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    • 2. 发明专利
    • 包含光電電路之晶圓及鑑定此晶圓之方法
    • 包含光电电路之晶圆及鉴定此晶圆之方法
    • TW328144B
    • 1998-03-11
    • TW086106366
    • 1997-05-13
    • 艾姆微體電子–馬林公司
    • 帕斯可.剛茲
    • H01L
    • G01R31/2884
    • 一種晶圓(10),包含數第一類(11)光電電路,此第一類電路各包含電子模組(13)及至少第一光電二極體(14)。
      此晶圓(10)特徵在於其另包含至少一第二類(21)積體光電電路,其具電子模組(23),至少一第二光電二極體(24)及至少一接合熱(25)可接至一外部測量裝置,至少一接合墊(25)疊於至少一第二光電二極體(24)上,故第二類至少一電路(21)可作為鑑定晶圓製造之電路。圖2
    • 一种晶圆(10),包含数第一类(11)光电电路,此第一类电路各包含电子模块(13)及至少第一光电二极管(14)。 此晶圆(10)特征在于其另包含至少一第二类(21)积体光电电路,其具电子模块(23),至少一第二光电二极管(24)及至少一接合热(25)可接至一外部测量设备,至少一接合垫(25)叠于至少一第二光电二极管(24)上,故第二类至少一电路(21)可作为鉴定晶圆制造之电路。图2
    • 3. 发明专利
    • 偵測積集於晶片上線圈線匝之間的短路之測量方法,及用於此測量方法之積體電路結構
    • 侦测积集于芯片上线圈线匝之间的短路之测量方法,及用于此测量方法之集成电路结构
    • TW371718B
    • 1999-10-11
    • TW087103730
    • 1998-03-13
    • 艾姆微體電子–馬林公司
    • 帕斯可.剛茲安塔.斑揚
    • G01RH01L
    • G06K7/0095G01R31/025G01R31/06
    • 本發明關於一種用以測量包含至少一個具有多數線匝(6)之線圈(5)之晶片積體結構(1)的測量方法。本發明之特徵在於包含下列步驟:根據該線圈的兩組不同匝數而測量橫跨該線圈(5)之第一與第二部位之端子的阻抗;計算所測得之橫跨於該線圈(5)之第一與第二部位之端子的阻抗比;比較該阻抗比值以及從相同幾何之線圈的阻抗量度取樣中所測得的常數;以及當該比值相同或不同於該常數時,分別判斷該線圈(5)之一個該部位的至少兩線匝之間是否發生短路。本發明另外關於一種能夠實施本發明之測量方法的積體電路結構。
    • 本发明关于一种用以测量包含至少一个具有多数线匝(6)之线圈(5)之芯片积体结构(1)的测量方法。本发明之特征在于包含下列步骤:根据该线圈的两组不同匝数而测量横跨该线圈(5)之第一与第二部位之端子的阻抗;计算所测得之横跨于该线圈(5)之第一与第二部位之端子的阻抗比;比较该阻抗比值以及从相同几何之线圈的阻抗量度采样中所测得的常数;以及当该比值相同或不同于该常数时,分别判断该线圈(5)之一个该部位的至少两线匝之间是否发生短路。本发明另外关于一种能够实施本发明之测量方法的集成电路结构。