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1. 发明专利

TWI533004B 晶圓檢查裝置及探針卡的預熱方法有权
简体标题：晶圆检查设备及探针卡的预热方法
公开(公告)号：TWI533004B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：TW100132865
申请日：2011-09-13
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：山田浩史 , YAMADA, HIROSHI , 星野貴昭 , HOSHINO, TAKAAKI , 小嶋伸時 , KOJIMA, SHINJI , 三枝健 , SAIGUSA, TAKESHI , 下山寬志 , SHIMOYAMA, HIROSHI
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/2887 , G01R31/2891 , G01R31/2893

2. 发明专利

TWI493204B 檢查裝置之操作方法及檢查裝置之操作電腦程式產品有权
简体标题：检查设备之操作方法及检查设备之操作电脑进程产品
公开(公告)号：TWI493204B
公开(公告)日：2015-07-21
申请号：TW099126617
申请日：2010-08-10
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：佐野聰 , SANO, SATOSHI , 小嶋伸時 , KOJIMA, SHINJI
IPC分类号： G01R31/28 , H01L21/66
CPC分类号： G01R31/2894 , G01R31/2831

3. 发明专利

TW201234029A 晶圓檢查裝置及探針卡的預熱方法审中-公开
简体标题：晶圆检查设备及探针卡的预热方法
公开(公告)号：TW201234029A
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：TW100132865
申请日：2011-09-13
申请人：東京威力科創股份有限公司
发明人：山田浩史 , 星野貴昭 , 小嶋伸時 , 三枝健 , 下山寬志
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R31/2887 , G01R31/2891 , G01R31/2893
摘要：本發明的課題是在於提供一種可削減晶圓檢查裝置的設置空間的同時，可降低設置成本的晶圓檢查裝置。本發明的晶圓檢查裝置(10)是具備：第1晶圓搬送機構(12)，其係以能夠一片一片搬送晶圓的方式設於第1搬送區域(S2)；對準機構(14)，其係於第1搬送區域的端部的對準區域(S3)內，將經由晶圓保持體(15)來利用第1晶圓搬送機構(12)所搬送的晶圓(W)對準於檢查位置；第2晶圓搬送機構(16)，其係於沿著第1搬送區域(S2)及對準區域(S3)的第2搬送區域(S4)內，經由晶圓保持體(15)來搬送晶圓(W)；及複數的檢查室(17)，其係配列於沿著第2搬送區域的檢查區域(S5)，且進行經由晶圓保持體(15)來利用第2晶圓搬送機構(16)所搬送的晶圓(W)的電氣特性檢查，在檢查室(17)是進行對準後的晶圓的電氣特性檢查。
简体摘要：本发明的课题是在于提供一种可削减晶圆检查设备的设置空间的同时，可降低设置成本的晶圆检查设备。本发明的晶圆检查设备(10)是具备：第1晶圆搬送机构(12)，其系以能够一片一片搬送晶圆的方式设于第1搬送区域(S2)；对准机构(14)，其系于第1搬送区域的端部的对准区域(S3)内，将经由晶圆保持体(15)来利用第1晶圆搬送机构(12)所搬送的晶圆(W)对准于检查位置；第2晶圆搬送机构(16)，其系于沿着第1搬送区域(S2)及对准区域(S3)的第2搬送区域(S4)内，经由晶圆保持体(15)来搬送晶圆(W)；及复数的检查室(17)，其系配列于沿着第2搬送区域的检查区域(S5)，且进行经由晶圆保持体(15)来利用第2晶圆搬送机构(16)所搬送的晶圆(W)的电气特性检查，在检查室(17)是进行对准后的晶圆的电气特性检查。

4. 发明专利

TW201207415A 檢查裝置之操作方法及檢查裝置之操作程式审中-公开
简体标题：检查设备之操作方法及检查设备之操作进程
公开(公告)号：TW201207415A
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：TW099126617
申请日：2010-08-10
申请人：東京威力科創股份有限公司
发明人：佐野聰 , 小嶋伸時
IPC分类号： G01R , H01L
CPC分类号： G01R31/2894 , G01R31/2831
摘要：本發明之課題在於提供可以大幅度地提高具有複數台座的檢查裝置的檢查效率之檢查裝置之操作方法。[解決手段]本發明之檢查裝置之操作方法,係於使用分別被顯示在複數監視器(14)的操作畫面之操作按鈕而具備複數的檢查用台座(17)的檢查裝置(10),使用為了實行檢查裝置(10)的各種功能而把必要的資料整理之排他條件資料D,及把排他條件資料D之排他條件,作為是否可以壓下供實行各功能之用的操作按鈕的資料而整理的排他條件模式P,將排出操作按鈕之用的排他條件按鈕設定於至少一個監視器(14),壓下排他條件按鈕而在其他的監視器禁止配合於至少一個監視器的排他條件之畫面的顯示。
简体摘要：本发明之课题在于提供可以大幅度地提高具有复数台座的检查设备的检查效率之检查设备之操作方法。[解决手段]本发明之检查设备之操作方法,系于使用分别被显示在复数监视器(14)的操作画面之操作按钮而具备复数的检查用台座(17)的检查设备(10),使用为了实行检查设备(10)的各种功能而把必要的数据整理之排他条件数据D,及把排他条件数据D之排他条件,作为是否可以压下供实行各功能之用的操作按钮的数据而整理的排他条件模式P,将排出操作按钮之用的排他条件按钮设置于至少一个监视器(14),压下排他条件按钮而在其他的监视器禁止配合于至少一个监视器的排他条件之画面的显示。

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