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热词
    • 1. 发明专利
    • 長晶爐體結構配置
    • 长晶炉体结构配置
    • TWI366612B
    • 2012-06-21
    • TW097105738
    • 2008-02-19
    • 綠能科技股份有限公司
    • 呂秀正林和龍
    • C30B
    • C30B35/00Y10T117/1024
    • 本發明係關於一種長晶爐體結構配置,其將隔離室與人員控制室分開併排設置,並利用二室間之隔離門以隔離人員控制室與隔離室。隔離室內容設有爐底蓋,隔離室之頂板上方蓋設有爐上腔,爐上腔與爐底蓋並彼此對應蓋合形成長晶爐。由於隔離室與人員控制室相互隔離,因此,當長晶爐運作時可隔絕噪音、高熱、及粉塵污染於隔離室內,可確保人員控制室內操作人員的安全及衛生。此外,由於爐上腔設於隔離室外,可直接散熱到大氣中,不需再以大量空調進行廠房內冷卻,故可兼具節能與安全性。
    • 本发明系关于一种长晶炉体结构配置,其将隔离室与人员控制室分开并排设置,并利用二室间之隔离门以隔离人员控制室与隔离室。隔离室内容设有炉底盖,隔离室之顶板上方盖设有炉上腔,炉上腔与炉底盖并彼此对应盖合形成长晶炉。由于隔离室与人员控制室相互隔离,因此,当长晶炉运作时可隔绝噪音、高热、及粉尘污染于隔离室内,可确保人员控制室内操作人员的安全及卫生。此外,由于炉上腔设于隔离室外,可直接散热到大气中,不需再以大量空调进行厂房内冷却,故可兼具节能与安全性。
    • 2. 发明专利
    • 矽晶錠之超音波切割設備 ULTRASONIC CUTTING EQUIPMENT FOR SILICON INGOT
    • 硅晶锭之超音波切割设备 ULTRASONIC CUTTING EQUIPMENT FOR SILICON INGOT
    • TWI365131B
    • 2012-06-01
    • TW098142257
    • 2009-12-10
    • 綠能科技股份有限公司
    • 林和龍呂秀正
    • B26D
    • 本發明為一種矽晶錠之超音波切割設備,包括有一容液槽、二鋸片框架、二超音波振動器、一矽晶錠承載台、及一升降裝置。其中,二鋸片框架分別具有平行配置之複數縱向鋸片、及橫向鋸片,且以彼此正交垂直方向上下配置,並容浸於容液槽之切削溶液內。故當以二超音波振動器分別驅動二鋸片框架沿其鋸片延伸方向往復運動,且藉由升降裝置驅動矽晶錠承載台下降,進而使承載於矽晶錠承載台上之矽晶錠在切削溶液中接觸到橫向及縱向鋸片而產生切割之功效。因此,本發明於切削溶液中進行切割,故出屑容易效率高,且散熱佳,使用壽命長、且安全性高。
    • 本发明为一种硅晶锭之超音波切割设备,包括有一容液槽、二锯片框架、二超音波振动器、一硅晶锭承载台、及一升降设备。其中,二锯片框架分别具有平行配置之复数纵向锯片、及横向锯片,且以彼此正交垂直方向上下配置,并容浸于容液槽之切削溶液内。故当以二超音波振动器分别驱动二锯片框架沿其锯片延伸方向往复运动,且借由升降设备驱动硅晶锭承载台下降,进而使承载于硅晶锭承载台上之硅晶锭在切削溶液中接触到横向及纵向锯片而产生切割之功效。因此,本发明于切削溶液中进行切割,故出屑容易效率高,且散热佳,使用寿命长、且安全性高。
    • 3. 发明专利
    • 用於矽晶錠開方切割之承載裝置 SUPPORTING DEVICE FOR SILICON INGOT SQUARING
    • 用于硅晶锭开方切割之承载设备 SUPPORTING DEVICE FOR SILICON INGOT SQUARING
    • TW201119822A
    • 2011-06-16
    • TW098142256
    • 2009-12-10
    • 綠能科技股份有限公司
    • 林和龍呂秀正
    • B28D
    • 本發明為一種承載裝置,主要係於承載托架上設置有複數直立撐桿,每一直立撐桿可接受上方矽晶錠之重量下壓而分別獨立上下移動。複數直立撐桿分別對應插置於複數夾緊塊之間,透過鎖緊螺桿以穿經複數夾緊塊之貫穿孔,再以鎖緊螺桿兩端具有螺紋方向相反之螺紋段分別對應螺入二端滑塊之螺孔內。據此,當選擇式地單向旋轉鎖緊螺桿時,能促使二滑塊向內相對移動以夾緊複數夾緊塊,進而夾緊複數直立撐桿使其固定不再上下移動,藉以穩固支撐上方未切割前之矽晶錠,並且能在開方切割中或切割後針對每一矽晶磚都有複數支撐桿給予隨遇平衡支撐。
