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    • 7. 发明专利
    • 半導體元件製造方法
    • 半导体组件制造方法
    • TW201318074A
    • 2013-05-01
    • TW100139455
    • 2011-10-28
    • 聯華電子股份有限公司UNITED MICROELECTRONICS CORP.
    • 魏銘德WEI, MING TE曹博昭TSAO, PO CHAO陳銘聰CHEN, MING TSUNG
    • H01L21/336H01L21/027
    • 本發明涉及一種半導體元件製造方法,其包含下列步驟:提供一基板;於基板上方形成具有一第一寬度之一第一佈線結構;於具有第一寬度之第一佈線結構之上方形成一蝕刻罩幕,用以露出部份之該第一佈線結構;以及利用蝕刻罩幕對第一佈線結構進行一蝕刻製程,用以形成具有一第二寬度之一第二佈線結構,其中該第二寬度小於該第一寬度。上述半導體元件製造方法可於雙極曝光技術(dipole exposure)的限制下,仍可完成兩個軸向的積體電路佈線,進而增加元件製作的彈性。
    • 本发明涉及一种半导体组件制造方法,其包含下列步骤:提供一基板;于基板上方形成具有一第一宽度之一第一布线结构;于具有第一宽度之第一布线结构之上方形成一蚀刻罩幕,用以露出部份之该第一布线结构;以及利用蚀刻罩幕对第一布线结构进行一蚀刻制程,用以形成具有一第二宽度之一第二布线结构,其中该第二宽度小于该第一宽度。上述半导体组件制造方法可于双极曝光技术(dipole exposure)的限制下,仍可完成两个轴向的集成电路布线,进而增加组件制作的弹性。