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    • 4. 发明专利
    • 形成具有前側源極及汲極觸點之場效電晶體(FET)或其它半導體裝置之方法
    • 形成具有前侧源极及汲极触点之场效应管(FET)或其它半导体设备之方法
    • TW201834032A
    • 2018-09-16
    • TW106140691
    • 2017-11-23
    • 美商微晶片科技公司MICROCHIP TECHNOLOGY INCORPORATED
    • 迪克斯 葛瑞格DIX, GREG蘇梅特 吉那SHUMATE, JINA彼得森 艾瑞克PETERSON, ERIC那雅 拉傑西NAYAK, RAJESH
    • H01L21/28H01L21/336
    • 本發明提供一種用於形成包含溝渠式半導體裝置(例如,溝渠FET)之一積體電路(IC)結構之方法,該等溝渠式半導體裝置具有前側汲極觸點。該方法可包含:形成一磊晶區域;在該磊晶區域中形成一多晶閘極溝渠;形成通過該多晶閘極溝渠且延伸於該多晶閘極溝渠下方之一汲極觸點溝渠;在該多晶閘極溝渠中形成一多晶閘極;在該汲極觸點溝渠中形成一前側汲極觸點;且在與該多晶閘極相鄰之該磊晶區域中形成一源極區域。該裝置可界定自該多晶閘極/源極交叉點至該前側汲極觸點之一漂移區域。該漂移區域可係位於該磊晶層內,且不延伸至一下層基板或過渡層內。該前側汲極觸點深度可經選擇以影響該裝置之崩潰電壓。該等前側汲極觸點可允許覆晶安裝該IC結構。
    • 本发明提供一种用于形成包含沟渠式半导体设备(例如,沟渠FET)之一集成电路(IC)结构之方法,该等沟渠式半导体设备具有前侧汲极触点。该方法可包含:形成一磊晶区域;在该磊晶区域中形成一多晶闸极沟渠;形成通过该多晶闸极沟渠且延伸于该多晶闸极沟渠下方之一汲极触点沟渠;在该多晶闸极沟渠中形成一多晶闸极;在该汲极触点沟渠中形成一前侧汲极触点;且在与该多晶闸极相邻之该磊晶区域中形成一源极区域。该设备可界定自该多晶闸极/源极交叉点至该前侧汲极触点之一漂移区域。该漂移区域可系位于该磊晶层内,且不延伸至一下层基板或过渡层内。该前侧汲极触点深度可经选择以影响该设备之崩溃电压。该等前侧汲极触点可允许覆晶安装该IC结构。