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    • 2. 发明专利
    • 堆料機 STOCKER
    • 堆料机 STOCKER
    • TW200714536A
    • 2007-04-16
    • TW095124991
    • 2006-07-07
    • 艾塞特工業公司 ASYST TECHNOLOGIES, INC.
    • 安東尼C 波諾那 BONORA, ANTHONY C.羅傑G 海因 HINE, ROGER G.麥克 克拉克 KROLAK, MICHAEL
    • B65GH01L
    • H01L21/67769H01L21/67161
    • 本發明包含一種用於處理在一具有一頂板型製程區間物料處理系統及一底板型製程區內物料處理系統之製造設施內之容器之堆料機。在一實施例中,該堆料機包含一用於儲存至少一個容器之容器儲存區域、一頂板型輸入傳送器、一底板型傳送器及一自動機械裝置。該頂板型輸入傳送器接收來自該頂板型製程區間物料處理系統之容器。該堆料機之底板型傳送器可包含一輸出傳送器、一輸入傳送器或二者,且移動在該堆料機之容器儲存區域與該底板型製程區內物料處理系統之間之容器。一自動機械裝置移動在該頂板型輸入傳送器、該容器儲存區域與該底板型傳送器之間之容器。
    • 本发明包含一种用于处理在一具有一顶板型制程区间物料处理系统及一底板型制程区内物料处理系统之制造设施内之容器之堆料机。在一实施例中,该堆料机包含一用于存储至少一个容器之容器存储区域、一顶板型输入发送器、一底板型发送器及一自动机械设备。该顶板型输入发送器接收来自该顶板型制程区间物料处理系统之容器。该堆料机之底板型发送器可包含一输出发送器、一输入发送器或二者,且移动在该堆料机之容器存储区域与该底板型制程区内物料处理系统之间之容器。一自动机械设备移动在该顶板型输入发送器、该容器存储区域与该底板型发送器之间之容器。