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1. 发明专利

TW201713793A 氣體分佈裝置审中-公开
简体标题：气体分布设备
公开(公告)号：TW201713793A
公开(公告)日：2017-04-16
申请号：TW104133653
申请日：2015-10-14
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：王慶鈞 , WANG, CHING-CHIUN , 蔡陳德 , TSAI, CHEN-DER , 潘益宗 , PAN, YI-TSUNG , 林義鈞 , LIN, YI-JIUN , 黃智勇 , HUANG, CHIH-YUNG , 楊慕震 , YOUNG, MU-JEN , 林龔樑 , LIN, KUNG-LIANG , 陳冠州 , CHEN, KUAN-CHOU
IPC分类号： C23C16/455 , B05B1/20
摘要：一種氣體分佈裝置包括一頂部以及一側壁部。頂部提供一分流結構。分流結構將來自N個上游口的氣流分支到M個下游口，N與M皆為正整數，且M大於N。頂部包括一頂板，且下游口排列於頂板周邊。側壁部連接於頂板並由頂板的周緣凸伸出來。側壁部具有多個連通道以及多個排出口，其中連通道將下游口連通至排出口，且排出口於側壁部內側沿一環型軌跡排列。
简体摘要：一种气体分布设备包括一顶部以及一侧壁部。顶部提供一分流结构。分流结构将来自N个上游口的气流分支到M个下游口，N与M皆为正整数，且M大于N。顶部包括一顶板，且下游口排列于顶板周边。侧壁部连接于顶板并由顶板的周缘凸伸出来。侧壁部具有多个连信道以及多个排出口，其中连信道将下游口连通至排出口，且排出口于侧壁部内侧沿一环型轨迹排列。

2. 发明专利

TW201911560A 元件擴距轉移方法及實施此轉移方法的設備审中-公开
简体标题：组件扩距转移方法及实施此转移方法的设备
公开(公告)号：TW201911560A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107127224
申请日：2018-08-06
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：李侃峰 , LEE, KANG-FENG , 潘益宗 , PAN, YI-TSUNG
IPC分类号： H01L27/15 , H01L25/075 , B81C1/00 , B81B7/04
摘要：一種元件擴距轉移方法及實施此轉移方法的設備，所述方法包括提供具有多個微型元件的第一基板，且微型元件沿第一與第二方向的間距都是預定值，然後藉由第一滾筒接觸第一基板上的微型元件，將其轉移至第一滾筒，其中第一滾筒上的接觸線部之間距為N倍的預定值。然後，轉移第一滾筒上的微型元件至第二基板，再旋轉第二基板九十度。之後，藉由滾動第二滾筒接觸第二基板上的微型元件，將其轉移至第二滾筒，再轉移至第三基板，以使微型元件於第一與第二方向都擴距。上述與微型元件接觸的部分都具有黏度操作範圍不同的黏著層。
简体摘要：一种组件扩距转移方法及实施此转移方法的设备，所述方法包括提供具有多个微型组件的第一基板，且微型组件沿第一与第二方向的间距都是预定值，然后借由第一滚筒接触第一基板上的微型组件，将其转移至第一滚筒，其中第一滚筒上的接触线部之间距为N倍的预定值。然后，转移第一滚筒上的微型组件至第二基板，再旋转第二基板九十度。之后，借由滚动第二滚筒接触第二基板上的微型组件，将其转移至第二滚筒，再转移至第三基板，以使微型组件于第一与第二方向都扩距。上述与微型组件接触的部分都具有黏度操作范围不同的黏着层。

3. 发明专利

TWI683104B 偵測系統及偵測方法有权
简体标题：侦测系统及侦测方法
公开(公告)号：TWI683104B
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：TW107147579
申请日：2018-12-28
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：蔡曜隆 , TSAI, YAO-LONG , 蔡太平 , TSAI, TAI-PING , 王立華 , WANG, LI-HUA , 潘益宗 , PAN, YI-TSUNG
IPC分类号： G01N29/12

4. 发明专利

TWI548773B 氣體分佈裝置有权
简体标题：气体分布设备
公开(公告)号：TWI548773B
公开(公告)日：2016-09-11
申请号：TW104133653
申请日：2015-10-14
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：王慶鈞 , WANG, CHING-CHIUN , 蔡陳德 , TSAI, CHEN-DER , 潘益宗 , PAN, YI-TSUNG , 林義鈞 , LIN, YI-JIUN , 黃智勇 , HUANG, CHIH-YUNG , 楊慕震 , YOUNG, MU-JEN , 林龔樑 , LIN, KUNG-LIANG , 陳冠州 , CHEN, KUAN-CHOU
IPC分类号： C23C16/455 , B05B1/20

5. 发明专利

TW202026636A 偵測系統及偵測方法审中-公开
简体标题：侦测系统及侦测方法
公开(公告)号：TW202026636A
公开(公告)日：2020-07-16
申请号：TW107147579
申请日：2018-12-28
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：蔡曜隆 , TSAI, YAO-LONG , 蔡太平 , TSAI, TAI-PING , 王立華 , WANG, LI-HUA , 潘益宗 , PAN, YI-TSUNG
IPC分类号： G01N29/12
摘要：一種偵測方法，係於管路之其中一埠口上配置音源裝置，而於另一埠口上配置訊號接收器，再將該音源裝置之特定頻率之聲音導入該管路中，以產生共振聲波，並藉由電腦模擬該訊號接收器於接收該共振聲波後所產生之訊號，以作為參考資訊，且該參考資訊係包含該共振聲波之特性之第一資料及該目標物件形成假想缺陷之特徵之資料，故當該管路具有真實缺陷時，將該音源裝置之特定頻率之聲音導入該管路中，以令該訊號接收器接收該共振聲波而獲取第二資料，再將該第一與第二資料進行比對，即可得知該真實缺陷特徵。
简体摘要：一种侦测方法，系于管路之其中一端口口上配置音源设备，而于另一端口口上配置信号接收器，再将该音源设备之特定频率之声音导入该管路中，以产生共振声波，并借由电脑仿真该信号接收器于接收该共振声波后所产生之信号，以作为参考信息，且该参考信息系包含该共振声波之特性之第一数据及该目标对象形成假想缺陷之特征之数据，故当该管路具有真实缺陷时，将该音源设备之特定频率之声音导入该管路中，以令该信号接收器接收该共振声波而获取第二数据，再将该第一与第二数据进行比对，即可得知该真实缺陷特征。

6. 发明专利

TWI694605B 元件擴距轉移方法及實施此轉移方法的設備有权
简体标题：组件扩距转移方法及实施此转移方法的设备
公开(公告)号：TWI694605B
公开(公告)日：2020-05-21
申请号：TW107127224
申请日：2018-08-06
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：李侃峰 , LEE, KANG-FENG , 潘益宗 , PAN, YI-TSUNG
IPC分类号： H01L27/15 , H01L25/075 , B81C1/00 , B81B7/04

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