专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW538207B 動態摻混氣體輸送系統及方法失效
简体标题：动态掺混气体输送系统及方法
公开(公告)号：TW538207B
公开(公告)日：2003-06-21
申请号：TW088117702
申请日：1999-10-13
申请人：氣體產品及化學品股份公司
发明人：亞力山卓迪阿梅達波特何 , 湯瑪斯安東尼德拉托 , 羅伯威廉福特
IPC分类号： F17C
CPC分类号： B01F15/00344 , B01F3/026 , B01F15/00136 , B01F15/00162 , B01F15/04 , B01F2015/062 , F17C13/04 , Y02E60/321
摘要：本發明揭示一種動態摻混氣體輸送系統及方法。以此方法產生的動態摻混氣體可使用於化學蒸氣沉積器具或相似製程器具。本發明的一個具體實施例是一種多重步驟的方法，以將多種液體經過處理後形成一種摻混氣體混合物，將其供應給分配管集箱，再由分配管集箱輸送至至少一種器具。該方法的第一步驟是供應第一流體；第二步驟是將第一流體加熱至至少產生部分汽化的溫度；第三步驟是使第一流體之蒸氣過熱，達到足以防止輸送至該至少一種器具之摻混氣體混合物產生凝結之溫度；第四步驟是供應第二流體；第五步驟是將第二流體加熱至足以防止第一流體之過熱蒸氣部分與第二流體接觸時會產生凝結之溫度；第六步驟是結合已加熱之第二流體與過熱之第一流體蒸氣部分以形成摻混氣體混合物，此摻混氣體混合物具備化學蒸氣沉積、磊晶薄膜成長或相似製程預期之物理化學特性；最後一個步驟是將摻混氣體混合物輸送至分配管集箱。於一較佳的具體實施例中，該第一流體是三氯矽烷(TCS)而該第二流體是氫。
简体摘要：本发明揭示一种动态掺混气体输送系统及方法。以此方法产生的动态掺混气体可使用于化学蒸气沉积器具或相似制程器具。本发明的一个具体实施例是一种多重步骤的方法，以将多种液体经过处理后形成一种掺混气体混合物，将其供应给分配管集箱，再由分配管集箱输送至至少一种器具。该方法的第一步骤是供应第一流体；第二步骤是将第一流体加热至至少产生部分汽化的温度；第三步骤是使第一流体之蒸气过热，达到足以防止输送至该至少一种器具之掺混气体混合物产生凝结之温度；第四步骤是供应第二流体；第五步骤是将第二流体加热至足以防止第一流体之过热蒸气部分与第二流体接触时会产生凝结之温度；第六步骤是结合已加热之第二流体与过热之第一流体蒸气部分以形成掺混气体混合物，此掺混气体混合物具备化学蒸气沉积、磊晶薄膜成长或相似制程预期之物理化学特性；最后一个步骤是将掺混气体混合物输送至分配管集箱。于一较佳的具体实施例中，该第一流体是三氯硅烷(TCS)而该第二流体是氢。

2. 发明专利

TW565671B 高流速可運輸超高純度氣體供應系統有权
简体标题：高流速可运输超高纯度气体供应系统
公开(公告)号：TW565671B
公开(公告)日：2003-12-11
申请号：TW091122071
申请日：2002-09-25
申请人：氣體產品及化學品股份公司
发明人：馬拉低米爾耶利蓋許太 , 亞力山卓迪阿梅達波特何 , 布魯斯赫曼格林納 , 馬克 A 路塞亞 , 凱文 J 麥克馬霍 , 羅伯威廉福特
IPC分类号： F17B , F17D
CPC分类号： F17C9/02 , F17C2201/0109 , F17C2201/035 , F17C2201/052 , F17C2203/0304 , F17C2203/0617 , F17C2205/0111 , F17C2205/0126 , F17C2205/0323 , F17C2205/0394 , F17C2221/05 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2223/043 , F17C2225/0123 , F17C2225/033 , F17C2227/0304 , F17C2227/0383 , F17C2227/0386 , F17C2250/0404 , F17C2250/0439 , F17C2250/0631 , F17C2250/0636 , F17C2250/072 , F17C2260/025 , F17C2260/033 , F17C2260/056 , F17C2265/05 , F17C2270/0105 , F17C2270/0171 , F17C2270/0189 , F17C2270/05 , F17C2270/0518
摘要：提供一種高流速可運輸超高純度氣體蒸發與供應系統，該系統包含有：適於容納大量液化氣體的容器；與液相或氣相共同作業的閥門；裝料/卸料單元，其配置於該容器上而用於將所供應的液化氣體進行裝料與卸料；以及包含加熱元件的加熱器，其永久定位於容器上而供應能量至液化氣體。加熱器會使液化氣體以氣體的形式穿經裝料/卸料單元而進行供應。亦提供加熱器控制器，其利用製程參數回授調節加熱元件，而維持並調節氣體輸出。
简体摘要：提供一种高流速可运输超高纯度气体蒸发与供应系统，该系统包含有：适于容纳大量液化气体的容器；与液相或气相共同作业的阀门；装料/卸料单元，其配置于该容器上而用于将所供应的液化气体进行装料与卸料；以及包含加热组件的加热器，其永久定位于容器上而供应能量至液化气体。加热器会使液化气体以气体的形式穿经装料/卸料单元而进行供应。亦提供加热器控制器，其利用制程参数回授调节加热组件，而维持并调节气体输出。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式