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1. 发明专利

TW267245B 探針裝置(二) 失效
简体标题：探针设备(二)
公开(公告)号：TW267245B
公开(公告)日：1996-01-01
申请号：TW083108685
申请日：1994-09-21
申请人：東京電子山梨股份有限公司 , 東京電子股份有限公司
发明人：山田雅幸
IPC分类号： H01L
摘要：半導體晶圓的探針裝置具有放置晶圓的工作台。具有高剛或的印刷配線板位顧工作台上方。支塊裝在印免配線板上以穿過開口。支塊具有正對工作台的凹部，撓性膜狀探針卡可拆卸地裝在支塊上以覆蓋凹部。探針卡具有主區域，質中設置要接觸半導體晶圓電極墊片的接觸元件。剛性矩形框附在探針卡後表面，以包圍主區域，因此使探針卡平坦。推動器設在支塊凹部，以接觸探針卡主區域後側。推重器擺動設在垂直支撐之軸的下端。支塊經由兩個盤形彈簧來支撐軸。
简体摘要：半导体晶圆的探针设备具有放置晶圆的工作台。具有高刚或的印刷配线板位顾工作台上方。支块装在印免配线板上以穿过开口。支块具有正对工作台的凹部，挠性膜状探针卡可拆卸地装在支块上以覆盖凹部。探针卡具有主区域，质中设置要接触半导体晶圆电极垫片的接触组件。刚性矩形框附在探针卡后表面，以包围主区域，因此使探针卡平坦。推动器设在支块凹部，以接触探针卡主区域后侧。推重器摆动设在垂直支撑之轴的下端。支块经由两个盘形弹簧来支撑轴。

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