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    • 6. 发明专利
    • 電荷捕獲結構之孔隙形成
    • 电荷捕获结构之孔隙形成
    • TW201911581A
    • 2019-03-16
    • TW107127000
    • 2018-08-03
    • 美商美光科技公司MICRON TECHNOLOGY, INC.
    • 卡森 克里斯 MCARLSON, CHRIS M.盧梭 鄔勾RUSSO, UGO
    • H01L29/792H01L21/76
    • 電子設備及形成該電子設備之方法可包括供在各種電子系統及裝置中使用之一或多個電荷捕獲結構,其中每一電荷捕獲結構包括在該電荷捕獲結構之一電荷捕獲區上之一閘極與一阻隔介電質之間的一介電質屏障。在各種實施例中,一孔隙位於該電荷捕獲區與其上安置有該電荷捕獲結構之一區之間。在各種實施例中,使一電荷捕獲區與一電荷捕獲結構之一半導體柱分隔開的一隧道區可經配置使得該隧道區及該半導體柱為一孔隙之邊界。揭示了額外設備、系統及方法。
    • 电子设备及形成该电子设备之方法可包括供在各种电子系统及设备中使用之一或多个电荷捕获结构,其中每一电荷捕获结构包括在该电荷捕获结构之一电荷捕获区上之一闸极与一阻隔介电质之间的一介电质屏障。在各种实施例中,一孔隙位于该电荷捕获区与其上安置有该电荷捕获结构之一区之间。在各种实施例中,使一电荷捕获区与一电荷捕获结构之一半导体柱分隔开的一隧道区可经配置使得该隧道区及该半导体柱为一孔隙之边界。揭示了额外设备、系统及方法。