    • 本发明为一种承载设备,主要系于承载托架上设置有复数直立撑杆,每一直立撑杆可接受上方硅晶锭之重量下压而分别独立上下移动。复数直立撑杆分别对应插置于复数夹紧块之间,透过锁紧螺杆以穿经复数夹紧块之贯穿孔,再以锁紧螺杆两端具有螺纹方向相反之螺纹段分别对应螺入二端滑块之螺孔内。据此,当选择式地单向旋转锁紧螺杆时,能促使二滑块向内相对移动以夹紧复数夹紧块,进而夹紧复数直立撑杆使其固定不再上下移动,借以稳固支撑上方未切割前之硅晶锭,并且能在开方切割中或切割后针对每一硅晶砖都有复数支撑杆给予随遇平衡支撑。
    • 4. 发明专利
    • 長晶爐之加熱電極與固定結構
    • 长晶炉之加热电极与固定结构
    • TW200936823A
    • 2009-09-01
    • TW097106083
    • 2008-02-21
    • 綠能科技股份有限公司
    • 呂秀正林和龍
    • C30B
    • F27D11/02C30B11/003C30B29/06C30B35/00Y10T117/106Y10T117/1068
    • 本發明係關於長晶爐之加熱電極與固定結構,其將多數根石墨電極支柱分別對應螺設於多數根金屬電極柱之螺母座上,每一金屬電極柱再透過固定座夾合固定於爐壁上。固定座在固定法蘭與固定環間夾設有絕緣軸套、絕緣墊與密封襯墊。藉此,多數根石墨電極支柱可兼作支撐重量及導電電極用,又可共用相同加熱電極與固定結構於上、下電熱器以減少庫存。銲固於爐壁上之固定法蘭因具有較大露外面積,故其散熱效果佳,若再輔以噴水更可加速降溫。每一固定座內另設有彈性墊圈,以彈力調節每一石墨電極支柱之軸向受力,故可均勻支撐平均荷重。
    • 本发明系关于长晶炉之加热电极与固定结构,其将多数根石墨电极支柱分别对应螺设于多数根金属电极柱之螺母座上,每一金属电极柱再透过固定座夹合固定于炉壁上。固定座在固定法兰与固定环间夹设有绝缘轴套、绝缘垫与密封衬垫。借此,多数根石墨电极支柱可兼作支撑重量及导电电极用,又可共享相同加热电极与固定结构于上、下电热器以减少库存。焊固于炉壁上之固定法兰因具有较大露外面积,故其散热效果佳,若再辅以喷水更可加速降温。每一固定座内另设有弹性垫圈,以弹力调节每一石墨电极支柱之轴向受力,故可均匀支撑平均荷重。
    • 5. 发明专利
    • 長晶爐內具有加熱器之支撐桌體
    • 长晶炉内具有加热器之支撑桌体
    • TWI348504B
    • 2011-09-11
    • TW097100178
    • 2008-01-03
    • 綠能科技股份有限公司
    • 呂秀正林和龍
    • C30B
    • C30B35/00C30B11/003C30B15/14C30B19/08Y10T117/10Y10T117/106Y10T117/1068
    • 本發明係揭露一種長晶爐內具有加熱器之支撐桌體,其以多數根支撐柱分別電性連接至電熱器,並同時支撐上方桌板。其中,每一支撐柱是以其石墨電極支柱對應螺鎖於金屬電極柱之螺母座上,金屬電極柱再透過固定座以固定於爐壁上。固定座之固定法蘭先銲固於爐壁,固定座內並設有彈性墊圈,透過彈性墊圈彈力的調整,使每一支撐柱得以平均施力於支撐桌體。本發明藉由多數根支撐柱將支撐桌體之重量分散且平穩地固定於長晶爐的爐壁上,不易傾倒可防止公安事故發生;又可將桌板作薄,有利於加熱時能均勻直接傳熱至坩堝內、熱散時能使矽漿均勻長晶。
    • 本发明系揭露一种长晶炉内具有加热器之支撑桌体,其以多数根支撑柱分别电性连接至电热器,并同时支撑上方桌板。其中,每一支撑柱是以其石墨电极支柱对应螺锁于金属电极柱之螺母座上,金属电极柱再透过固定座以固定于炉壁上。固定座之固定法兰先焊固于炉壁,固定座内并设有弹性垫圈,透过弹性垫圈弹力的调整,使每一支撑柱得以平均施力于支撑桌体。本发明借由多数根支撑柱将支撑桌体之重量分散且平稳地固定于长晶炉的炉壁上,不易倾倒可防止公安事故发生;又可将桌板作薄,有利于加热时能均匀直接传热至坩埚内、热散时能使硅浆均匀长晶。
