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1. 发明专利

TW201841287A 用於多壓力建制的使用同心泵送的設備审中-公开
简体标题：用于多压力建制的使用同心泵送的设备
公开(公告)号：TW201841287A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：TW107103200
申请日：2018-01-30
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：卡寧尼可萊尼古拉耶維奇 , KALNIN, NIKOLAI NIKOLAEVICH , 崔恩托恩Q , TRAN, TOAN Q. , 路柏曼斯基迪米奇 , LUBOMIRSKY, DMITRY
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/687
摘要：此處揭露用於基板處理設備的排放模組，具有一主體、一泵送環及一對稱流動閥。該主體具有經過該主體形成的第一及第二真空泵送開口。在該主體中在該第一及該第二真空泵送開口兩者上放置該泵送環。該泵送環包含具有一頂部表面、一底部表面及一開口的一實質環形主體。該頂部表面具有在該頂部表面中形成的一個或更多個穿孔，排列成與該第一真空泵送開口同心的一圖案。該底部表面具有在該底部表面中形成的一流體通路，內部連接該一個或更多個穿孔之每一者。在該實質環形主體中形成該開口，該開口實質上與該真空泵送開口對齊。在該主體中在該泵送環上放置該對稱流動閥，該對稱流動閥可在一升高位置及一降低位置之間移動。
简体摘要：此处揭露用于基板处理设备的排放模块，具有一主体、一泵送环及一对称流动阀。该主体具有经过该主体形成的第一及第二真空泵送开口。在该主体中在该第一及该第二真空泵送开口两者上放置该泵送环。该泵送环包含具有一顶部表面、一底部表面及一开口的一实质环形主体。该顶部表面具有在该顶部表面中形成的一个或更多个穿孔，排列成与该第一真空泵送开口同心的一图案。该底部表面具有在该底部表面中形成的一流体通路，内部连接该一个或更多个穿孔之每一者。在该实质环形主体中形成该开口，该开口实质上与该真空泵送开口对齐。在该主体中在该泵送环上放置该对称流动阀，该对称流动阀可在一升高位置及一降低位置之间移动。

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