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1. 发明专利

TWI669742B 檢測區準備有权
简体标题：检测区准备
公开(公告)号：TWI669742B
公开(公告)日：2019-08-21
申请号：TW104133280
申请日：2015-10-08
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：賽門斯理查 , SIMMONS, RICHARD , 馬薩納海提道格拉斯 , MASNAGHETTI, DOUGLAS , 馬可爾德馬克 , MCCORD, MARK , 史丹利佛瑞德W , STANKEY, FRED W , 楊史考特 , YOUNG, SCOTT , 希爾斯克里斯多福 , SEARS, CHRISTOPHER
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/06 , H01J37/28

2. 发明专利

TWI670746B 於掃描式電子顯微鏡圖像中減少電荷聚集假影之方法及系統有权
简体标题：于扫描式电子显微镜图像中减少电荷聚集假影之方法及系统
公开(公告)号：TWI670746B
公开(公告)日：2019-09-01
申请号：TW105106549
申请日：2016-03-03
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：希爾斯克里斯多福 , SEARS, CHRISTOPHER , 克拉克班傑明 , CLARK, BENJAMIN
IPC分类号： H01J37/28

3. 发明专利

TW202004817A 空間電荷不靈敏之電子槍設計审中-公开
简体标题：空间电荷不灵敏之电子枪设计
公开(公告)号：TW202004817A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：TW108117024
申请日：2019-05-17
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：希爾斯克里斯多福 , SEARS, CHRISTOPHER , 葛瑞拉魯卡 , GRELLA, LUCA
IPC分类号： H01J37/06
摘要：本發明揭示具有一特定內部寬度尺寸、掃掠電極，或一特定內部寬度尺寸與掃掠電極之一組合之電子槍系統。該內部寬度尺寸可小於一束限制孔徑下游之一通道中之次級電子之一拉莫半徑之一值的兩倍，且該等次級電子之一拉莫時間可大於1 ns。該掃掠電極可在一漂移區域中產生一電場，這可增加該通道中之次級電子的動能。
简体摘要：本发明揭示具有一特定内部宽度尺寸、扫掠电极，或一特定内部宽度尺寸与扫掠电极之一组合之电子枪系统。该内部宽度尺寸可小于一束限制孔径下游之一信道中之次级电子之一拉莫半径之一值的两倍，且该等次级电子之一拉莫时间可大于1 ns。该扫掠电极可在一漂移区域中产生一电场，这可增加该信道中之次级电子的动能。

4. 发明专利

TW202004820A 高解析度電子能量分析儀审中-公开
简体标题：高分辨率电子能量分析仪
公开(公告)号：TW202004820A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：TW108114079
申请日：2019-04-23
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：姜辛容 , JIANG, XINRONG , 希爾斯克里斯多福 , SEARS, CHRISTOPHER , 朱邦尼可雷 , CHUBUN, NIKOLAI
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/145 , G01Q30/04
摘要：本發明揭示一種高解析度電子能量分析儀。在一項實施例中，該電子能量分析儀包含一靜電透鏡，該靜電透鏡經組態以：產生一能量分析場區；使由一電子源產生之一電子束之電子減速；及將該電子束之該等減速電子引導至該能量分析場區。在另一實施例中，該電子能量分析儀包含一電子偵測器，該電子偵測器經組態以接收傳遞通過該能量分析場區之一或多個電子。在另一實施例中，該電子偵測器經進一步組態以基於該一或多個所接收電子產生一或多個信號。
简体摘要：本发明揭示一种高分辨率电子能量分析仪。在一项实施例中，该电子能量分析仪包含一静电透镜，该静电透镜经组态以：产生一能量分析场区；使由一电子源产生之一电子束之电子减速；及将该电子束之该等减速电子引导至该能量分析场区。在另一实施例中，该电子能量分析仪包含一电子侦测器，该电子侦测器经组态以接收传递通过该能量分析场区之一或多个电子。在另一实施例中，该电子侦测器经进一步组态以基于该一或多个所接收电子产生一或多个信号。

