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    • 1. 发明专利
    • 用於多壓力建制的使用同心泵送的設備
    • 用于多压力建制的使用同心泵送的设备
    • TW201841287A
    • 2018-11-16
    • TW107103200
    • 2018-01-30
    • 美商應用材料股份有限公司APPLIED MATERIALS, INC.
    • 卡寧 尼可萊尼古拉耶維奇KALNIN, NIKOLAI NIKOLAEVICH崔恩 托恩QTRAN, TOAN Q.路柏曼斯基 迪米奇LUBOMIRSKY, DMITRY
    • H01L21/67H01L21/683H01L21/687
    • 此處揭露用於基板處理設備的排放模組,具有一主體、一泵送環及一對稱流動閥。該主體具有經過該主體形成的第一及第二真空泵送開口。在該主體中在該第一及該第二真空泵送開口兩者上放置該泵送環。該泵送環包含具有一頂部表面、一底部表面及一開口的一實質環形主體。該頂部表面具有在該頂部表面中形成的一個或更多個穿孔,排列成與該第一真空泵送開口同心的一圖案。該底部表面具有在該底部表面中形成的一流體通路,內部連接該一個或更多個穿孔之每一者。在該實質環形主體中形成該開口,該開口實質上與該真空泵送開口對齊。在該主體中在該泵送環上放置該對稱流動閥,該對稱流動閥可在一升高位置及一降低位置之間移動。
    • 此处揭露用于基板处理设备的排放模块,具有一主体、一泵送环及一对称流动阀。该主体具有经过该主体形成的第一及第二真空泵送开口。在该主体中在该第一及该第二真空泵送开口两者上放置该泵送环。该泵送环包含具有一顶部表面、一底部表面及一开口的一实质环形主体。该顶部表面具有在该顶部表面中形成的一个或更多个穿孔,排列成与该第一真空泵送开口同心的一图案。该底部表面具有在该底部表面中形成的一流体通路,内部连接该一个或更多个穿孔之每一者。在该实质环形主体中形成该开口,该开口实质上与该真空泵送开口对齐。在该主体中在该泵送环上放置该对称流动阀,该对称流动阀可在一升高位置及一降低位置之间移动。