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1. 发明专利

TWI648706B 用於偵測晶圓上之缺陷之方法、系統及非暫時性電腦可讀媒體有权
简体标题：用于侦测晶圆上之缺陷之方法、系统及非暂时性电脑可读媒体
公开(公告)号：TWI648706B
公开(公告)日：2019-01-21
申请号：TW104128194
申请日：2015-08-27
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：陳弘 , CHEN, HONG , 吳肯翁 , WU, KENONG , 雪芬尤金 , SHIFRIN, EUGENE , 山岡正敏 , YAMAOKA, MASATOSHI , 西法拉曼甘佳哈倫 , SIVARAMAN, GANGADHARAN , 巴布納西瑞哈維 , BABULNATH, RAGHAV , 庫瑞達賽特亞 , KURADA, SATYA , 孫碩 , SUN, ALFONSO (SHUO)
IPC分类号： G06T7/00

2. 发明专利

TW201833535A 用於調諧經調變晶圓之敏感度及判定用於經調變晶圓之處理視窗之系統，方法以及非暫時性電腦可讀媒體审中-公开
简体标题：用于调谐经调制晶圆之敏感度及判定用于经调制晶圆之处理窗口之系统，方法以及非暂时性电脑可读媒体
公开(公告)号：TW201833535A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW106140297
申请日：2017-11-21
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：歐蘭大衛克雷格 , ORAM, DAVID CRAIG , 馬修爾阿布希納維 , MATHUR, ABHINAV , 吳肯翁 , WU, KENONG , 雪芬尤金 , SHIFRIN, EUGENE
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/95 , H01L21/66 , H01L21/67
摘要：本發明提供一種用於調諧一經調變晶圓之敏感度及判定用於該經調變晶圓之一處理視窗之系統、方法及非暫時性電腦可讀媒體。基於一單組參數而動態地調諧該經調變晶圓之晶粒之敏感度。此外，依據先前所判定之參數特定標稱處理視窗而判定用於該經調變晶圓之該處理視窗。
简体摘要：本发明提供一种用于调谐一经调制晶圆之敏感度及判定用于该经调制晶圆之一处理窗口之系统、方法及非暂时性电脑可读媒体。基于一单组参数而动态地调谐该经调制晶圆之晶粒之敏感度。此外，依据先前所判定之参数特定标称处理窗口而判定用于该经调制晶圆之该处理窗口。

3. 发明专利

TW201907152A 用於重複缺陷分析之相對缺陷位置之高精準度审中-公开
简体标题：用于重复缺陷分析之相对缺陷位置之高精准度
公开(公告)号：TW201907152A
公开(公告)日：2019-02-16
申请号：TW107114041
申请日：2018-04-25
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：蘇曼徐徐爾 , SUMAN, SHISHIR , 吳克農 , WU, KENONG
IPC分类号： G01N21/95 , G06Q50/04
摘要：本發明提供用於變換在一晶圓上偵測到的缺陷之定位之方法及系統。一種方法包含對準一檢測子系統針對印刷於該晶圓上之一多晶粒光罩之一第一例項中之一第一晶粒中之一第一掃描帶中之一第一圖框的輸出與印刷於該晶圓上之其他光罩例項中之對應圖框、掃描帶及晶粒之輸出。該方法亦包含：基於該等圖框及與其等對準之該等對應圖框的該輸出之掃描帶座標分別判定該等其他光罩例項中之該等圖框之各者的不同掃描帶座標偏移；及基於其中偵測到該等缺陷之該等其他光罩例項將該等不同掃描帶座標偏移之一者應用於針對該等缺陷報告之該等掃描帶座標，藉此將該等缺陷之該等掃描帶座標自該等其他光罩例項中之掃描帶座標變換為該第一光罩例項。
简体摘要：本发明提供用于变换在一晶圆上侦测到的缺陷之定位之方法及系统。一种方法包含对准一检测子系统针对印刷于该晶圆上之一多晶粒光罩之一第一实例中之一第一晶粒中之一第一扫描带中之一第一图框的输出与印刷于该晶圆上之其他光罩实例中之对应图框、扫描带及晶粒之输出。该方法亦包含：基于该等图框及与其等对准之该等对应图框的该输出之扫描带座标分别判定该等其他光罩实例中之该等图框之各者的不同扫描带座标偏移；及基于其中侦测到该等缺陷之该等其他光罩实例将该等不同扫描带座标偏移之一者应用于针对该等缺陷报告之该等扫描带座标，借此将该等缺陷之该等扫描带座标自该等其他光罩实例中之扫描带座标变换为该第一光罩实例。

