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    • 1. 发明专利
    • 半導體裝置之矽穿孔修補電路
    • 半导体设备之硅穿孔修补电路
    • TW201421625A
    • 2014-06-01
    • TW101144576
    • 2012-11-28
    • 財團法人工業技術研究院INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
    • 曾珮玲TSENG, PEI LING蘇耿立SU, KENG LI
    • H01L23/48H01L21/768
    • H03K19/003H01L2924/0002H01L2924/00
    • 一種半導體裝置之矽穿孔修補電路。矽穿孔修補電路包括第一晶片以及至少一第二晶片、至少兩個直通矽晶穿孔、至少兩個資料路徑電路以及輸出邏輯電路。每個資料路徑電路包括輸入驅動電路、短路偵測電路、偏壓電路以及漏電流消除電路。輸入驅動電路接收輸入信號,轉換該輸入信號為待傳信號,並將其傳送至對應之直通矽晶穿孔的第一端。短路偵測電路依據輸入信號與對應之直通矽晶穿孔的第一端以偵測對應之直通矽晶穿孔是否與矽基板發生短路,並產生短路偵測輸出信號。漏電流消除電路依據短路偵測輸出信號以避免由第一準位電壓所產生的漏電流流入矽基板。
    • 一种半导体设备之硅穿孔修补电路。硅穿孔修补电路包括第一芯片以及至少一第二芯片、至少两个直通硅晶穿孔、至少两个数据路径电路以及输出逻辑电路。每个数据路径电路包括输入驱动电路、短路侦测电路、偏压电路以及漏电流消除电路。输入驱动电路接收输入信号,转换该输入信号为待传信号,并将其发送至对应之直通硅晶穿孔的第一端。短路侦测电路依据输入信号与对应之直通硅晶穿孔的第一端以侦测对应之直通硅晶穿孔是否与硅基板发生短路,并产生短路侦测输出信号。漏电流消除电路依据短路侦测输出信号以避免由第一准位电压所产生的漏电流流入硅基板。