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1. 发明专利

TWI479140B 橢圓儀對焦系統有权
简体标题：椭圆仪对焦系统
公开(公告)号：TWI479140B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：TW101112335
申请日：2012-04-06
申请人：耐諾股份有限公司 , NANOMETRICS INCORPORATED
发明人：布磊森漢姆貝瑞J , BLASENHEIM, BARRY J. , 沙雀夫阿密特 , SHACHAF, AMIT
IPC分类号： G01N21/21
CPC分类号： G01N21/211 , G02B7/28

2. 发明专利

TWI573999B 具有用於開迴路或閉迴路控制之濾波器之對焦系統有权
简体标题：具有用于开回路或闭回路控制之滤波器之对焦系统
公开(公告)号：TWI573999B
公开(公告)日：2017-03-11
申请号：TW103140506
申请日：2014-11-21
申请人：耐諾股份有限公司 , NANOMETRICS INCORPORATED
发明人：沙雀夫阿密特 , SHACHAF, AMIT
IPC分类号： G01N21/21
CPC分类号： G01N21/211 , G02B7/28

3. 发明专利

TW201527735A 具有用於開迴路或閉迴路控制之濾波器之對焦系統审中-公开
简体标题：具有用于开回路或闭回路控制之滤波器之对焦系统
公开(公告)号：TW201527735A
公开(公告)日：2015-07-16
申请号：TW103140506
申请日：2014-11-21
申请人：耐諾股份有限公司 , NANOMETRICS INCORPORATED
发明人：沙雀夫阿密特 , SHACHAF, AMIT
IPC分类号： G01N21/21
CPC分类号： G01N21/211 , G02B7/28
摘要：一種光學度量衡裝置，諸如一橢圓偏光計，包含一對焦系統，該對焦系統在樣本上之量測部位之移動期間(例如)使用閉迴路控制即時調整該度量衡裝置之焦點位置使得可維持對焦。一經濾波之對焦信號可用於在移動至一量測部位時調整該焦點位置。此外，該對焦信號可經粗略濾波及精細濾波，其中一粗略濾波之對焦信號係用於在移動至一量測部位時調整焦點位置，且一精細濾波之對焦信號係用於在處於該量測部位時調整焦點位置。可使用一開迴路控制，其中一旦處於該量測部位，在一經濾波之對焦信號相對於對焦信號無偏移時該經濾波之對焦信號即用於調整焦點位置。
简体摘要：一种光学度量衡设备，诸如一椭圆偏光计，包含一对焦系统，该对焦系统在样本上之量测部位之移动期间(例如)使用闭回路控制实时调整该度量衡设备之焦点位置使得可维持对焦。一经滤波之对焦信号可用于在移动至一量测部位时调整该焦点位置。此外，该对焦信号可经粗略滤波及精细滤波，其中一粗略滤波之对焦信号系用于在移动至一量测部位时调整焦点位置，且一精细滤波之对焦信号系用于在处于该量测部位时调整焦点位置。可使用一开回路控制，其中一旦处于该量测部位，在一经滤波之对焦信号相对于对焦信号无偏移时该经滤波之对焦信号即用于调整焦点位置。

4. 发明专利

TW201250227A 橢圓儀對焦系統 ELLIPSOMETER FOCUSING SYSTEM 审中-公开
简体标题：椭圆仪对焦系统 ELLIPSOMETER FOCUSING SYSTEM
公开(公告)号：TW201250227A
公开(公告)日：2012-12-16
申请号：TW101112335
申请日：2012-04-06
申请人：耐諾股份有限公司
发明人：布磊森漢姆貝瑞J , 沙雀夫阿密特
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N21/211 , G02B7/28
摘要：本發明揭示一種橢圓儀，其包括具有在樣本與橢圓儀偵測器之間的一分束器之一整合式對焦系統。該分束器將輻射之一部分提供至一透鏡系統，該透鏡系統將與一最佳對焦位置之任何偏差放大至少2倍。該對焦系統包括一2D感測器，其中對焦於該感測器上之光點係該感測器之50%或更小。該對焦系統可進一步包括一補償器以校正由該分束器所致的光學像差。一處理器接收一影像信號且找到該光點之位置，可根據該光點之該位置判定對焦誤差且使用該光對焦誤差來校正該橢圓儀之焦點位置。該處理器補償由旋轉光學器件所致的該光點之移動。另外，可使用一比例-積分-微分控制器來控制相機之曝光時間及/或增益。
简体摘要：本发明揭示一种椭圆仪，其包括具有在样本与椭圆仪侦测器之间的一分束器之一集成式对焦系统。该分束器将辐射之一部分提供至一透镜系统，该透镜系统将与一最佳对焦位置之任何偏差放大至少2倍。该对焦系统包括一2D传感器，其中对焦于该传感器上之光点系该传感器之50%或更小。该对焦系统可进一步包括一补偿器以校正由该分束器所致的光学像差。一处理器接收一影像信号且找到该光点之位置，可根据该光点之该位置判定对焦误差且使用该光对焦误差来校正该椭圆仪之焦点位置。该处理器补偿由旋转光学器件所致的该光点之移动。另外，可使用一比例-积分-微分控制器来控制相机之曝光时间及/或增益。

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