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1. 发明专利

TW202031037A 場可程式偵測器陣列审中-公开
简体标题：场可进程侦测器数组
公开(公告)号：TW202031037A
公开(公告)日：2020-08-16
申请号：TW109112060
申请日：2018-09-14
申请人：荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：王勇新 , WANG, YONGXIN , 賴瑞霖 , LAI, RUI-LING , 董仲華 , DONG, ZHONGHUA
IPC分类号： H04N5/369
摘要：本發明揭示用於實施一偵測器陣列之系統及方法。根據某些實施例，一基板包含複數個感測元件，該複數個感測元件包括一第一元件及一第二元件以及在其間的經組態以連接該第一元件與該第二元件之一切換區。該切換區可基於回應於該等感測元件接收到具有一預定量的能量之電子而產生之信號受控制。
简体摘要：本发明揭示用于实施一侦测器数组之系统及方法。根据某些实施例，一基板包含复数个传感组件，该复数个传感组件包括一第一组件及一第二组件以及在其间的经组态以连接该第一组件与该第二组件之一切换区。该切换区可基于回应于该等传感组件接收到具有一预定量的能量之电子而产生之信号受控制。

2. 发明专利

TW201841190A 帶電粒子偵測之方法與裝置审中-公开
简体标题：带电粒子侦测之方法与设备
公开(公告)号：TW201841190A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：TW107104233
申请日：2018-02-07
申请人：漢民微測科技股份有限公司 , HERMES MICROVISION, INC. , 荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：王勇新 , WANG, YONGXIN , 任偉明 , REN, WEIMING , 董仲華 , DONG, ZHONGHUA , 陳仲瑋 , CHEN, ZHONGWEI
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01L21/66
摘要：本發明提供用於帶電粒子偵測之系統及方法。該偵測系統可包含一信號處理電路，該信號處理電路經組態以基於自複數個電子感測元件接收之電子強度資料而產生一組強度梯度。該偵測系統可進一步包含一射束點處理模組，該射束點處理模組經組態以：基於該組強度梯度而判定一射束點之至少一個邊界；及基於該至少一個邊界而判定該複數個電子感測元件中之一第一組電子感測元件在該射束點內。該射束點處理模組可經進一步組態以：基於自該第一組電子感測元件接收之該電子強度資料而判定該射束點之一強度值；及亦基於該強度值而產生一晶圓之一影像。
简体摘要：本发明提供用于带电粒子侦测之系统及方法。该侦测系统可包含一信号处理电路，该信号处理电路经组态以基于自复数个电子传感组件接收之电子强度数据而产生一组强度梯度。该侦测系统可进一步包含一射束点处理模块，该射束点处理模块经组态以：基于该组强度梯度而判定一射束点之至少一个边界；及基于该至少一个边界而判定该复数个电子传感组件中之一第一组电子传感组件在该射束点内。该射束点处理模块可经进一步组态以：基于自该第一组电子传感组件接收之该电子强度数据而判定该射束点之一强度值；及亦基于该强度值而产生一晶圆之一影像。

3. 发明专利

TW202030763A 用於偵測快速充電裝置中時間相依缺陷的設備及方法审中-公开
简体标题：用于侦测快速充电设备中时间相依缺陷的设备及方法
公开(公告)号：TW202030763A
公开(公告)日：2020-08-16
申请号：TW108132959
申请日：2019-09-12
申请人：荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：禡龍 , MA, LONG , 任志榆 , JEN, CHIH-YU , 董仲華 , DONG, ZHONGHUA , 張培磊 , ZHANG, PEILEI , 方偉 , FANG, WEI , 李川 , LI, CHUAN
IPC分类号： H01J37/28 , G01N23/225
摘要：本發明揭示一種改良式帶電粒子束檢測設備，且更特定言之，揭示一種用於檢測一晶圓之粒子束設備，其包括用於偵測快速充電缺陷之一改良式掃描機制。一改良式帶電粒子束檢測設備可包括一帶電粒子束源，該帶電粒子束源將帶電粒子遞送至該晶圓之一區域並掃描該區域。該改良式帶電粒子束設備可進一步包括一控制器，該控制器包括用以在一時間序列內產生該區域之多個影像的一電路系統，該多個影像經比較以偵測快速充電缺陷。
简体摘要：本发明揭示一种改良式带电粒子束检测设备，且更特定言之，揭示一种用于检测一晶圆之粒子束设备，其包括用于侦测快速充电缺陷之一改良式扫描机制。一改良式带电粒子束检测设备可包括一带电粒子束源，该带电粒子束源将带电粒子递送至该晶圆之一区域并扫描该区域。该改良式带电粒子束设备可进一步包括一控制器，该控制器包括用以在一时间串行内产生该区域之多个影像的一电路系统，该多个影像经比较以侦测快速充电缺陷。

