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    • 2. 发明专利
    • 反射型光罩及其製造方法
    • 反射型光罩及其制造方法
    • TW201523119A
    • 2015-06-16
    • TW103130509
    • 2014-09-04
    • 凸版印刷股份有限公司TOPPAN PRINTING CO., LTD.
    • 渡邊原太WATANABE, GENTA井本知宏IMOTO, TOMOHIRO福上典仁FUKUGAMI, NORIHITO
    • G03F1/24H01L21/027
    • G03F1/24
    • 本發明之課題在於提供一種反射型光罩,在形成減低投影效應的影響的遮光區域的反射型光罩中,比以往更能抑制在曝光對象物的晶圓反射的帶外光的反射。 本發明之解決手段為一種反射型光罩10,其具備基板11、形成在基板11上的多層反射膜12、及形成在多層反射膜12上的吸收膜14,在吸收膜14形成電路圖案15,在電路圖案15的外周側形成遮光區域B,該遮光區域B係除去多層反射膜12及吸收膜14並露出基板11而遮蔽曝光光的反射,在遮光區域B的基板11露出的部分係以比800nm還短的節距形成複數個凸部1。
    • 本发明之课题在于提供一种反射型光罩,在形成减低投影效应的影响的遮光区域的反射型光罩中,比以往更能抑制在曝光对象物的晶圆反射的带外光的反射。 本发明之解决手段为一种反射型光罩10,其具备基板11、形成在基板11上的多层反射膜12、及形成在多层反射膜12上的吸收膜14,在吸收膜14形成电路图案15,在电路图案15的外周侧形成遮光区域B,该遮光区域B系除去多层反射膜12及吸收膜14并露出基板11而屏蔽曝光光的反射,在遮光区域B的基板11露出的部分系以比800nm还短的节距形成复数个凸部1。
    • 4. 发明专利
    • 固態攝影元件及其製造方法
    • 固态摄影组件及其制造方法
    • TW201839965A
    • 2018-11-01
    • TW106145650
    • 2017-12-26
    • 日商凸版印刷股份有限公司TOPPAN PRINTING CO., LTD.
    • 井本知宏IMOTO, TOMOHIRO高橋聰TAKAHASHI, SATOSHI
    • H01L27/146G02B5/20
    • 提供一種減低混色之高精細且感度良好的固態攝影元件。固態攝影元件具備:半導體基板(10),二維地配置有複數個光電轉換元件(11);彩色濾光片層(30),與光電轉換元件(11)對應且以預先設定的規則圖案二維地配置有複數色的彩色濾光片;和下層平坦化層(12),僅配置於第1色的彩色濾光片(14)與半導體基板(10)之間。當第1色的彩色濾光片(14)的膜厚設為A[nm],上述下層平坦化層(12)的膜厚設為B[nm],第1色以外之顏色的彩色濾光片(15、16)的膜厚設為C[nm]時,滿足下述式200[nm]≦A≦700[nm] 0[nm]≦B≦200[nm] C≦A+B+200[nm]。
    • 提供一种减低混色之高精细且感度良好的固态摄影组件。固态摄影组件具备:半导体基板(10),二维地配置有复数个光电转换组件(11);彩色滤光片层(30),与光电转换组件(11)对应且以预先设置的守则图案二维地配置有复数色的彩色滤光片;和下层平坦化层(12),仅配置于第1色的彩色滤光片(14)与半导体基板(10)之间。当第1色的彩色滤光片(14)的膜厚设为A[nm],上述下层平坦化层(12)的膜厚设为B[nm],第1色以外之颜色的彩色滤光片(15、16)的膜厚设为C[nm]时,满足下述式200[nm]≦A≦700[nm] 0[nm]≦B≦200[nm] C≦A+B+200[nm]。