5. 发明专利

TW202004175A 用於具有多重電子光束之一系統之電荷控制裝置审中-公开
简体标题：用于具有多重电子光束之一系统之电荷控制设备
公开(公告)号：TW202004175A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：TW108117023
申请日：2019-05-17
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：希爾斯克里斯多福 , SEARS, CHRISTOPHER , 葛瑞拉魯卡 , GRELLA, LUCA
IPC分类号： G01N23/225 , H01J37/256
摘要：本發明揭示聚焦及對準多重電子光束之系統及方法。一相機產生來自經投射於具有多個目標之一纖維光學器件陣列處之電子光束的光的影像資料。一影像處理模組基於該影像資料來判定對經施加至一中繼透鏡、一場透鏡或一多極陣列之一電壓之一調整。該調整最小化該等電子光束中之一者之一位移、一散焦或一像差中之至少一者。使用一控制模組將該電壓施加至該中繼透鏡、該場透鏡或該多極陣列。
简体摘要：本发明揭示聚焦及对准多重电子光束之系统及方法。一相机产生来自经投射于具有多个目标之一纤维光学器件数组处之电子光束的光的影像数据。一影像处理模块基于该影像数据来判定对经施加至一中继透镜、一场透镜或一多极数组之一电压之一调整。该调整最小化该等电子光束中之一者之一位移、一散焦或一像差中之至少一者。使用一控制模块将该电压施加至该中继透镜、该场透镜或该多极数组。

6. 发明专利

TW201919086A 具有高解析度之電子束設備审中-公开
简体标题：具有高分辨率之电子束设备
公开(公告)号：TW201919086A
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：TW107126417
申请日：2018-07-31
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：姜辛容 , JIANG, XINRONG , 希爾斯克里斯多福 , SEARS, CHRISTOPHER
IPC分类号： H01J37/073 , H01J37/075 , H01J37/145 , H01J37/244 , H01J37/28 , G01N23/2251
CPC分类号： H01J37/145 , G01N23/2251 , G01N2223/418 , G01N2223/6116 , H01J37/067 , H01J37/073 , H01J37/075 , H01J2237/06316 , H01J2237/06341 , H01J2237/065 , H01J2237/1415 , H01J2237/28
摘要：一種磁槍透鏡及一種靜電槍透鏡可用於一電子束設備且可有助於在掃描電子顯微鏡、檢查及/或檢驗使用中為所有可用電子束電流提供高解析度。一提取射束可使用該磁槍透鏡經由一射束限制孔徑而導引在一晶圓處。該電子束亦可在該電子束通過該射束限制孔徑之後通過一靜電槍透鏡。
简体摘要：一种磁枪透镜及一种静电枪透镜可用于一电子束设备且可有助于在扫描电子显微镜、检查及/或检验使用中为所有可用电子束电流提供高分辨率。一提取射束可使用该磁枪透镜经由一射束限制孔径而导引在一晶圆处。该电子束亦可在该电子束通过该射束限制孔径之后通过一静电枪透镜。

7. 发明专利

TW201907436A 掃描電子顯微鏡物鏡校準审中-公开
简体标题：扫描电子显微镜物镜校准
公开(公告)号：TW201907436A
公开(公告)日：2019-02-16
申请号：TW107122259
申请日：2018-06-28
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：本莊一郎 , HONJO, ICHIRO , 希爾斯克里斯多福 , SEARS, CHRISTOPHER , 楊海東 , YANG, HEDONG , 哈坦 , HA, THANH , 王建偉 , WANG, JIANWEI , 徐惠那 , XU, HUINA
IPC分类号： H01J37/28
摘要：使用所揭示技術及系統，可獲得運用較少影像獲取對一掃描電子顯微鏡檢視工具進行之物鏡對準。可基於影像判定用於該掃描電子顯微鏡之兩個不同X-Y電壓對。基於第一X-Y電壓對之一第二影像可用於判定一第二X-Y電壓對。可將該等X-Y電壓對施加於Q4透鏡或該掃描電子顯微鏡之其他光學組件處。
简体摘要：使用所揭示技术及系统，可获得运用较少影像获取对一扫描电子显微镜视图工具进行之物镜对准。可基于影像判定用于该扫描电子显微镜之两个不同X-Y电压对。基于第一X-Y电压对之一第二影像可用于判定一第二X-Y电压对。可将该等X-Y电压对施加于Q4透镜或该扫描电子显微镜之其他光学组件处。

