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    • 1. 发明专利
    • 金屬蒸發發熱體及金屬的蒸發方法
    • 金属蒸发发热体及金属的蒸发方法
    • TW200519221A
    • 2005-06-16
    • TW093135673
    • 2004-11-19
    • 電氣化學工業股份有限公司 DENKI KAGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA
    • 五十嵐厚樹 IKARASHI, KOUKI宮井明 MIYAI, AKIRA渡邊祥二郎 WATANABE, SHOUJIRO須崎純一 SUSAKI, JUNICHI岩元健太郎 IWAMOTO, KENTARO
    • C23CH05B
    • 本發明的目的是提供一種:可改善對融熔金屬的可濕性,而達成長壽命化的金屬蒸發皿及採用該金屬蒸發皿之金屬的蒸發方法。本發明的金屬蒸發發熱體,是在含有二硼化鈦(TiB2)及/或二硼化鋯(ZrB2)、和氮化硼(BN)所形成的陶瓷燒結體的上表面,於未平行於通電方向的方向上具有1或2個以上的溝,且該溝的寬度為0.1~1.5mm,深度為0.03~1mm,長度為1mm以上。在上述的場合中,未平行通電方向的方向,是與通電方向形成20~160度,陶瓷燒結體具有凹窩,前於凹窩的底面形成溝,且最好是利用負數的溝在陶瓷燒結體的上表面及/或凹窩的上表面形成所需的花紋。此外,本發明之金屬的蒸發方法,是採用上述金屬蒸發發熱體,並在另金屬接處於該溝的局部或全部的狀態下,於真空環境中進行加熱。
    • 本发明的目的是提供一种:可改善对融熔金属的可湿性,而达成长寿命化的金属蒸发皿及采用该金属蒸发皿之金属的蒸发方法。本发明的金属蒸发发热体,是在含有二硼化钛(TiB2)及/或二硼化锆(ZrB2)、和氮化硼(BN)所形成的陶瓷烧结体的上表面,于未平行于通电方向的方向上具有1或2个以上的沟,且该沟的宽度为0.1~1.5mm,深度为0.03~1mm,长度为1mm以上。在上述的场合中,未平行通电方向的方向,是与通电方向形成20~160度,陶瓷烧结体具有凹窝,前于凹窝的底面形成沟,且最好是利用负数的沟在陶瓷烧结体的上表面及/或凹窝的上表面形成所需的花纹。此外,本发明之金属的蒸发方法,是采用上述金属蒸发发热体,并在另金属接处于该沟的局部或全部的状态下,于真空环境中进行加热。
    • 2. 发明专利
    • 金屬蒸發發熱體及金屬的蒸發方法
    • 金属蒸发发热体及金属的蒸发方法
    • TWI281509B
    • 2007-05-21
    • TW093135673
    • 2004-11-19
    • 電氣化學工業股份有限公司 DENKI KAGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA
    • 五十嵐厚樹 IKARASHI, KOUKI宮井明 MIYAI, AKIRA渡邊祥二郎 WATANABE, SHOUJIRO須崎純一 SUSAKI, JUNICHI岩元健太郎 IWAMOTO, KENTARO
    • C23CH05B
    • 本發明的目的是提供一種:可改善對融熔金屬的可濕性,而達成長壽命化的金屬蒸發皿及採用該金屬蒸發皿之金屬的蒸發方法。本發明的金屬蒸發發熱體,是在含有二硼化鈦(TiB2)及/或二硼化鋯(ZrB2)、和氮化硼(BN)所形成的陶瓷燒結體的上表面,於未平行於通電方向的方向上具有1或2個以上的溝,且該溝的寬度為0.1~1.5mm,深度為0.03~1mm,長度為1mm以上。在上述的場合中,未平行通電方向的方向,是與通電方向形成20~160度,陶瓷燒結體具有凹窩,並於凹窩的底面形成溝,且最好是利用負數的溝在陶瓷燒結體的上表面及/或凹窩的上表面形成所需的花紋。此外,本發明之金屬的蒸發方法,是採用上述金屬蒸發發熱體,並在另金屬接處於該溝的局部或全部的狀態下,於真空環境中進行加熱。
    • 本发明的目的是提供一种:可改善对融熔金属的可湿性,而达成长寿命化的金属蒸发皿及采用该金属蒸发皿之金属的蒸发方法。本发明的金属蒸发发热体,是在含有二硼化钛(TiB2)及/或二硼化锆(ZrB2)、和氮化硼(BN)所形成的陶瓷烧结体的上表面,于未平行于通电方向的方向上具有1或2个以上的沟,且该沟的宽度为0.1~1.5mm,深度为0.03~1mm,长度为1mm以上。在上述的场合中,未平行通电方向的方向,是与通电方向形成20~160度,陶瓷烧结体具有凹窝,并于凹窝的底面形成沟,且最好是利用负数的沟在陶瓷烧结体的上表面及/或凹窝的上表面形成所需的花纹。此外,本发明之金属的蒸发方法,是采用上述金属蒸发发热体,并在另金属接处于该沟的局部或全部的状态下,于真空环境中进行加热。