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    • 10. 发明专利
    • 阻氣性薄膜及其製造方法
    • 阻气性薄膜及其制造方法
    • TW201444696A
    • 2014-12-01
    • TW103112230
    • 2014-04-02
    • 東麗股份有限公司TORAY INDUSTRIES, INC.
    • 德永幸大TOKUNAGA, KODAI上林浩行UEBAYASHI, HIROYUKI佐竹光SATAKE, HIKARU鈴木基之SUZUKI, MOTOYUKI
    • B32B9/00C23C14/08C23C14/10C23C14/34
    • C23C14/08B32B9/00B32B2307/412B32B2307/7244B32B2439/70C23C14/0021C23C14/10C23C14/3414C23C14/562
    • 本發明課題係提供一種阻氣性薄膜,其即使對於彎曲,阻氣性也難以降低,表現高透明且高度的阻氣性。一種阻氣性薄膜,其係在高分子薄膜基材之至少單側,具有至少含有氧化鋅及二氧化矽的阻氣層之阻氣性薄膜,其特徵為該阻氣層滿足以下之[I]至[III]任一項[I]就鋅之K吸收端之X射線吸收近能帶緣結構(XANES)光譜,(9664.0eV之光譜強度)/(9668.0eV之光譜強度)之值為0.910~1.000。[II]將鋅之原子濃度除以矽之原子濃度的比例為0.1~1.5,以下式所示結構密度指數為1.20~1.40,結構密度指數=(藉由X射線反射率(XRR)法所求得之阻氣層的密度)/(由藉由X射線光電子光譜(XPS)法所求得之組成比率所計算的理論密度)。[III]將在藉由FT-IR測定所測定的波數900~1,100cm-1的波峰,進行波峰分離成為波數920cm-1與1,080cm-1時,在920cm-1具有波峰之光譜的面積強度(A)與在1,080cm-1具有波峰之光譜的面積強度(B)之比(A/B)的值為1.0以上7.0以下。
    • 本发明课题系提供一种阻气性薄膜,其即使对于弯曲,阻气性也难以降低,表现高透明且高度的阻气性。一种阻气性薄膜,其系在高分子薄膜基材之至少单侧,具有至少含有氧化锌及二氧化硅的阻气层之阻气性薄膜,其特征为该阻气层满足以下之[I]至[III]任一项[I]就锌之K吸收端之X射线吸收近能带缘结构(XANES)光谱,(9664.0eV之光谱强度)/(9668.0eV之光谱强度)之值为0.910~1.000。[II]将锌之原子浓度除以硅之原子浓度的比例为0.1~1.5,以下式所示结构密度指数为1.20~1.40,结构密度指数=(借由X射线反射率(XRR)法所求得之阻气层的密度)/(由借由X射线光电子光谱(XPS)法所求得之组成比率所计算的理论密度)。[III]将在借由FT-IR测定所测定的波数900~1,100cm-1的波峰,进行波峰分离成为波数920cm-1与1,080cm-1时,在920cm-1具有波峰之光谱的面积强度(A)与在1,080cm-1具有波峰之光谱的面积强度(B)之比(A/B)的值为1.0以上7.0以下。