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1. 发明专利

TW201921409A 具補償透鏡之光學系統审中-公开
简体标题：具补偿透镜之光学系统
公开(公告)号：TW201921409A
公开(公告)日：2019-06-01
申请号：TW107134289
申请日：2018-09-28
申请人：荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：張劍 , ZHANG, JIAN , 康志文 , KANG, ZHIWEN , 王義向 , WANG, YIXIANG
IPC分类号： H01J37/26 , G02B3/10
摘要：本發明揭示一種用於一帶電粒子束檢測系統中之光學系統。該光學系統包括一或多個光學透鏡及一補償透鏡，該補償透鏡經組態以補償該一或多個光學透鏡之一組合的一焦距自一第一介質至一第二介質的一漂移。
简体摘要：本发明揭示一种用于一带电粒子束检测系统中之光学系统。该光学系统包括一或多个光学透镜及一补偿透镜，该补偿透镜经组态以补偿该一或多个光学透镜之一组合的一焦距自一第一介质至一第二介质的一漂移。

2. 发明专利

TWI684001B 用於晶圓檢測的先進帶電控制器的方法和裝置有权
简体标题：用于晶圆检测的雪铁龙带电控制器的方法和设备
公开(公告)号：TWI684001B
公开(公告)日：2020-02-01
申请号：TW107134541
申请日：2018-09-28
申请人：荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：張劍 , ZHANG, JIAN , 陳慶久 , CHEN, QING JIU , 王義向 , WANG, YIXIANG
IPC分类号： G01N23/00 , H01J37/22

3. 发明专利

TW201921410A 用於檢測具有多個帶電粒子束之樣品的方法审中-公开
简体标题：用于检测具有多个带电粒子束之样品的方法
公开(公告)号：TW201921410A
公开(公告)日：2019-06-01
申请号：TW107130927
申请日：2018-09-04
申请人：荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：曾國峰 , TSENG, KUO FENG , 董仲華 , DONG, ZHONGHUA , 王義向 , WANG, YIXIANG , 陳仲瑋 , CHEN, ZHONGWEI
IPC分类号： H01J37/28
摘要：本文中揭示一種裝置，其包含：經組態以發射帶電粒子之一源、一光學系統及一載物台；其中該載物台經組態以支撐其上之一樣品且經組態以使該樣品在該第一方向移動達一第一距離；其中該光學系統經組態以運用該等帶電粒子在該樣品上形成探測光點；其中該光學系統經組態以當該載物台使該樣品在該第一方向移動達該第一距離時，同時使該等探測光點在該第一方向移動達該第一距離且在一第二方向移動達一第二距離；其中該光學系統經組態以在該載物台使該樣品在該第一方向移動達該第一距離之後，使該等探測光點在與該第一方向相反之一方向移動達該第一距離減去該等探測光點中之一者之一寬度。
简体摘要：本文中揭示一种设备，其包含：经组态以发射带电粒子之一源、一光学系统及一载物台；其中该载物台经组态以支撑其上之一样品且经组态以使该样品在该第一方向移动达一第一距离；其中该光学系统经组态以运用该等带电粒子在该样品上形成探测光点；其中该光学系统经组态以当该载物台使该样品在该第一方向移动达该第一距离时，同时使该等探测光点在该第一方向移动达该第一距离且在一第二方向移动达一第二距离；其中该光学系统经组态以在该载物台使该样品在该第一方向移动达该第一距离之后，使该等探测光点在与该第一方向相反之一方向移动达该第一距离减去该等探测光点中之一者之一宽度。

4. 发明专利

TW202030765A 檢測一樣品之裝置及方法及其相關電腦程式產品审中-公开
简体标题：检测一样品之设备及方法及其相关电脑进程产品
公开(公告)号：TW202030765A
公开(公告)日：2020-08-16
申请号：TW109100072
申请日：2018-09-04
申请人：荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：曾國峰 , TSENG, KUO-FENG , 董仲華 , DONG, ZHONGHUA , 王義向 , WANG, YIXIANG , 陳仲瑋 , CHEN, ZHONGWEI
IPC分类号： H01J37/28
摘要：本文中揭示一種裝置，其包含：經組態以發射帶電粒子之一源、一光學系統及一載物台；其中該載物台經組態以支撐其上之一樣品且經組態以使該樣品在該第一方向移動達一第一距離；其中該光學系統經組態以運用該等帶電粒子在該樣品上形成探測光點；其中該光學系統經組態以當該載物台使該樣品在該第一方向移動達該第一距離時，同時使該等探測光點在該第一方向移動達該第一距離且在一第二方向移動達一第二距離；其中該光學系統經組態以在該載物台使該樣品在該第一方向移動達該第一距離之後，使該等探測光點在與該第一方向相反之一方向移動達該第一距離減去該等探測光點中之一者之一寬度。
简体摘要：本文中揭示一种设备，其包含：经组态以发射带电粒子之一源、一光学系统及一载物台；其中该载物台经组态以支撑其上之一样品且经组态以使该样品在该第一方向移动达一第一距离；其中该光学系统经组态以运用该等带电粒子在该样品上形成探测光点；其中该光学系统经组态以当该载物台使该样品在该第一方向移动达该第一距离时，同时使该等探测光点在该第一方向移动达该第一距离且在一第二方向移动达一第二距离；其中该光学系统经组态以在该载物台使该样品在该第一方向移动达该第一距离之后，使该等探测光点在与该第一方向相反之一方向移动达该第一距离减去该等探测光点中之一者之一宽度。

5. 发明专利

TWI687680B 用於帶電粒子泛流以增強電壓對比缺陷信號的系統及方法有权
简体标题：用于带电粒子泛流以增强电压对比缺陷信号的系统及方法
公开(公告)号：TWI687680B
公开(公告)日：2020-03-11
申请号：TW107126318
申请日：2018-07-30
申请人：荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：張楠 , ZHANG, FRANK NAN , 陳仲瑋 , CHEN, ZHONGWEI , 王義向 , WANG, YIXIANG , 沈瑩 , SHEN, YING CRYSTAL
IPC分类号： G01N23/04 , G01R31/26

6. 发明专利

TWI684199B 檢測一樣品之裝置及方法及其相關電腦程式產品有权
简体标题：检测一样品之设备及方法及其相关电脑进程产品
公开(公告)号：TWI684199B
公开(公告)日：2020-02-01
申请号：TW107130927
申请日：2018-09-04
申请人：荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：曾國峰 , TSENG, KUO FENG , 董仲華 , DONG, ZHONGHUA , 王義向 , WANG, YIXIANG , 陳仲瑋 , CHEN, ZHONGWEI
IPC分类号： H01J37/28

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