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1. 发明专利

TW491875B 新穎光阻交聯劑及含其之光阻劑組成物失效
简体标题：新颖光阻交联剂及含其之光阻剂组成物
公开(公告)号：TW491875B
公开(公告)日：2002-06-21
申请号：TW089101780
申请日：2000-02-02
申请人：現代電子產業股份有限公司
发明人：孔根圭 , 鄭載昌 , 金明洙 , 金亨基 , 金炯秀 , 白基鎬
IPC分类号： C08K
CPC分类号： G03F7/0045 , G03F7/038
摘要：本發明關於一種光阻交聯劑，其係選自下列化學式1所代表之交聯劑單體，及其均聚物，及其共聚物。該交聯劑適用於使用KrF(248nm)，ArF(193nm)，E-束，離子束，或EUV光源之光學微影程序。其中X1及X2分別代表CH2，CH2CH2，O或S；p及 S分別代表0至5之整數；q為0或1：R’及R”分別代表氫或甲基；R代表直鏈或支鏈C1-10烷基，直鏈或支鏈C1-10醚，直鏈或支鏈C1-10酯，直鏈或支鏈C1-10酮，直鏈或支鏈C1-10羧酸，直鏈或支鏈C1-10縮醛，包括至少一羥基之直鏈或支鏈C1-10烷基，包括至少一羥基之直鏈或支鏈C1-10醚，包括至少一羥基之直鏈或支鏈C1-10酯，包括至少一羥基之直鏈或支鏈C1-10酮，包括至少一羥基之直鏈或支鏈C1-10羧酸，及包括至少一羥基之直鏈或支鏈 C1-10縮醛；R1及R2分別代表氫，直鏈或支鏈C1-10烷基，直鏈或支鏈C1-10酯，直鏈或支鏈C1-10酮，直鏈或支鏈 C1-10羧酸，直鏈或支鏈C1-10縮醛，包括至少一羥基之直鏈或支鏈C1-10烷基，包括至少一羥基之直鏈或支鏈C1-10酯，包括至少一羥基之直鏈或支鏈C1-10酮，包括至少一經基之直鏈或支鏈C1-10羧酸，及包括至少一羥基之直鏈或支鏈C1-10縮醛。
简体摘要：本发明关于一种光阻交联剂，其系选自下列化学式1所代表之交联剂单体，及其均聚物，及其共聚物。该交联剂适用于使用KrF(248nm)，ArF(193nm)，E-束，离子束，或EUV光源之光学微影进程。<化学式1>其中X1及X2分别代表CH2，CH2CH2，O或S；p及 S分别代表0至5之整数；q为0或1：R’及R”分别代表氢或甲基；R代表直链或支链C1-10烷基，直链或支链C1-10醚，直链或支链C1-10酯，直链或支链C1-10酮，直链或支链C1-10羧酸，直链或支链C1-10缩醛，包括至少一羟基之直链或支链C1-10烷基，包括至少一羟基之直链或支链C1-10醚，包括至少一羟基之直链或支链C1-10酯，包括至少一羟基之直链或支链C1-10酮，包括至少一羟基之直链或支链C1-10羧酸，及包括至少一羟基之直链或支链 C1-10缩醛；R1及R2分别代表氢，直链或支链C1-10烷基，直链或支链C1-10酯，直链或支链C1-10酮，直链或支链 C1-10羧酸，直链或支链C1-10缩醛，包括至少一羟基之直链或支链C1-10烷基，包括至少一羟基之直链或支链C1-10酯，包括至少一羟基之直链或支链C1-10酮，包括至少一经基之直链或支链C1-10羧酸，及包括至少一羟基之直链或支链C1-10缩醛。

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