成一機電轉換器裝置(200)之方法,其包含在一固定結構(210)上形成(500)該機電轉換器裝置之一可移動結構(203)及一致動結構,其中該可移動結構(203)經配置以在該機電轉換器裝置(200)之操作中可回應於該致動結構之致動而相對於該固定結構移動。該方法進一步包含:在該可移動結構(203)之至少部分上提供(504)一應力微調層(216);在提供該應力微調層(216)之後,自該固定結構(210)釋放(506)該可移動結構(203)以提供一經釋放機電轉換器裝置(200);及在釋放該可移動結構(203)之後,改變(508)該經釋放機電轉換器裝置之該應力微調層中的應力,使得在該機電轉換器裝置(200)處於一關斷狀態中時使該可移動結構(203)相對於該固定結構(210)偏轉一預定量。
    • 本发明揭示一种形成一机电转换器设备(200)之方法,其包含在一固定结构(210)上形成(500)该机电转换器设备之一可移动结构(203)及一致动结构,其中该可移动结构(203)经配置以在该机电转换器设备(200)之操作中可回应于该致动结构之致动而相对于该固定结构移动。该方法进一步包含:在该可移动结构(203)之至少部分上提供(504)一应力微调层(216);在提供该应力微调层(216)之后,自该固定结构(210)释放(506)该可移动结构(203)以提供一经释放机电转换器设备(200);及在释放该可移动结构(203)之后,改变(508)该经释放机电转换器设备之该应力微调层中的应力,使得在该机电转换器设备(200)处于一关断状态中时使该可移动结构(203)相对于该固定结构(210)偏转一预定量。