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    • 1. 发明专利
    • 半導體封裝的檢測系統
    • 半导体封装的检测系统
    • TW200905772A
    • 2009-02-01
    • TW097119135
    • 2008-05-23
    • 英泰克普拉斯有限公司 INTEKPLUS CO., LTD.
    • 林雙根 LIM, SSANG-GUN李相允 LEE, SANG-YUN崔浩根 CHOI, HO-KEUN高升奎 KO, SEUNG-GYU
    • H01L
    • B07C5/3422G01N21/95
    • 一種可於單一檢測系統旋轉一次之期間內,分別對半導體封裝之不同領域進行檢測,而提昇裝備活用能力及檢測良率之半導體封裝檢測系統,其包含:本體;裝載部,設於前述本體前方,以將容置有應檢測之半導體封裝之承載盤送至第一移送軌;第一視訊檢測部,設於前述第一移送軌,用以進行半導體封裝之第一面之視訊檢測;第二移送軌,設於前述第一移送軌之一側;第二視訊檢測部,設於前述第二移送軌上,可使用彩色相機對半導體封裝之第二面進行2D檢測;承載盤移送機構,可使業經前述第二視訊檢測部之視訊檢測之承載盤移動至前述第二移送軌之一側之第三移送軌;第三視訊檢測部,設於前述第三移送軌上,可使用線性掃瞄相機對半導體封裝進行2D檢測;卸載部,設於前述第三視訊檢測部之一側,可供容置有良好之半導體元件之承載盤載疊;卸載軌,設於前述卸載部之後方;暫存軌,設於前述卸載軌之一側;第四視訊檢測部,分別設於前述卸載軌與前述暫存軌,可使用線性掃瞄相機對半導體封裝之第一面進行2D檢測;倒轉機構,可使前述第一移送軌上之承載盤朝第二移送軌上倒轉而移送之,並可使前述第三移送軌上之承載盤倒轉而朝前述卸載軌或暫存軌加以移送;複數廢品部,設於前述卸載部之一側,可依瑕疵之半導體元件
      之瑕疵種別加以分類容置;及,分類器,可移動於前述複數之廢品部與卸載部之間,同時分類已完成視訊檢測之半導體封裝。
    • 一种可於单一检测系统旋转一次之期间内,分别对半导体封装之不同领域进行检测,而提升装备活用能力及检测良率之半导体封装检测系统,其包含:本体;装载部,设于前述本体前方,以将容置有应检测之半导体封装之承载盘送至第一移送轨;第一视频检测部,设于前述第一移送轨,用以进行半导体封装之第一面之视频检测;第二移送轨,设于前述第一移送轨之一侧;第二视频检测部,设于前述第二移送轨上,可使用彩色相机对半导体封装之第二面进行2D检测;承载盘移送机构,可使业经前述第二视频检测部之视频检测之承载盘移动至前述第二移送轨之一侧之第三移送轨;第三视频检测部,设于前述第三移送轨上,可使用线性扫瞄相机对半导体封装进行2D检测;卸载部,设于前述第三视频检测部之一侧,可供容置有良好之半导体组件之承载盘载叠;卸载轨,设于前述卸载部之后方;暂存轨,设于前述卸载轨之一侧;第四视频检测部,分别设于前述卸载轨与前述暂存轨,可使用线性扫瞄相机对半导体封装之第一面进行2D检测;倒转机构,可使前述第一移送轨上之承载盘朝第二移送轨上倒转而移送之,并可使前述第三移送轨上之承载盘倒转而朝前述卸载轨或暂存轨加以移送;复数废品部,设于前述卸载部之一侧,可依瑕疵之半导体组件 之瑕疵种别加以分类容置;及,分类器,可移动于前述复数之废品部与卸载部之间,同时分类已完成视频检测之半导体封装。