8. 发明专利

TW201903399A 多行掃描式電子顯微鏡系統审中-公开
简体标题：多行扫描式电子显微镜系统
公开(公告)号：TW201903399A
公开(公告)日：2019-01-16
申请号：TW107119406
申请日：2018-06-06
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：奈瑟-葛德西梅瑞 , NASSER-GHODSI, MEHRAN , 普雷特納湯瑪士 , PLETTNER, TOMAS , 希爾斯克里斯多福 , SEARS, CHRISTOPHER , 海尼斯羅伯特 , HAYNES, ROBERT , 葛林約翰 , GERLING, JOHN , 威克雅倫 , WELK, ARON , 福克斯菲利普 , FUKS, FELIPE
IPC分类号： G01N23/2251 , H01J37/28
摘要：本發明揭示一種多行掃描式電子顯微鏡(SEM)系統。該SEM系統包含一源總成。該源總成包含經組態以產生複數個電子束之兩個或兩個以上電子束源。該源總成亦包含經組態以致動該兩個或兩個以上電子束源之兩組或兩組以上定位器。該SEM系統亦包含一柱總成。該柱總成包含複數個基板陣列。該柱總成亦包含藉由接合至該複數個基板陣列之一組柱電子光學元件形成之兩個或兩個以上電子光學柱。該SEM系統亦包含經組態以固定一樣本之一載物台，該樣本回應於藉由該兩個或兩個以上電子光學柱引導至該樣本之該複數個電子束而進行發射電子或散射電子之至少一者。
简体摘要：本发明揭示一种多行扫描式电子显微镜(SEM)系统。该SEM系统包含一源总成。该源总成包含经组态以产生复数个电子束之两个或两个以上电子束源。该源总成亦包含经组态以致动该两个或两个以上电子束源之两组或两组以上定位器。该SEM系统亦包含一柱总成。该柱总成包含复数个基板数组。该柱总成亦包含借由接合至该复数个基板数组之一组柱电子光学组件形成之两个或两个以上电子光学柱。该SEM系统亦包含经组态以固定一样本之一载物台，该样本回应于借由该两个或两个以上电子光学柱引导至该样本之该复数个电子束而进行发射电子或散射电子之至少一者。

9. 发明专利

TW201841184A 用於電子源之提取器電極审中-公开
简体标题：用于电子源之提取器电极
公开(公告)号：TW201841184A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：TW107101805
申请日：2018-01-18
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：何登勞倫斯 S , HORDON, LAURENCE S. , 葛瑞拉魯卡 , GRELLA, LUCA , 朱邦尼可雷 , CHUBUN, NIKOLAI , 姜辛容 , JIANG, XINRONG , 希爾斯克里斯多福 , SEARS, CHRISTOPHER , 布丹尼爾 , BUI, DANIEL , 佛羅倫度奧斯卡 G , FLORENDO, OSCAR G. , 庫明斯凱文 , CUMMINGS, KEVIN
IPC分类号： H01J37/073 , H01J37/28 , G03F7/20
摘要：提取器及提取器系統最小化與初級電子束相互作用且使該初級電子束降級之次級電子之產生。此可改良諸如一掃描電子顯微鏡之一電子束系統之效能。該提取器可包含隨著距該電子束之源之距離之增加而變寬之一截頭圓錐形孔隙。至該截頭圓錐形孔隙中之入口亦可包含一彎曲邊緣。
简体摘要：提取器及提取器系统最小化与初级电子束相互作用且使该初级电子束降级之次级电子之产生。此可改良诸如一扫描电子显微镜之一电子束系统之性能。该提取器可包含随着距该电子束之源之距离之增加而变宽之一截头圆锥形孔隙。至该截头圆锥形孔隙中之入口亦可包含一弯曲边缘。

10. 发明专利

TW201833969A 用於電子束系統中之像差校正之方法及系統审中-公开
简体标题：用于电子束系统中之像差校正之方法及系统
公开(公告)号：TW201833969A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW106142684
申请日：2017-12-06
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：姜辛容 , JIANG, XINRONG , 希爾斯克里斯多福 , SEARS, CHRISTOPHER
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/153
摘要：本發明揭示一種用於執行電子顯微術之電子光學系統。該系統包含一電子束源，該電子束源經組態以產生一初級電子束。該系統包含一源透鏡、一聚光透鏡及一物鏡，其等沿著一光軸安置。該系統包含：一第一維恩濾波器，其沿著該光軸安置；及一第二維恩濾波器，其沿著該光軸安置。該第一維恩濾波器及該第二維恩濾波器經安置於該源透鏡及該物鏡之間。該第一維恩濾波器經組態以校正該初級束中之色像差。該系統亦包含一偵測器總成，該偵測器總成經組態以偵測源自樣品之表面之電子。
简体摘要：本发明揭示一种用于运行电子显微术之电子光学系统。该系统包含一电子束源，该电子束源经组态以产生一初级电子束。该系统包含一源透镜、一聚光透镜及一物镜，其等沿着一光轴安置。该系统包含：一第一维恩滤波器，其沿着该光轴安置；及一第二维恩滤波器，其沿着该光轴安置。该第一维恩滤波器及该第二维恩滤波器经安置于该源透镜及该物镜之间。该第一维恩滤波器经组态以校正该初级束中之色像差。该系统亦包含一侦测器总成，该侦测器总成经组态以侦测源自样品之表面之电子。

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