4. 发明专利

TW201921410A 用於檢測具有多個帶電粒子束之樣品的方法审中-公开
简体标题：用于检测具有多个带电粒子束之样品的方法
公开(公告)号：TW201921410A
公开(公告)日：2019-06-01
申请号：TW107130927
申请日：2018-09-04
申请人：荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：曾國峰 , TSENG, KUO FENG , 董仲華 , DONG, ZHONGHUA , 王義向 , WANG, YIXIANG , 陳仲瑋 , CHEN, ZHONGWEI
IPC分类号： H01J37/28
摘要：本文中揭示一種裝置，其包含：經組態以發射帶電粒子之一源、一光學系統及一載物台；其中該載物台經組態以支撐其上之一樣品且經組態以使該樣品在該第一方向移動達一第一距離；其中該光學系統經組態以運用該等帶電粒子在該樣品上形成探測光點；其中該光學系統經組態以當該載物台使該樣品在該第一方向移動達該第一距離時，同時使該等探測光點在該第一方向移動達該第一距離且在一第二方向移動達一第二距離；其中該光學系統經組態以在該載物台使該樣品在該第一方向移動達該第一距離之後，使該等探測光點在與該第一方向相反之一方向移動達該第一距離減去該等探測光點中之一者之一寬度。
简体摘要：本文中揭示一种设备，其包含：经组态以发射带电粒子之一源、一光学系统及一载物台；其中该载物台经组态以支撑其上之一样品且经组态以使该样品在该第一方向移动达一第一距离；其中该光学系统经组态以运用该等带电粒子在该样品上形成探测光点；其中该光学系统经组态以当该载物台使该样品在该第一方向移动达该第一距离时，同时使该等探测光点在该第一方向移动达该第一距离且在一第二方向移动达一第二距离；其中该光学系统经组态以在该载物台使该样品在该第一方向移动达该第一距离之后，使该等探测光点在与该第一方向相反之一方向移动达该第一距离减去该等探测光点中之一者之一宽度。

5. 发明专利

TW202030765A 檢測一樣品之裝置及方法及其相關電腦程式產品审中-公开
简体标题：检测一样品之设备及方法及其相关电脑进程产品
公开(公告)号：TW202030765A
公开(公告)日：2020-08-16
申请号：TW109100072
申请日：2018-09-04
申请人：荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：曾國峰 , TSENG, KUO-FENG , 董仲華 , DONG, ZHONGHUA , 王義向 , WANG, YIXIANG , 陳仲瑋 , CHEN, ZHONGWEI
IPC分类号： H01J37/28
摘要：本文中揭示一種裝置，其包含：經組態以發射帶電粒子之一源、一光學系統及一載物台；其中該載物台經組態以支撐其上之一樣品且經組態以使該樣品在該第一方向移動達一第一距離；其中該光學系統經組態以運用該等帶電粒子在該樣品上形成探測光點；其中該光學系統經組態以當該載物台使該樣品在該第一方向移動達該第一距離時，同時使該等探測光點在該第一方向移動達該第一距離且在一第二方向移動達一第二距離；其中該光學系統經組態以在該載物台使該樣品在該第一方向移動達該第一距離之後，使該等探測光點在與該第一方向相反之一方向移動達該第一距離減去該等探測光點中之一者之一寬度。
简体摘要：本文中揭示一种设备，其包含：经组态以发射带电粒子之一源、一光学系统及一载物台；其中该载物台经组态以支撑其上之一样品且经组态以使该样品在该第一方向移动达一第一距离；其中该光学系统经组态以运用该等带电粒子在该样品上形成探测光点；其中该光学系统经组态以当该载物台使该样品在该第一方向移动达该第一距离时，同时使该等探测光点在该第一方向移动达该第一距离且在一第二方向移动达一第二距离；其中该光学系统经组态以在该载物台使该样品在该第一方向移动达该第一距离之后，使该等探测光点在与该第一方向相反之一方向移动达该第一距离减去该等探测光点中之一者之一宽度。

