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1. 发明专利

TW201621458A 檢查方法审中-公开
简体标题：检查方法
公开(公告)号：TW201621458A
公开(公告)日：2016-06-16
申请号：TW104125421
申请日：2015-08-05
申请人：紐富來科技股份有限公司 , NUFLARE TECHNOLOGY, INC.
发明人：中島和弘 , NAKASHIMA, KAZUHIRO
IPC分类号： G03F1/84
CPC分类号： G06T7/74 , G01R31/00 , G06T7/001 , G06T2207/10056 , G06T2207/30148 , H01L22/12
摘要：本發明之實施形態，係提供一種能夠正確地測定被檢査對象的位置座標而進行檢査之檢査方法。實施形態之檢査方法，係利用雷射干涉計測定平台的位置座標的同時，將群組的其中一者中的條紋區域予以掃描後，掃描不同群組之條紋區域，以取得所有條紋區域之光學圖像。由平台的位置座標的測定值、以及圖樣的光學圖像、以及依圖樣的設計資料而作成的參照圖像，求出圖樣的位置座標，並取得光學圖像與參照圖像之位置錯位量，以獲得示意該位置錯位量與光學圖像的取得順序之關係之第1位置錯位資訊。獲得第1位置錯位資訊的近似曲線亦即第2位置錯位資訊，再獲得它們的差分亦即第3位置錯位資訊。又，獲得示意第3位置錯位資訊中的位置錯位量與從設計位置座標之關係之第4位置錯位資訊。
简体摘要：本发明之实施形态，系提供一种能够正确地测定被检查对象的位置座标而进行检查之检查方法。实施形态之检查方法，系利用激光干涉计测定平台的位置座标的同时，将群组的其中一者中的条纹区域予以扫描后，扫描不同群组之条纹区域，以取得所有条纹区域之光学图像。由平台的位置座标的测定值、以及图样的光学图像、以及依图样的设计数据而作成的参照图像，求出图样的位置座标，并取得光学图像与参照图像之位置错位量，以获得示意该位置错位量与光学图像的取得顺序之关系之第1位置错位信息。获得第1位置错位信息的近似曲线亦即第2位置错位信息，再获得它们的差分亦即第3位置错位信息。又，获得示意第3位置错位信息中的位置错位量与从设计位置座标之关系之第4位置错位信息。

2. 发明专利

TWI686673B 檢查方法有权
简体标题：检查方法
公开(公告)号：TWI686673B
公开(公告)日：2020-03-01
申请号：TW107107988
申请日：2018-03-09
申请人：日商紐富來科技股份有限公司 , NUFLARE TECHNOLOGY, INC.
发明人：中島和弘 , NAKASHIMA, KAZUHIRO
IPC分类号： G03F7/20 , G03F7/207 , H01L21/027

3. 发明专利

TWI597569B 試料圖樣位置檢查方法有权
简体标题：试料图样位置检查方法
公开(公告)号：TWI597569B
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：TW104125421
申请日：2015-08-05
申请人：紐富來科技股份有限公司 , NUFLARE TECHNOLOGY, INC.
发明人：中島和弘 , NAKASHIMA, KAZUHIRO
IPC分类号： G03F1/84
CPC分类号： G06T7/74 , G01R31/00 , G06T7/001 , G06T2207/10056 , G06T2207/30148 , H01L22/12

4. 发明专利

TW201839519A 檢查方法审中-公开
简体标题：检查方法
公开(公告)号：TW201839519A
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：TW107107988
申请日：2018-03-09
申请人：日商紐富來科技股份有限公司 , NUFLARE TECHNOLOGY, INC.
发明人：中島和弘 , NAKASHIMA, KAZUHIRO
IPC分类号： G03F7/20 , G03F7/207 , H01L21/027
摘要：實施形態的檢查方法，對被檢查試料照射照明光；使用自動對焦機構，利用由被檢查試料反射的照明光，取得被檢查試料的第1影像；保存取得第1影像時利用自動對焦機構所取得的自動對焦機能座標；計算自動對焦機能座標的2維多項式近似式；利用2維多項式近似式，控制取得被檢查試料的第2影像時的焦點。
简体摘要：实施形态的检查方法，对被检查试料照射照明光；使用自动对焦机构，利用由被检查试料反射的照明光，取得被检查试料的第1影像；保存取得第1影像时利用自动对焦机构所取得的自动对焦机能座标；计算自动对焦机能座标的2维多项式近似式；利用2维多项式近似式，控制取得被检查试料的第2影像时的焦点。

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