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    • 4. 发明专利
    • OE/RF元件複合凸塊晶圓級構裝之製造方法及其結構
    • OE/RF组件复合凸块晶圆级构装之制造方法及其结构
    • TW508649B
    • 2002-11-01
    • TW090131469
    • 2001-12-19
    • 財團法人工業技術研究院
    • 盧明駱韋仲陳玄芳
    • H01L
    • 本發明係一種OE/RF元件複合凸塊晶圓級構裝之製造方法及其結構,本發明運用在光電等高頻元件之晶圓級構裝之製程上,首先複合凸塊(compliant bump)以及無電鍍金屬製程技術加以結合運用在光電等高頻元件之晶圓級構裝製程上,亦即,先在完成前段製程之光電元件晶圓的焊墊上形成一凸塊,接著,再運用無電鍍技術將凸塊的表層沉積一層金屬層,並且,同時在光電元件晶圓的背面形成一層金屬層,如此,即可達到製程上的簡化,並且,整個結構具有複合凸塊的緩衝功效。
    • 本发明系一种OE/RF组件复合凸块晶圆级构装之制造方法及其结构,本发明运用在光电等高频组件之晶圆级构装之制程上,首先复合凸块(compliant bump)以及无电镀金属制程技术加以结合运用在光电等高频组件之晶圆级构装制程上,亦即,先在完成前段制程之光电组件晶圆的焊垫上形成一凸块,接着,再运用无电镀技术将凸块的表层沉积一层金属层,并且,同时在光电组件晶圆的背面形成一层金属层,如此,即可达到制程上的简化,并且,整个结构具有复合凸块的缓冲功效。