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    • 2. 发明专利
    • 氣體洩漏判別方法及系統
    • 气体泄漏判别方法及系统
    • TW201326812A
    • 2013-07-01
    • TW100149468
    • 2011-12-29
    • 財團法人工業技術研究院INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
    • 呂建豪LEU, GEN HOU顏紹儀YEN, SHAW YI游生任YU, SHENG JEN
    • G01N33/00G06Q90/00
    • 一種氣體洩漏判別方法,係對氣體訊號微分;對微分後的氣體訊號進行平滑化處理,產生平滑化訊號;取得微分後的氣體訊號的標準差,產生標準差訊號;比較標準差訊號及平滑化訊號,產生事件方波訊號;事件方波訊號之每一方波期間係對應於平滑化訊號向上穿越標準差訊號直至平滑化訊號向下穿越標準差訊號的經過時間;依據事件方波訊號將氣體訊號區分成一連串之事件,事件的發生期間係對應於方波期間;依據事件間濃度與時間的關連性進行分類,將事件歸類為事件群組;將事件群組中事件數量相加獲得洩漏係數,當該洩漏係數大於臨界值時,發出警示。
    • 一种气体泄漏判别方法,系对气体信号微分;对微分后的气体信号进行平滑化处理,产生平滑化信号;取得微分后的气体信号的标准差,产生标准差信号;比较标准差信号及平滑化信号,产生事件方波信号;事件方波信号之每一方波期间系对应于平滑化信号向上穿越标准差信号直至平滑化信号向下穿越标准差信号的经过时间;依据事件方波信号将气体信号区分成一连串之事件,事件的发生期间系对应于方波期间;依据事件间浓度与时间的关连性进行分类,将事件归类为事件群组;将事件群组中事件数量相加获得泄漏系数,当该泄漏系数大于临界值时,发出警示。
    • 3. 发明专利
    • 用於處理全氟化合物之介電層放電裝置及模組
    • 用于处理全氟化合物之介电层放电设备及模块
    • TW497986B
    • 2002-08-11
    • TW090131747
    • 2001-12-20
    • 財團法人工業技術研究院
    • 邱信夫呂建豪游生任
    • B01D
    • B01D53/32Y02C20/30
    • 一種介電層放電裝置及其模組,其中介電層放電裝置包括一外罩、一第一管狀介電層設置於外罩內、一第二管狀介電層設置於第一管狀介電層內、以及至少一電極設置於外罩內。在外罩及第一管狀介電層之間形成一第一冷卻氣體通道,在第一、二管狀介電層之間形成一全氟化合物通道,而在第二管狀介電層內為一第二冷卻氣體通道。當施加於電極之電壓高於一崩潰電壓時,全氟化合物通道內之高能電子,能使全氟化合物游離或解離,進而加以去除。第一、二冷卻氣體通道用於引入冷卻氣體以冷卻該電極。介電層放電裝置模組則是由複數個上述介電層放電裝置所組成,其可根據全氟化合物流量而任意擴大處理容量。
    • 一种介电层放电设备及其模块,其中介电层放电设备包括一外罩、一第一管状介电层设置于外罩内、一第二管状介电层设置于第一管状介电层内、以及至少一电极设置于外罩内。在外罩及第一管状介电层之间形成一第一冷却气体信道,在第一、二管状介电层之间形成一全氟化合物信道,而在第二管状介电层内为一第二冷却气体信道。当施加于电极之电压高于一崩溃电压时,全氟化合物信道内之高能电子,能使全氟化合物游离或解离,进而加以去除。第一、二冷却气体信道用于引入冷却气体以冷却该电极。介电层放电设备模块则是由复数个上述介电层放电设备所组成,其可根据全氟化合物流量而任意扩大处理容量。
    • 6. 发明专利
    • 自氟化氣體回收氫氟酸的方法
    • 自氟化气体回收氢氟酸的方法
    • TW555589B
    • 2003-10-01
    • TW089111250
    • 2000-06-09
    • 財團法人工業技術研究院
    • 周崇光呂建豪邱信夫吳學翰
    • B01DC01B
    • Y02C20/30
    • 本發明係提供一種自氟化氣體回收氫氟酸的方法,主要是將氟化氣體轉化成氟化氫後,再將氟化氫轉化成水溶液狀態,以強鹼性離子樹脂交換該氟化氫溶液中之氟離子,接著以鹼性溶液置換該氟離子而形成氫氟酸進行回收。該方法中參與反應的化學物種十分單純,所收集之氫氟酸的純度高,具有相當高的回收價值,可有效利用工業製程所廢棄的氟化氣體,並可避免造成排放氟化氣體所造成的環境污染。
    • 本发明系提供一种自氟化气体回收氢氟酸的方法,主要是将氟化气体转化成氟化氢后,再将氟化氢转化成水溶液状态,以强碱性离子树脂交换该氟化氢溶液中之氟离子,接着以碱性溶液置换该氟离子而形成氢氟酸进行回收。该方法中参与反应的化学物种十分单纯,所收集之氢氟酸的纯度高,具有相当高的回收价值,可有效利用工业制程所废弃的氟化气体,并可避免造成排放氟化气体所造成的环境污染。