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热词
    • 1. 发明专利
    • 製造微結構的方法 METHOD FOR MAKING MICROSTRUCTURES
    • 制造微结构的方法 METHOD FOR MAKING MICROSTRUCTURES
    • TW201220355A
    • 2012-05-16
    • TW099138132
    • 2010-11-05
    • 遠東新世紀股份有限公司
    • 邱大任洪維澤林士越陳秋芳陳姿穎
    • H01L
    • G03F7/027G03F7/203G03F7/26
    • 本發明主要提供一種製造微結構的方法。該方法包含:在一基材上形成一光固化材料層;提供一圖案化遮蔽層;使一第一光源通過該圖案化遮蔽層,用以圖案化地局部曝光該光固化材料層,使得該光固化材料層之曝光區產生固化反應,藉此使得該光固化材料層之未曝光區中的可光固化組成物朝該曝光區流動,進而使得該光固化材料層形成一具有一凸狀固化區與一凹狀未固化區的圖案化微結構;以及進一步固化該微結構,使該光固化材料層中之凹狀未固化區中的可光固化組成物固化,以使該凹狀未固化區形成凹狀固化區。
    • 本发明主要提供一种制造微结构的方法。该方法包含:在一基材上形成一光固化材料层;提供一图案化屏蔽层;使一第一光源通过该图案化屏蔽层,用以图案化地局部曝光该光固化材料层,使得该光固化材料层之曝光区产生固化反应,借此使得该光固化材料层之未曝光区中的可光固化组成物朝该曝光区流动,进而使得该光固化材料层形成一具有一凸状固化区与一凹状未固化区的图案化微结构;以及进一步固化该微结构,使该光固化材料层中之凹状未固化区中的可光固化组成物固化,以使该凹状未固化区形成凹状固化区。