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    • 1. 发明专利
    • 異方性導電膜層的形成方法及結構 FABRICATION METHOD OF ANISOTROPIC CONDUCTIVE FILM AND STRUCTURE OF THE SAME
    • 异方性导电膜层的形成方法及结构 FABRICATION METHOD OF ANISOTROPIC CONDUCTIVE FILM AND STRUCTURE OF THE SAME
    • TWI244188B
    • 2005-11-21
    • TW093141107
    • 2004-12-29
    • 財團法人工業技術研究院 INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
    • 鄭世裕 CHENG, SYH YUH林人傑 LIN, REN JEN
    • H01L
    • 本發明係關於一種異方性導電膜層的形成方法和結構。本方法,包括:(A)提供一具有複數個微孔洞之奈米模板;(B)形成至少一金屬導電膜層於奈米模板之表面,且分別成長複數個金屬奈米線於此等微孔洞中;(C)除去此奈米模板;(D)形成至少一磁性披覆層於每一金屬奈米線表面;(E)施加一磁場於金屬奈米線及此金屬導電膜層,且形成一固定層於此金屬導電膜層之表面及此等金屬奈米線之間;以及(F)選擇性地移除此金屬導電膜層,形成一異方性導電膜層。此外,可於完成之異方性導電膜的表面以濺鍍法形成規則且近間距的電極,而形成導電的焊墊電極。
    • 本发明系关于一种异方性导电膜层的形成方法和结构。本方法,包括:(A)提供一具有复数个微孔洞之奈米模板;(B)形成至少一金属导电膜层于奈米模板之表面,且分别成长复数个金属奈米线于此等微孔洞中;(C)除去此奈米模板;(D)形成至少一磁性披覆层于每一金属奈米线表面;(E)施加一磁场于金属奈米线及此金属导电膜层,且形成一固定层于此金属导电膜层之表面及此等金属奈米线之间;以及(F)选择性地移除此金属导电膜层,形成一异方性导电膜层。此外,可于完成之异方性导电膜的表面以溅镀法形成守则且近间距的电极,而形成导电的焊垫电极。