4. 发明专利

TWI644378B 晶圓缺陷發現有权
简体标题：晶圆缺陷发现
公开(公告)号：TWI644378B
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：TW104136373
申请日：2015-11-04
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：陳弘 , CHEN, HONG , 吳肯翁 , WU, KENONG , 普莉霍爾馬丁 , PLIHAL, MARTIN , 潘迪塔維朵 , PANDITA, VIDUR , 珊娜帕拉拉維庫瑪 , SANAPALA, RAVIKUMAR , 巴葛特維沃克 , BHAGAT, VIVEK , 拉卡瓦特拉赫 , LAKHAWAT, RAHUL , 巴里司歐克森 , BARIS, OKSEN , 拉瑪強卓恩拉傑許 , RAMACHANDRAN, RAJESH , 哈克諾歐辛 , HAQUE, NOASHIN
IPC分类号： H01L21/66 , G01N21/88 , G01N23/225

5. 发明专利

TWI643280B 使用結構性資訊之缺陷偵測有权
简体标题：使用结构性信息之缺陷侦测
公开(公告)号：TWI643280B
公开(公告)日：2018-12-01
申请号：TW104133740
申请日：2015-10-14
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：駱青 , LUO, QING , 吳肯翁 , WU, KENONG , 李虎成 , LEE, HUCHENG , 高理升 , GAO, LISHENG , 雪芬尤金 , SHIFRIN, EUGENE , 熊燕 , XIONG, YAN , 孫碩 , SUN, SHUO
IPC分类号： H01L21/66

6. 发明专利

TW201723906A 在一設計檔案內儲存動態層內容之方法审中-公开
简体标题：在一设计文档内存储动态层内容之方法
公开(公告)号：TW201723906A
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW105138850
申请日：2016-11-25
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：傑亞瑞曼席如普瑞桑德瑞 , JAYARAMAN, THIRUPURASUNDARI , 坎都庫里史立坎斯 , KANDUKURI, SRIKANTH , 羅素喬丹 , ROUSE, GORDON , 拉曼安奈 , RAMAN, ANIL , 吳肯翁 , WU, KENONG , 古奈斯卡倫普拉芬 , GUNASEKARAN, PRAVEEN , 百拉吉亞瑞文迪 , BALAJI, ARAVINDH
IPC分类号： G06F17/50 , G06F17/00
CPC分类号： G06F17/5072 , G06F17/5081
摘要：本發明揭示用於在一設計檔案中儲存動態層內容之系統及方法。接收具有對應於複數個程序層之設計資料之一設計檔案。亦接收一幾何運算公式。一處理器產生藉由對該複數個程序層中之兩者或兩者以上應用該幾何運算公式而形成的具有動態層內容之一多邊形。儲存經更新設計檔案，即現在具有擁有動態層內容之一多邊形之設計檔案。
简体摘要：本发明揭示用于在一设计文档中存储动态层内容之系统及方法。接收具有对应于复数个进程层之设计数据之一设计文档。亦接收一几何运算公式。一处理器产生借由对该复数个进程层中之两者或两者以上应用该几何运算公式而形成的具有动态层内容之一多边形。存储经更新设计文档，即现在具有拥有动态层内容之一多边形之设计文档。

7. 发明专利

TWI600897B 用於偵測晶圓上之缺陷之電腦實施方法、非暫時性電腦可讀媒體及系統有权
简体标题：用于侦测晶圆上之缺陷之电脑实施方法、非暂时性电脑可读媒体及系统
公开(公告)号：TWI600897B
公开(公告)日：2017-10-01
申请号：TW102137202
申请日：2013-10-15
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：吳肯翁 , WU, KENONG , 吳孟哲 , WU, MENG CHE , 高理升 , GAO, LISHENG
IPC分类号： G01N21/88
CPC分类号： G06T7/001 , G01N21/9501 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148

