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    • 1. 发明专利
    • 製造設備之異常診斷裝置
    • 制造设备之异常诊断设备
    • TW201732476A
    • 2017-09-16
    • TW105117947
    • 2016-06-07
    • 東芝三菱電機產業系統股份有限公司TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS CORPORATION
    • 手知幸TEZUKA, TOMOYUKI篠永裕之SHINONAGA, HIROYUKI亀山渉KAMEYAMA, WATARU菅沼睦SUGANUMA, MUTSUMI永島元貴NAGASHIMA, MOTOKI
    • G05B19/408G05B19/4065B21B38/00
    • G05B19/418G05B23/02Y02P90/02
    • 本發明提供可進行製造設備異常的診斷而無關於製造設備之狀態的一種製造設備之異常診斷裝置。製造設備之異常診斷裝置具備:特徵量記憶部,記憶有掌握了製造設備的運作狀態的特徵量資訊;數據變換部,將前述製造設備的運轉數據、或至少包含設於前述製造設備的測定裝置的測定數據等資料加以變換;特徵量分析部,根據記憶於前述特徵量記憶部的特徵量資訊將前述數據變換部所變換的數據進行分析;數據復原部,根據記憶於前述特徵量記憶部的特徵量資訊及藉前述特徵量分析部所分析的結果資訊將數據復原;異常度計算部,根據藉前述特徵量分析部分析時所使用的數據及藉前述數據復原部所復原的數據來計算異常度;及異常診斷部,根據藉前述異常度計算部所計算的異常度來進行異常診斷。
    • 本发明提供可进行制造设备异常的诊断而无关于制造设备之状态的一种制造设备之异常诊断设备。制造设备之异常诊断设备具备:特征量记忆部,记忆有掌握了制造设备的运作状态的特征量信息;数据变换部,将前述制造设备的运转数据、或至少包含设于前述制造设备的测定设备的测定数据等数据加以变换;特征量分析部,根据记忆于前述特征量记忆部的特征量信息将前述数据变换部所变换的数据进行分析;数据复原部,根据记忆于前述特征量记忆部的特征量信息及藉前述特征量分析部所分析的结果信息将数据复原;异常度计算部,根据藉前述特征量分析部分析时所使用的数据及藉前述数据复原部所复原的数据来计算异常度;及异常诊断部,根据藉前述异常度计算部所计算的异常度来进行异常诊断。