6. 发明专利

TWI684199B 檢測一樣品之裝置及方法及其相關電腦程式產品有权
简体标题：检测一样品之设备及方法及其相关电脑进程产品
公开(公告)号：TWI684199B
公开(公告)日：2020-02-01
申请号：TW107130927
申请日：2018-09-04
申请人：荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：曾國峰 , TSENG, KUO FENG , 董仲華 , DONG, ZHONGHUA , 王義向 , WANG, YIXIANG , 陳仲瑋 , CHEN, ZHONGWEI
IPC分类号： H01J37/28

7. 发明专利

TWI692251B 場可程式偵測器陣列有权
简体标题：场可进程侦测器数组
公开(公告)号：TWI692251B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：TW107132382
申请日：2018-09-14
申请人：荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：王勇新 , WANG, YONGXIN , 賴瑞霖 , LAI, RUI-LING , 董仲華 , DONG, ZHONGHUA
IPC分类号： H04N5/369

8. 发明专利

TWI668724B 帶電粒子偵測之方法與裝置有权
简体标题：带电粒子侦测之方法与设备
公开(公告)号：TWI668724B
公开(公告)日：2019-08-11
申请号：TW107104233
申请日：2018-02-07
申请人：荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：王勇新 , WANG, YONGXIN , 任偉明 , REN, WEIMING , 董仲華 , DONG, ZHONGHUA , 陳仲瑋 , CHEN, ZHONGWEI
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01L21/66

9. 发明专利

TW201921914A 場可程式偵測器陣列审中-公开
简体标题：场可进程侦测器数组
公开(公告)号：TW201921914A
公开(公告)日：2019-06-01
申请号：TW107132382
申请日：2018-09-14
申请人：荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：王勇新 , WANG, YONGXIN , 賴瑞霖 , LAI, RUI-LING , 董仲華 , DONG, ZHONGHUA
IPC分类号： H04N5/369
摘要：本發明揭示用於實施一偵測器陣列之系統及方法。根據某些實施例，一基板包含複數個感測元件，該複數個感測元件包括一第一元件及一第二元件以及在其間的經組態以連接該第一元件與該第二元件之一切換區。該切換區可基於回應於該等感測元件接收到具有一預定量的能量之電子而產生之信號受控制。
简体摘要：本发明揭示用于实施一侦测器数组之系统及方法。根据某些实施例，一基板包含复数个传感组件，该复数个传感组件包括一第一组件及一第二组件以及在其间的经组态以连接该第一组件与该第二组件之一切换区。该切换区可基于回应于该等传感组件接收到具有一预定量的能量之电子而产生之信号受控制。

10. 发明专利

TW201920934A 用於光束影像系統的切換矩陣設計审中-公开
简体标题：用于光束影像系统的切换矩阵设计
公开(公告)号：TW201920934A
公开(公告)日：2019-06-01
申请号：TW107132570
申请日：2018-09-17
申请人：荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：王勇新 , WANG, YONGXIN , 董仲華 , DONG, ZHONGHUA , 賴瑞霖 , LAI, RUI-LING
IPC分类号： G01N21/31 , G01N21/01
摘要：本發明揭示用於實施一偵測器陣列之系統及方法。根據某些實施例，一基板包含複數個感測元件，該複數個感測元件包括一第一元件及一第二元件。該偵測器包含經組態以連接該第一元件與該第二元件之一切換元件。該切換區可基於回應於該等感測元件接收到具有一預定量的能量之電子而產生之信號受控制。
简体摘要：本发明揭示用于实施一侦测器数组之系统及方法。根据某些实施例，一基板包含复数个传感组件，该复数个传感组件包括一第一组件及一第二组件。该侦测器包含经组态以连接该第一组件与该第二组件之一切换组件。该切换区可基于回应于该等传感组件接收到具有一预定量的能量之电子而产生之信号受控制。

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