    • 6. 发明专利
    • 具有洩漿導流結構之長晶爐
    • 具有泄浆导流结构之长晶炉
    • TWI346155B
    • 2011-08-01
    • TW097100177
    • 2008-01-03
    • 綠能科技股份有限公司
    • 呂秀正林和龍
    • C30BF27B
    • C30B11/002C30B28/06C30B29/06C30B35/002Y10T117/1004Y10T117/1008Y10T117/1024
    • 本發明揭露一種具有洩漿導流結構之長晶爐,其中,於負載框體之底板四週向下垂設有四片長簷板,並將四支串連起來之V形簷溝槽對應設置於四片長簷板之下方。如此,當負載框體內之坩堝若有洩流的高溫熔融矽漿,將會先被導引順著長簷板流動並滴下並輾轉流至V形簷溝槽內,故可避免矽漿沿著桌板四周緣涎流至支撐柱使支撐柱斷裂,造成坩堝傾倒與矽漿氾濫。再於爐底蓋內增設收納皿以容裝大量洩流矽漿,並隔絕其流近支撐柱,除可保護支撐柱不受毀損外,亦可預防爐底蓋受融熔矽漿之熱衝擊而導致扭曲變形。
    • 本发明揭露一种具有泄浆导流结构之长晶炉,其中,于负载框体之底板四周向下垂设有四片长檐板,并将四支串连起来之V形檐沟槽对应设置于四片长檐板之下方。如此,当负载框体内之坩埚若有泄流的高温熔融硅浆,将会先被导引顺着长檐板流动并滴下并辗转流至V形檐沟槽内,故可避免硅浆沿着桌板四周缘涎流至支撑柱使支撑柱断裂,造成坩埚倾倒与硅浆泛滥。再于炉底盖内增设收纳皿以容装大量泄流硅浆,并隔绝其流近支撑柱,除可保护支撑柱不受毁损外,亦可预防炉底盖受融熔硅浆之热冲击而导致扭曲变形。
    • 7. 发明专利
    • 長晶爐爐身冷卻結構
    • 长晶炉炉身冷却结构
    • TW200930850A
    • 2009-07-16
    • TW097100176
    • 2008-01-03
    • 綠能科技股份有限公司
    • 呂秀正林和龍
    • C30BF27D
    • C30B35/00C30B11/003C30B29/06Y10S117/90Y10T117/10Y10T117/1024Y10T117/1068
    • 本發明係關於一種長晶爐爐身冷卻結構,其中,爐上腔之外殼體及內殼體之間形成有一上夾層空間;爐底蓋之外底殼、及內底殼之間形成有一下夾層空間。上、下夾層空間內分別環設以多數根水管,且水管上開設有多數個噴霧孔,得以使加壓泵浦加壓抽取外部水源,透過上述水管及其噴霧孔提供水霧狀噴灑於內殼體及內底殼之外表面,藉以降溫冷卻爐身。若加上抽風機,更可加速排除上、下夾層空間內之熱氣。此外,還可於上、下夾層空間內增設有緊急水管以噴出水柱,用以緊急降溫冷卻爐身,避免進一步之災害發生。
    • 本发明系关于一种长晶炉炉身冷却结构,其中,炉上腔之外壳体及内壳体之间形成有一上夹层空间;炉底盖之外底壳、及内底壳之间形成有一下夹层空间。上、下夹层空间内分别环设以多数根水管,且水管上开设有多数个喷雾孔,得以使加压泵浦加压抽取外部水源,透过上述水管及其喷雾孔提供水雾状喷洒于内壳体及内底壳之外表面,借以降温冷却炉身。若加上抽风机,更可加速排除上、下夹层空间内之热气。此外,还可于上、下夹层空间内增设有紧急水管以喷出水柱,用以紧急降温冷却炉身,避免进一步之灾害发生。
    • 8. 发明专利
    • 具有對流式散熱構造之長晶爐
    • 具有对流式散热构造之长晶炉
    • TWI363109B
    • 2012-05-01
    • TW096149221
    • 2007-12-21
    • 綠能科技股份有限公司
    • 呂秀正
    • C30BF27D
    • C30B11/003C30B11/002C30B29/06Y10T117/10Y10T117/1004Y10T117/1008Y10T117/1016Y10T117/1024Y10T117/1092
    • 本發明係關於一種具有對流式散熱構造之長晶爐,其中,長晶爐之爐內空間容設有加熱室,加熱室有上隔板、數個側隔板、及下隔板。上隔板開設有上開口,下隔板開設有中央開口。矽漿冷凝時,透過下驅動器以驅動下閥門打開中央開口,使冷氣流經由中央開口流入加熱室下層,繼由上驅動器驅動上閥門打開上開口,使熱氣流經由上開口流出、並沿著冷卻之爐壁順流而下,由中央開口流回加熱室內。其自動對流式循環散熱流場,可快速散熱節省時間、提高生產效率。於冷卻過程中,自底部開始固化結晶循序往上,使矽晶碇無內應力及碎裂存在,矽晶碇品質優良。
