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    • 6. 发明专利
    • 蒸鍍設備
    • 蒸镀设备
    • TW201538761A
    • 2015-10-16
    • TW103113324
    • 2014-04-11
    • 聖約翰科技大學ST. JOHN'S UNIVERSITY
    • 張瑞慶CHANG, RWEI CHING蔡發達TSAI, FA TA趙振綱CHAO, CHING KONG黃金榮HUANG, CHIN JUNG
    • C23C14/02C23C14/22
    • 一種蒸鍍設備,係具有材料供給裝置,該材料供給裝置係供裝填包含多種不同材質且均勻混合的蒸鍍材料粉末。蒸鍍設備還可包括推進機構,以對材料供給裝置內所裝填的蒸鍍材料粉末施加推進力,使蒸鍍材料粉末能夠噴射到蒸鍍室中蒸鍍材料載具的適當位置,此時蒸鍍材料載具會被加熱到大於蒸鍍材料粉末中所有蒸鍍材料的汽化溫度,藉以在同一時間將蒸鍍材料粉末中的各種蒸鍍材料汽化,亦即利用粉末閃蒸方式將各種蒸鍍材料的汽化分子均勻鍍上待鍍物的鍍面,以使待鍍物鍍面上的薄膜成分均勻。
    • 一种蒸镀设备,系具有材料供给设备,该材料供给设备系供装填包含多种不同材质且均匀混合的蒸镀材料粉末。蒸镀设备还可包括推进机构,以对材料供给设备内所装填的蒸镀材料粉末施加推进力,使蒸镀材料粉末能够喷射到蒸镀室中蒸镀材料载具的适当位置,此时蒸镀材料载具会被加热到大于蒸镀材料粉末中所有蒸镀材料的汽化温度,借以在同一时间将蒸镀材料粉末中的各种蒸镀材料汽化,亦即利用粉末闪蒸方式将各种蒸镀材料的汽化分子均匀镀上待镀物的镀面,以使待镀物镀面上的薄膜成分均匀。