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    • 5. 发明专利
    • 陰蔽罩之製造方法以及在此方法中所使用的耐蝕刻層塗佈裝置
    • 阴蔽罩之制造方法以及在此方法中所使用的耐蚀刻层涂布设备
    • TW373223B
    • 1999-11-01
    • TW086114002
    • 1997-09-25
    • 東芝股份有限公司
    • 二階堂勝大竹康久平原祥子
    • H01J
    • B05C1/0839B05C1/003B05C1/0826B05C1/0856B05C1/12B05C9/06H01J9/142H01J2209/015Y10S438/944
    • 本發明係在塗佈耐蝕刻層時,由於防止因殘留有氣泡於小孔側之凹部而對於耐蝕刻層產生缺陷之情事,因而,不會往開孔形狀及開孔口形成不均勻,使之可獲得不具有不均勻品質之良好的陰蔽罩。為了達成該目的,以如圖1所示,將具備刮刀(doctor blade)之直徑約20mm~約60mm之照相凹版輥(gravure roll),配設於帶狀金屬薄板下方,而在其上方並不配置成相對間之支撐體,並供耐蝕刻層塗佈液於以搬送(輸送)金屬薄板之速度的4倍至25倍之周邊速度朝與金屬薄板之輸送方向為逆向旋轉之照相凹版輥,而由刮刀刮去多餘之部分後,塗佈於金屬薄板。
    • 本发明系在涂布耐蚀刻层时,由于防止因残留有气泡于小孔侧之凹部而对于耐蚀刻层产生缺陷之情事,因而,不会往开孔形状及开孔口形成不均匀,使之可获得不具有不均匀品质之良好的阴蔽罩。为了达成该目的,以如图1所示,将具备刮刀(doctor blade)之直径约20mm~约60mm之照相凹版辊(gravure roll),配设于带状金属薄板下方,而在其上方并不配置成相对间之支撑体,并供耐蚀刻层涂布液于以搬送(输送)金属薄板之速度的4倍至25倍之周边速度朝与金属薄板之输送方向为逆向旋转之照相凹版辊,而由刮刀刮去多余之部分后,涂布于金属薄板。
    • 6. 发明专利
    • 蔭蔽罩之製造方法、蔭蔽罩之製造裝置、以及使用於此之洗淨裝置
    • 荫蔽罩之制造方法、荫蔽罩之制造设备、以及使用于此之洗净设备
    • TW373222B
    • 1999-11-01
    • TW086109050
    • 1997-06-27
    • 東芝股份有限公司
    • 二階堂勝平原祥子奧土幸男廣澤大二竹澤洋治
    • H01J
    • H01J9/142H01J2209/017
    • 本發明之洗淨裝置,係具備:
      保持在大約水平的狀態,由沿著長度方向被搬送之帶狀金屬薄板(7)的上面和下面,對該帶狀金屬薄板噴出非活性的洗淨液,在前述金屬薄板的表面附近,產生孔蝕,進行急速的洗淨之孔蝕噴射手段的洗淨部(121);及
      設置在前述洗淨部的前段,限制該帶狀金屬薄板的位置,且防止前述洗淨液由與搬送方向相反的方向漏出之第1滑出防止密封部(124)。
      藉由使用如此之洗淨裝置來進行蝕刻後的洗淨,因為可以將殘留在抗蝕膜的庇護部之內側的蝕刻液,急速地稀釋除去,所以可以防止開孔尺寸、形狀的誤差。
    • 本发明之洗净设备,系具备: 保持在大约水平的状态,由沿着长度方向被搬送之带状金属薄板(7)的上面和下面,对该带状金属薄板喷出非活性的洗净液,在前述金属薄板的表面附近,产生孔蚀,进行急速的洗净之孔蚀喷射手段的洗净部(121);及 设置在前述洗净部的前段,限制该带状金属薄板的位置,且防止前述洗净液由与搬送方向相反的方向漏出之第1滑出防止密封部(124)。 借由使用如此之洗净设备来进行蚀刻后的洗净,因为可以将残留在抗蚀膜的庇护部之内侧的蚀刻液,急速地稀释除去,所以可以防止开孔尺寸、形状的误差。