8. 发明专利

TW201630092A 使用結構性資訊之缺陷偵測审中-公开
简体标题：使用结构性信息之缺陷侦测
公开(公告)号：TW201630092A
公开(公告)日：2016-08-16
申请号：TW104133740
申请日：2015-10-14
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：駱青 , LUO, QING , 吳肯翁 , WU, KENONG , 李虎成 , LEE, HUCHENG , 高理升 , GAO, LISHENG , 雪芬尤金 , SHIFRIN, EUGENE , 熊燕 , XIONG, YAN , 孫碩 , SUN, SHUO
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G05B19/401 , G05B2219/37365 , G05B2219/37571 , H01J2237/221 , H01J2237/2817 , H01L22/12 , H01L22/20
摘要：本發明提供用於基於結構性資訊來偵測一樣本上之缺陷的系統及方法。一種系統包含一或多個電腦子系統，該等子系統經組態用於基於一樣本上之一陣列區中之結構的特性來將由該陣列區中之一檢測子系統之一偵測器產生的輸出分離成該輸出的至少第一片段與第二片段，使得不同片段中之該輸出已被產生於該陣列區中的不同位置，其中形成具有該(等)特性之不同值的該(等)結構。該(等)電腦子系統亦經組態用於藉由基於該輸出是否處於該第一片段或該第二片段而將一或多個缺陷偵測方法應用於該輸出以偵測該樣本上的缺陷。
简体摘要：本发明提供用于基于结构性信息来侦测一样本上之缺陷的系统及方法。一种系统包含一或多个电脑子系统，该等子系统经组态用于基于一样本上之一数组区中之结构的特性来将由该数组区中之一检测子系统之一侦测器产生的输出分离成该输出的至少第一片段与第二片段，使得不同片段中之该输出已被产生于该数组区中的不同位置，其中形成具有该(等)特性之不同值的该(等)结构。该(等)电脑子系统亦经组态用于借由基于该输出是否处于该第一片段或该第二片段而将一或多个缺陷侦测方法应用于该输出以侦测该样本上的缺陷。

9. 发明专利

TW201614586A 重複缺陷偵測审中-公开
简体标题：重复缺陷侦测
公开(公告)号：TW201614586A
公开(公告)日：2016-04-16
申请号：TW104128194
申请日：2015-08-27
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：陳弘 , CHEN, HONG , 吳肯翁 , WU, KENONG , 雪芬尤金 , SHIFRIN, EUGENE , 山岡正敏 , YAMAOKA, MASATOSHI , 西法拉曼甘佳哈倫 , SIVARAMAN, GANGADHARAN , 巴布納西瑞哈維 , BABULNATH, RAGHAV , 庫瑞達賽特亞 , KURADA, SATYA , 孫碩 , SUN, ALFONSO (SHUO)
IPC分类号： G06T7/00
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/00 , G01N21/94 , G01N21/95 , G01N2201/061 , G01N2201/10
摘要：本發明提供用於偵測一晶圓上之缺陷之系統及方法。一種方法包含從藉由運用一檢驗系統掃描一晶圓產生之圖框影像，產生該晶圓上之晶粒中之一陣列區域之至少一部分之測試影像。該方法亦包含從藉由該晶圓之該掃描而產生之圖框影像，產生該陣列區域中之單元之一參考影像。此外，該方法包含藉由從對應於該(等)晶粒中之該陣列區域之至少該部分中之至少一個單元之該(等)測試影像之部分減去該參考影像而判定該至少一個單元之差異影像。該方法進一步包含基於該(等)差異影像在該至少一個單元中偵測該晶圓上之缺陷。
简体摘要：本发明提供用于侦测一晶圆上之缺陷之系统及方法。一种方法包含从借由运用一检验系统扫描一晶圆产生之图框影像，产生该晶圆上之晶粒中之一数组区域之至少一部分之测试影像。该方法亦包含从借由该晶圆之该扫描而产生之图框影像，产生该数组区域中之单元之一参考影像。此外，该方法包含借由从对应于该(等)晶粒中之该数组区域之至少该部分中之至少一个单元之该(等)测试影像之部分减去该参考影像而判定该至少一个单元之差异影像。该方法进一步包含基于该(等)差异影像在该至少一个单元中侦测该晶圆上之缺陷。

10. 发明专利

TWI451512B 用於晶圓檢測或度量設定之資料擾動有权
简体标题：用于晶圆检测或度量设置之数据扰动
公开(公告)号：TWI451512B
公开(公告)日：2014-09-01
申请号：TW100121665
申请日：2011-06-21
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：馬哈迪文摩漢 , MAHADEVAN, MOHAN , 古普傑艾潔 , GUPTA, AJAY , 陳亞當進慧 , CHEN, ADAM CHIEN-HUEI , 庫爾卡尼艾斯霍克V , KULKARNI, ASHOK V. , 琪爾克烏德傑森 , KIRKWOOD, JASON , 吳肯翁 , WU, KENONG , 羅宋尼恩 , RONG, SONGNIAN , 薩塔桑達瑞古維達拉真 , THATTAISUNDARAM, GOVINDARAJAN
IPC分类号： H01L21/66 , G01N21/88
CPC分类号： G05B19/41875 , G05B2219/32182 , G05B2219/45031 , Y02P90/22

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