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2. 发明专利

TW201532117A 具有浮動凸緣之電漿單元审中-公开
简体标题：具有浮动凸缘之等离子单元
公开(公告)号：TW201532117A
公开(公告)日：2015-08-16
申请号：TW103143541
申请日：2014-12-12
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：畢札爾伊爾亞 , BEZEL, ILYA , 斯奇密利尼亞納圖里 , SHCHEMELININ, ANATOLY , 圖卡曼亞米爾 , TORKAMAN, AMIR
IPC分类号： H01J61/24 , H05H1/24
CPC分类号： H05H1/24 , H01J61/30 , H01J61/52 , H01J65/04
摘要：一種用於形成光維持電漿之電漿單元包含：一透射元件，其經組態以容納一氣體體積；一第一終端凸緣，其經安置於該透射元件之一開口處或附近；一第二終端凸緣，其經安置於該透射元件之另一開口處或附近；一浮動凸緣，其經安置於該第一終端凸緣或該第二終端凸緣與該透射元件之間。該浮動凸緣係可移動以補償該透射元件之熱膨脹。此外，該浮動凸緣經組態以圍封該透射元件之內部體積，以將一氣體體積容納於該透射元件內。該透射元件經組態以接收來自一照明源之照明，以便在該氣體體積內產生電漿。該透射元件對來自該照明源之該照明的一部分及由該電漿發射之寬頻輻射的一部分透明。
简体摘要：一种用于形成光维持等离子之等离子单元包含：一透射组件，其经组态以容纳一气体体积；一第一终端凸缘，其经安置于该透射组件之一开口处或附近；一第二终端凸缘，其经安置于该透射组件之另一开口处或附近；一浮动凸缘，其经安置于该第一终端凸缘或该第二终端凸缘与该透射组件之间。该浮动凸缘系可移动以补偿该透射组件之热膨胀。此外，该浮动凸缘经组态以围封该透射组件之内部体积，以将一气体体积容纳于该透射组件内。该透射组件经组态以接收来自一照明源之照明，以便在该气体体积内产生等离子。该透射组件对来自该照明源之该照明的一部分及由该等离子发射之宽带辐射的一部分透明。

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