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    • 8. 发明专利
    • 檢測光罩的方法
    • 检测光罩的方法
    • TW201310560A
    • 2013-03-01
    • TW100130923
    • 2011-08-29
    • 聯華電子股份有限公司UNITED MICROELECTRONICS CORP.
    • 羅偉銓LO, WEI CYUAN鄭永豐CHENG, YUNG FENG陳明瑞CHEN, MING JUI
    • H01L21/66
    • 一種檢測光罩的方法,包含有下述步驟。首先,定義一製程參數值。接著,以此製程參數值決定一入射光。然後,使入射光的至少一部份穿過一光罩的一第一區域的一第一位置及一第二位置,以分別偵測對應第一位置及對應第二位置之一第一參數值及一第二參數值,並比較第一參數值及第二參數值的差異。並且,使入射光的至少一部份穿過一光罩的一第二區域的一第三位置及一第四位置,以分別偵測對應第三位置及對應第四位置之一第三參數值及一第四參數值,並比較第三參數值及第四參數值的差異。
    • 一种检测光罩的方法,包含有下述步骤。首先,定义一制程参数值。接着,以此制程参数值决定一入射光。然后,使入射光的至少一部份穿过一光罩的一第一区域的一第一位置及一第二位置,以分别侦测对应第一位置及对应第二位置之一第一参数值及一第二参数值,并比较第一参数值及第二参数值的差异。并且,使入射光的至少一部份穿过一光罩的一第二区域的一第三位置及一第四位置,以分别侦测对应第三位置及对应第四位置之一第三参数值及一第四参数值,并比较第三参数值及第四参数值的差异。