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1. 发明专利

TWI476856B 裝卸半導體基材片的設備有权
简体标题：装卸半导体基材片的设备
公开(公告)号：TWI476856B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：TW098123073
申请日：2009-07-08
申请人：阿爾卡特朗訊公司 , ALCATEL LUCENT
发明人：戈達特亞文 , GODOT, ERWAN , 維倫艾瑪努爾 , VERAN, EMMANUELLE
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67778 , H01L21/67201

2. 发明专利

TWI483330B 半導體基板搬運容器之污染測量站及方法有权
简体标题：半导体基板搬运容器之污染测量站及方法
公开(公告)号：TWI483330B
公开(公告)日：2015-05-01
申请号：TW098113318
申请日：2009-04-22
申请人：阿爾卡特朗訊公司 , ALCATEL LUCENT
发明人：菲里亞諾 , FAVRE, ARNAUD , 戈達特亞文 , GODOT, ERWAN , 貝雷伯翠德 , BELLET, BERTRAND
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/66 , G01N15/10
CPC分类号： H01L21/67253 , H01L21/67017 , H01L21/67389

3. 发明专利

TW201017802A 裝卸半導體基材片的設備 APPARATUS FOR LOADING AND UNLOADING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE PLATELETS 审中-公开
简体标题：装卸半导体基材片的设备 APPARATUS FOR LOADING AND UNLOADING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE PLATELETS
公开(公告)号：TW201017802A
公开(公告)日：2010-05-01
申请号：TW098123073
申请日：2009-07-08
申请人：阿爾卡特朗訊公司
发明人：戈達特亞文 , 維倫艾瑪努爾
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/67778 , H01L21/67201
摘要：本發明的目的是要提供一種能夠與包含一防漏壁的晶圓處理設備的至少一部件合作的裝置，該裝置包含一第一開口其包含用來連接至一從一轉送室與一處理室中選出的第一設備的機構，一第二開口其包含連接至一含有一籃子之晶圓運送盒的機構，該籃子包含一連串堆疊式的平行托盤，每一托盤都適合存放一晶圓，該籃子可被輸送於該裝置的內部中，將該籃子來回移動於該運送盒的機構，及將該等托盤固定的機構。該裝置進一步包含一第三開口其包含一機構用來連接至一從一EFEM模組與一轉送室之中選出之該設備的第二部件，及用來放置與支撐一晶圓的機構其可與該晶圓的移動機構一起工作使其能夠通過該第二開口及/或該第三開口。
简体摘要：本发明的目的是要提供一种能够与包含一防漏壁的晶圆处理设备的至少一部件合作的设备，该设备包含一第一开口其包含用来连接至一从一转送室与一处理室中选出的第一设备的机构，一第二开口其包含连接至一含有一篮子之晶圆运送盒的机构，该篮子包含一连串堆栈式的平行托盘，每一托盘都适合存放一晶圆，该篮子可被输送于该设备的内部中，将该篮子来回移动于该运送盒的机构，及将该等托盘固定的机构。该设备进一步包含一第三开口其包含一机构用来连接至一从一EFEM模块与一转送室之中选出之该设备的第二部件，及用来放置与支撑一晶圆的机构其可与该晶圆的移动机构一起工作使其能够通过该第二开口及/或该第三开口。

4. 发明专利

TW201007870A 半導體基板搬運容器之污染的測量站及方法 STATION AND METHOD FOR MEASURING THE CONTAMINATION OF A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE TRANSPORT CONTAINER 审中-公开
简体标题：半导体基板搬运容器之污染的测量站及方法 STATION AND METHOD FOR MEASURING THE CONTAMINATION OF A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE TRANSPORT CONTAINER
公开(公告)号：TW201007870A
公开(公告)日：2010-02-16
申请号：TW098113318
申请日：2009-04-22
申请人：阿爾卡特朗訊公司
发明人：菲里亞諾 , 戈達特亞文 , 貝雷伯翠德
IPC分类号： H01L , G01N
CPC分类号： H01L21/67253 , H01L21/67017 , H01L21/67389
摘要：本發明有關於測量載運及大氣下儲存半導體基板之搬運容器的粒子污染之測量站，此容器包括能夠由可移動通道門而關閉的殼體，此測量站包括：界接面（5），能夠耦合至搬運容器（3）之殼體而非門，界接面（5）包括配置在從界接面突出去之管的一可移動端之至少一個注射噴嘴（9），以將氣體噴出物於垂直方向上導向耦合至測量站之殼體內部（10）上的壁（13）的一部份，以便藉由氣體噴出物對壁（13）的衝擊而使粒子（11）從盒（3）分離出，以及測量裝置（7），包括真空泵（17）、粒子計數器（19）及測量導管（21），測量導管（21）的入口（23）通至殼體（3）的內部（10），測量導管（21）的出口又連接至真空泵（17），測量導管（21）又連接至粒子計數器（19），以將耦合至測量站的搬運容器（3）之殼體的內部（11）與粒子計數器（19）相連接。本發明也關於載運及大氣下儲存半導體基板之搬運容器的粒子污染之測量方法。
简体摘要：本发明有关于测量载运及大气下存储半导体基板之搬运容器的粒子污染之测量站，此容器包括能够由可移动信道门而关闭的壳体，此测量站包括：界接面（5），能够耦合至搬运容器（3）之壳体而非门，界接面（5）包括配置在从界接面突出去之管的一可移动端之至少一个注射喷嘴（9），以将气体喷出物于垂直方向上导向耦合至测量站之壳体内部（10）上的壁（13）的一部份，以便借由气体喷出物对壁（13）的冲击而使粒子（11）从盒（3）分离出，以及测量设备（7），包括真空泵（17）、粒子计数器（19）及测量导管（21），测量导管（21）的入口（23）通至壳体（3）的内部（10），测量导管（21）的出口又连接至真空泵（17），测量导管（21）又连接至粒子计数器（19），以将耦合至测量站的搬运容器（3）之壳体的内部（11）与粒子计数器（19）相连接。本发明也关于载运及大气下存储半导体基板之搬运容器的粒子污染之测量方法。

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