    • 本发明系关于一种具有对流式散热构造之长晶炉,其中,长晶炉之炉内空间容设有加热室,加热室有上隔板、数个侧隔板、及下隔板。上隔板开设有上开口,下隔板开设有中央开口。硅浆冷凝时,透过下驱动器以驱动下阀门打开中央开口,使冷气流经由中央开口流入加热室下层,继由上驱动器驱动上阀门打开上开口,使热气流经由上开口流出、并沿着冷却之炉壁顺流而下,由中央开口流回加热室内。其自动对流式循环散热流场,可快速散热节省时间、提高生产效率。于冷却过程中,自底部开始固化结晶循序往上,使硅晶碇无内应力及碎裂存在,硅晶碇品质优良。
    • 9. 发明专利
    • 長晶爐之加熱電極與固定結構
    • 长晶炉之加热电极与固定结构
    • TWI346152B
    • 2011-08-01
    • TW097106083
    • 2008-02-21
    • 綠能科技股份有限公司
    • 呂秀正林和龍
    • C30B
    • F27D11/02C30B11/003C30B29/06C30B35/00Y10T117/106Y10T117/1068
    • 本發明係關於長晶爐之加熱電極與固定結構,其將多數根石墨電極支柱分別對應螺設於多數根金屬電極柱之螺母座上,每一金屬電極柱再透過固定座夾合固定於爐壁上。固定座在固定法蘭與固定環間夾設有絕緣軸套、絕緣墊與密封襯墊。藉此,多數根石墨電極支柱可兼作支撐重量及導電電極用,又可共用相同加熱電極與固定結構於上、下電熱器以減少庫存。銲固於爐壁上之固定法蘭因具有較大露外面積,故其散熱效果佳,若再輔以噴水更可加速降溫。每一固定座內另設有彈性墊圈,以彈力調節每一石墨電極支柱之軸向受力,故可均勻支撐平均荷重。
    • 本发明系关于长晶炉之加热电极与固定结构,其将多数根石墨电极支柱分别对应螺设于多数根金属电极柱之螺母座上,每一金属电极柱再透过固定座夹合固定于炉壁上。固定座在固定法兰与固定环间夹设有绝缘轴套、绝缘垫与密封衬垫。借此,多数根石墨电极支柱可兼作支撑重量及导电电极用,又可共享相同加热电极与固定结构于上、下电热器以减少库存。焊固于炉壁上之固定法兰因具有较大露外面积,故其散热效果佳,若再辅以喷水更可加速降温。每一固定座内另设有弹性垫圈,以弹力调节每一石墨电极支柱之轴向受力,故可均匀支撑平均荷重。
    • 10. 发明专利
    • 矽晶錠之超音波切割設備 ULTRASONIC CUTTING EQUIPMENT FOR SILICON INGOT
    • 硅晶锭之超音波切割设备 ULTRASONIC CUTTING EQUIPMENT FOR SILICON INGOT
    • TW201119815A
    • 2011-06-16
    • TW098142257
    • 2009-12-10
    • 綠能科技股份有限公司
    • 林和龍呂秀正
    • B26D
    • 本發明為一種矽晶錠之超音波切割設備,包括有一容液槽、二鋸片框架、二超音波振動器、一矽晶錠承載台、及一升降裝置。其中,二鋸片框架分別具有平行配置之複數縱向鋸片、及橫向鋸片,且以彼此正交垂直方向上下配置,並容浸於容液槽之切削溶液內。故當以二超音波振動器分別驅動二鋸片框架沿其鋸片延伸方向往復運動,且藉由升降裝置驅動矽晶錠承載台下降,進而使承載於矽晶錠承載台上之矽晶錠在切削溶液中接觸到橫向及縱向鋸片而產生切割之功效。因此,本發明於切削溶液中進行切割,故出屑容易效率高,且散熱佳,使用壽命長、且安全性高。
    • 本发明为一种硅晶锭之超音波切割设备,包括有一容液槽、二锯片框架、二超音波振动器、一硅晶锭承载台、及一升降设备。其中,二锯片框架分别具有平行配置之复数纵向锯片、及横向锯片,且以彼此正交垂直方向上下配置,并容浸于容液槽之切削溶液内。故当以二超音波振动器分别驱动二锯片框架沿其锯片延伸方向往复运动,且借由升降设备驱动硅晶锭承载台下降,进而使承载于硅晶锭承载台上之硅晶锭在切削溶液中接触到横向及纵向锯片而产生切割之功效。因此,本发明于切削溶液中进行切割,故出屑容易效率高,且散热佳,使用寿命长、且安全性高。